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[实用新型]反应室装置的腔室机构、反应室装置及PECVD设备-CN202320183113.4有效
发明人：范静怡;陶彪 -专利权人：三一硅能（株洲）有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型涉及PECVD设备技术领域，提供一种反应室装置的腔室机构、反应室装置及PECVD设备，包括腔室本体、反应组件和隔板；反应组件设置于腔室本体内部，反应组件在工艺气体作用下进行镀膜；隔板设置于腔室本体内部，且隔板将腔室本体的内部分隔为第一腔体和第二腔体，反应组件设置于第一腔体内，使镀膜在第一腔体内进行。
反应装置机构 pecvd 设备

[实用新型]加工室隔离装置和加工室-CN200720125581.7有效
发明人： M·皮格 -专利权人：通快激光与系统工程有限公司
申请日： 2007-10-08 - 公布日： 2009-01-21 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：具有位于加工室内部(2)中的激光加工装置(3)的加工室借助于加工室隔离装置(7)相对加工室周围环境(8)屏蔽。该加工室隔离装置(7)在其向着激光加工装置(3)的内侧上具有激光射线反射装置(12)，借助于所述表面能反射入射到该激光射线反射装置(12)上并且来自激光加工装置(3)的激光射线的绝大部分。在此，该激光射线反射装置(12)被构造为分散反射的。用于所述加工室(1)的加工室隔离装置(7)以及用于这种加工室隔离装置(7)的激光射线反射装置(12)被相应地构成。
加工隔离装置

[发明专利]焊接室装置-CN202011421672.1在审
发明人：田英杰;张秋霞;彭泉;李英刚 -专利权人：中油昆仑管道工程有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种焊接室装置，包括：棚室，其设置于通道内，所述棚室包括框架以及附着于所述框架上的棚布；焊接装置，其设置于所述棚室中；所述焊接装置包括供管道穿设的环体以及沿所述环体周向移动的焊枪；其中：待焊接的管道在所述环体处对接通过增设棚室而为焊接作业提供了一个较为安全的操作空间，能够有效避免因通道塌方对焊接作业所造成的较大影响。
焊接装置

[发明专利]真空室装置-CN201810379176.0有效
发明人：卢茨·戈特斯曼;格奥尔格·拉伊梅尔;延斯·梅尔歇尔 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种真空室装置(100)，其具有：真空室(102)，其具有第一供应通道(102v)；基板保持装置(104)，其具有用于保持和定位至少一个基板的基板保持器(110)和用于向基板保持器(110)供应至少一种供应介质的真空密封的供应壳体(108)，其中供应壳体(108)具有第二供应通道(108v)；支承装置(106)，基板固定装置(104)借助于该支承装置被可移动地支撑在真空室(102)内；以及供应软管(112)，其将第一供应通道(102v
真空装置

[实用新型]除尘室装置-CN201821231940.1有效
发明人：占贤富;刘锐 -专利权人：宜昌元龙塑模技术开发有限责任公司
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种除尘室装置，除尘室为内部空间至少1立方米以上的密闭空间，在密闭空间内设有用于延长风的路径的挡板；除尘室一端设有用于进风的第一主管，另一端设有用于排风的第二主管；在除尘室内还设有静电除尘装置设置的静电除尘装置非常适合用于去除以有机物颗粒为主的灰尘，本例中的静电除尘装置所需的电压静电除尘装置的电压仅需500V~10000V，大幅低于常用的静电除尘装置。设置的喷淋装置、吸附层、冷却水管和挡气排水管具有组合的效果，在提高除尘效果的同时，还能够使凝聚的水气排出。
静电除尘装置除尘室除尘挡板密闭空间本实用新型有机物颗粒排水管除尘效果除尘装置电压静电冷却水管喷淋装置大空间吸附层水气进风排出排风去除主管室内凝聚配合

[实用新型]真空室装置-CN201821580585.9有效
发明人：约尔格·波拉克;卢茨·戈特斯曼;格奥尔格·拉伊梅尔 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空室装置。真空室装置具有：真空室；至少一个处理区域，其布置在真空室中；以及用于在处理区域中输送和/或定位基板或多个基板的基板保持装置，其中基板保持装置包括：具有第一基板保持件的第一驱动机构，第一基板保持件被构造为可旋转地保持一个或多个基板
保持件驱动机构可旋转支撑臂真空室装置第二基板第一基板多个基板基板保持装置处理区域真空室第一驱动机构本实用新型定位基板

[实用新型]腔室装置-CN201922335850.8有效
发明人：赤塚隼也 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型提供一种腔室装置，具备作业者能够进入内部的具有开闭门的腔室本体，其特征在于，相对于上述腔室本体设置有排气路，在该排气路上设置有能够与上述开闭门的开闭联动地进行开闭的开闭阀，上述排气路与设置于上述腔室本体的壁面上的
装置

[实用新型]焊接室装置-CN202022919328.7有效
发明人：陈亚东;张秋霞;彭泉;李英刚 -专利权人：中油昆仑管道工程有限公司
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种焊接室装置，包括：棚室，其设置于通道内，所述棚室包括框架以及附着于所述框架上的棚布；焊接装置，其设置于所述棚室中；所述焊接装置包括供管道穿设的环体以及沿所述环体周向移动的焊枪；其中：通过增设棚室而为焊接作业提供了一个较为安全的操作空间，能够有效避免因通道塌方对焊接作业所造成的较大影响。
焊接装置

[发明专利]腔室冷却装置及反应腔室-CN201910160484.9有效
发明人：弓利军 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室冷却装置及反应腔室，包括槽状本体、隔水板、冷却管和多个喷嘴，其中，冷却管设置在槽状本体相对的两个侧边，且用于向多个喷嘴中通入冷却介质，多个喷嘴用于向槽状本体中通入冷却介质，隔水板覆盖在槽状本体上本发明提供的腔室冷却装置及反应腔室，其能够避免空气在槽状本体中无法排除，并且减少槽状本体中冷却介质乱流的情况发生，从而提高腔室冷却装置的冷却效果。
冷却装置反应

[实用新型]层压机上室室布循环装置-CN201020294729.1有效
发明人：冯军智 -专利权人：秦皇岛市奥瑞特科技有限公司
申请日： 2010-08-13 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种层压机上室室布循环装置，包括层压机上室；具有在所述层压机上室的机架上安装包围于层压机上室的环玻璃布循环传动装置，在所述玻璃布对接端安装循环连接的调节装置。因采用了在层压机上室安装了玻璃布循环装置，这样可将层压机上室与下加热板合盖时，使上室循环玻璃布又必须与加热板循环玻璃布接触，以保证真空腔室的密封。同时，在层压机上室循环玻璃布对接端安装了自调节装置，实现了上室循环玻璃布随着开合盖时自行张紧收缩。本实用新型省去了人工铺设隔离布的工序，减轻了劳动强度，提高了生产效率。
层压机上室室布循环装置

[实用新型]室灯管理装置及室灯系统-CN201820637765.X有效
发明人：王业萍;黄建荣;李剑;李素云 -专利权人：江西电力职业技术学院;国家电网公司
申请日： 2018-04-28 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H05B37/02 文献下载
摘要：本公开提供一种室灯管理装置及室灯系统，涉及控制技术领域。室灯管理装置包括光线检测器、总控回路和多个感应器，光线检测器对多个室灯所在环境中的外部光线进行检测，在外部光线亮度达到阈值时，触发总控回路断开电源与多个室灯之间的连接；光线检测器在外部光线亮度未达到阈值时，触发总控回路接通电源与多个室灯之间的连接；各感应器设置于与其相对应的室灯相邻位置处，检测是否有人进入室灯的照射区域，若检测到有人进入室灯的照射区域，接通室灯与电源的连接线路；若未检测到有人进入室灯的照射区域，断开室灯与电源的连接线路。使用该室灯管理装置及室灯系统，能够可靠地实现对室灯的控制。
室灯管理装置光线检测器外部光线照射区域电源连接线路检测感应器阈值时触发控制技术领域回路断开回路接通相邻位置断开接通

[实用新型]手术室和供应室消毒装置-CN202122062491.0有效
发明人：马潇洒;赵宁;高艺文 -专利权人：漯河医学高等专科学校第二附属医院
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： A61L2/18 文献下载
摘要：手术室和供应室消毒装置，有效的解决了常规手术室和供应室消毒装置费事费力，平时的消毒工作主要靠人工将药液装进喷雾器进行喷撒，或直接用筒装消毒剂进行喷射，这种消毒方式工人的劳动强度大，并且当多种消毒液或消毒粉进行混合消毒的时候
手术室供应消毒装置

[其他]腔室盖和真空腔室装置-CN201590001100.4有效
发明人：克里斯托夫·霍伊斯勒;约亨·克劳瑟;罗尼·博切尔 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：一种真空腔室装置(1000)根据不同的实施例可以具有如下：多个真空腔室(1002a至1002e)；用于沿着运输方向穿过所述多个真空腔室(1002a至1002e)运输衬底(306)的运输系统(324)；其中，真空腔室(1002a至1002e)在运输方向上借助横向于运输方向延伸的真空腔室侧壁(104a，104b，1304a，1304b)彼此分开；其中每个真空腔室都具有腔室盖开口(104o)；多个腔室盖，其中每个腔室盖配设于一个腔室盖开口(104o)，用于真空密封地封闭相应的真空腔室；其中所述多个腔室盖的至少一个腔室盖(102)具有多个高真空泵连接开口(106a，106b，106c)，用于分别连接一个高真空泵；其中所述多个真空腔室(1002a至1002e)的至少一个真空腔室设定为气体分离腔室(100)并且具有：设置在所述气体分离腔室(100)中的气体分离结构(312)，所述气体分离结构限界气体分离通道(311)，其中所述气体分离结构(312100)配设于具有多个高真空泵连接开口(106a，106b，106c)的腔室盖(102)。
气体分离真空腔室腔室盖腔室气体分离通道高真空泵运输方向延伸连接开口运输系统穿过开口彼此分开穿通开口方向上将元件设置真空密封中部区域侧壁衬底限界封闭延伸

[实用新型]一种新型节能蓄热室氧化器-CN201721102465.3有效
发明人：包震宇;郎咸明;时宏;王东明;李崇;闫向阳 -专利权人：辽宁省环境科学研究院
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： B01D53/74 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型节能蓄热室氧化器，包括氧化室装置、第一蓄热室装置、第二蓄热室装置、自动控制系统；所述氧化室装置为中空圆柱体封闭结构，所述第一蓄热室装置和第二蓄热室装置均为中空半筒体封闭结构；所述氧化室装置设于中间位置，所述第一蓄热室装置和第二蓄热室装置分别设于氧化室装置外围并将氧化室装置包围形成环形套筒式结构；所述氧化室装置、第一蓄热室装置和第二蓄热室装置的筒壁融合成整体；所述自动控制系统设于氧化室装置、第一蓄热室装置、第二蓄热室装置三者的上部。本实用新型充分利用了氧化室装置内的散热，减少了整个系统的热量损失，即减少了整个系统的能耗。
一种新型节能蓄热氧化

[实用新型]一体化预装式充电站-CN202320785449.8有效
发明人：许凯旋;梁庆宁;于建军;宋丹菊;关辉淋;方文杰;麦栋明;余恩赐;黄永华;张胜权;陈绍庆;卢浩田 -专利权人：海鸿电气有限公司;广东敞开电气有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B60L53/30 文献下载
摘要：本申请公开了一种一体化预装式充电站，包括：壳体，设置有充电腔室、低压腔室、变压器腔室和高压腔室，充电腔室和高压腔室分别设置于壳体的两侧，低压腔室和变压器腔室设置于充电腔室和高压腔室之间，低压腔室位于变压器腔室的下方，低压腔室和变压器腔室之间设置有进风腔室，进风腔室与变压器腔室通过通风孔连通，进风腔室的侧壁设置有与外部连通的进风孔，变压器腔室的顶部设置有出风孔；充电装置，设置于充电腔室，充电装置连接有充电桩；低压配电装置，设置于低压腔室，低压配电装置与充电装置电连接；高压配电装置，设置于高压腔室；变压器装置，设置于变压器腔室，变压器装置分别与高压配电装置、低压配电装置电连接。
一体化预装充电站

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