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[发明专利]基板保持装置、基板运送装置、处理布置和用于处理基板的方法-CN201580074610.9有效
发明人：罗伯特·库纳恩泽;延斯·梅尔歇尔;格奥尔格·拉伊梅尔;比约恩·霍恩博斯特尔;克里斯托夫·霍伊斯勒;埃尔文·奇尚 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2015-11-26 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：根据各个实施例，提供了一种基板保持装置(100)，其中后者可以包括以下：具有凹陷(112)的承载板(102)，所述凹陷(112)从所述承载板(102)的上侧(102a)延伸通过所述承载板(102)到达所述承载板(102)的下侧(102b)；保持框(132a)，其具有框开口(132)和围绕所述框开口(132)的用于将基板(120)保持在所述凹陷(112)中的支撑区域(111a)；其中插入所述凹陷(112)中的所述保持框(132a)部分地位于所述承载板(102)上。
保持装置运送处理布置用于方法

[发明专利]用于分批向内装载和向外卸载基底的真空处理设备及方法-CN201710359308.9有效
发明人： 克里斯托夫·霍伊斯勒;拉尔夫·西伯特 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：根据不同的实施方式提供一种真空处理设备(100)，其具有装卸腔室装置(102)、转运腔室装置(112)和处理腔室装置(122)，其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底的长度，且其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室这样地被设置，即其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个装卸腔室具有比转运腔室更小的长度。
用于分批向内装载向外卸载基底真空处理设备方法

[其他]腔室盖和真空腔室装置-CN201590001100.4有效
发明人： 克里斯托夫·霍伊斯勒;约亨·克劳瑟;罗尼·博切尔 -专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
申请日： 2015-11-05 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：一种真空腔室装置(1000)根据不同的实施例可以具有如下：多个真空腔室(1002a至1002e)；用于沿着运输方向穿过所述多个真空腔室(1002a至1002e)运输衬底(306)的运输系统(324)；其中，真空腔室(1002a至1002e)在运输方向上借助横向于运输方向延伸的真空腔室侧壁(104a，104b，1304a，1304b)彼此分开；其中每个真空腔室都具有腔室盖开口(104o)；多个腔室盖，其中每个腔室盖配设于一个腔室盖开口(104o)，用于真空密封地封闭相应的真空腔室；其中所述多个腔室盖的至少一个腔室盖(102)具有多个高真空泵连接开口(106a，106b，106c)，用于分别连接一个高真空泵；其中所述多个真空腔室(1002a至1002e)的至少一个真空腔室设定为气体分离腔室(100)并且具有：设置在所述气体分离腔室(100)中的气体分离结构(312)，所述气体分离结构限界气体分离通道(311)，其中所述气体分离结构(312)具有多个气体分离面元件(112，322，412)，所述气体分离面元件设置在所述气体分离腔室(100)中，使得其在运输方向上将至少三个区域(111a，111b，111c)彼此气体分离，其中所述至少三个区域(111a，111b，111c)中的中部区域(111c)穿过在所述气体分离结构(312)中的穿通开口(312c)与气体分离通道(311)连接，其中至少两个气体分离面元件(112，412)横向于运输方向延伸；其中所述运输系统(324)穿过气体分离通道(311)延伸，其中所述气体分离腔室(100)配设于具有多个高真空泵连接开口(106a，106b，106c)的腔室盖(102)。
气体分离真空腔室腔室盖腔室气体分离通道高真空泵运输方向延伸连接开口运输系统穿过开口彼此分开穿通开口方向上将元件设置真空密封中部区域侧壁衬底限界封闭延伸

[发明专利]包括具有几何收缩的喇叭天线的、用于GHz频率范围的宽带卫星通信的天线系统-CN201380035909.4有效
发明人：约尔格·欧朋兰德;迈克尔·文策尔;亚历山大·莫辛格;迈克尔·塞弗里德;克里斯托夫·霍伊斯勒;亚历山大·弗里斯 -专利权人：利萨·德雷克塞迈尔有限责任公司
申请日： 2013-07-02 - 公布日： 2017-07-11 - 主分类号： H01Q13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括至少四个喇叭天线的天线系统，该四个喇叭天线支持两个正交的线偏振，并且在两个偏振面中具有阶梯状的收缩。通过对称的几何收缩使喇叭天线在两个偏振面中收缩的事实使得喇叭天线的带宽大致增加，从而使得能够服务宽的发射和接收频带或频率相距很远的发射和接收频带，诸如Ka频带。为了能够在相距很远的服务频带中最佳地操作各个脊状喇叭天线，有利地使喇叭天线和收缩都是阶梯状的。适当地选择喇叭天线的阶部和收缩的阶部的高度和宽度，使得能够将喇叭天线调节到与阻抗对应的服务频率。
包括具有几何收缩喇叭天线用于 ghz 频率范围宽带卫星通信天线系统

[发明专利]包括电介质填充喇叭天线的用于GHz频率范围的宽带卫星通信的天线系统-CN201380035965.8有效
发明人：约尔格·欧朋兰德;迈克尔·文策尔;亚历山大·莫辛格;迈克尔·塞弗里德;克里斯托夫·霍伊斯勒;亚历山大·弗里斯 -专利权人：利萨·德雷克塞迈尔有限责任公司
申请日： 2013-07-02 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： H01Q13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括至少四个喇叭天线的天线系统，该四个喇叭天线完全填充有电介质。喇叭天线中的有效波长根据填充物的介电特性而增大，并且与不填充介质相比，喇叭天线能够支持大得多的带宽。虽然电介质填充物由于介电而产生寄生损失，但是，特别是在Ka频带中使用的小喇叭天线中，所谓的损失比较小。选择电介质的介电常数，使得即使在天线系统的低服务频带中也能够最优地操作填充有电介质的喇叭天线。
包括电介质填充喇叭天线用于 ghz 频率范围宽带卫星通信天线系统

[发明专利]包括馈送网络的用于GHz频率范围中的宽带卫星通信的天线系统-CN201380035959.2有效
发明人：约尔格·欧朋兰德;迈克尔·文策尔;亚历山大·莫辛格;迈克尔·塞弗里德;克里斯托夫·霍伊斯勒;亚历山大·弗里斯 -专利权人：利萨·德雷克塞迈尔有限责任公司
申请日： 2013-07-02 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01Q21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种天线系统，该天线系统包括至少两个模块，每个模块都包括至少两个单个的辐射体。该天线系统包括用于将单独的辐射体馈送在模块内的微带线网络，和用于馈送模块的波导网络。根据本发明的天线的模块化设计具有下面的优点在可用安装空间非常受限的地方使用微带线。虽然微带线具有比波导大很多的消耗性损失，但是它们需要小很多的安装空间。而且，通过仅将需要的很多主喇叭天线结合到模块中，以创建用于波导部件的足够的安装空间，能够极大地减小损失。微带线因此保持得比较短。从而，将模块间馈送网络设计成很低损失的波导线。单个辐射体有利地支持两个偏振。
包括馈送网络用于 ghz 频率范围中的宽带卫星通信天线系统

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