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[发明专利]一种掩模版及蒸镀装置-CN201810325468.6有效
发明人：张浩瀚 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-04-12 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开一种掩模版及蒸镀装置，掩模版设置在待蒸镀基板的PS层上方，包括掩模基板，掩模基板上形成有用于蒸镀有机发光材料的多个掩模图案，在掩模图案的开口处沿开口的形状分布有突出掩模基板一定高度的突出边缘，用于阻挡有机发光材料从掩模版和PS层的间隙进入到掩模图案的开口在待蒸镀基板上投影以外区域，进而能够降低蒸镀工艺的阴影和混色现象，从而提高产品良率，而且通过设置突出边缘阻挡有机发光材料从掩模版和PS层的间隙进入到掩模图案的开口在待蒸镀基板上投影以外区域，可以避免为消除间隙而去除PS层的情况，能够保护掩模版，避免其与待蒸镀基板相接触而受到待蒸镀基板上颗粒物的损伤。
一种模版装置

[实用新型]蒸镀装置-CN201620804943.4有效
发明人：张伸福;邱林林 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2016-07-28 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置用于蒸镀基板，包括蒸镀源、喷嘴、限制板以及第一加热部件，蒸镀源，所述蒸镀源的数量为多个，多个所述蒸镀源均设置在所述基板的一侧；喷嘴，所述喷嘴的数量为多个，所述喷嘴设置在所述蒸镀源上，且所述喷嘴与所述蒸镀源一一对应，多个所述喷嘴均面向所述基板；限制板，所述限制板设置在所述蒸镀源的两侧；以及第一加热部件，所述第一加热部件设置在所述限制板上，所述第一加热部件用于对所述限制板进行加热。上述蒸镀装置，能够实现对限制板上堆积的材料进行实时处理，从而防止其脱落堵塞喷嘴。
装置

[发明专利]蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法-CN201910069733.3有效
发明人：饶勇;李有亮;刘金彪;谭瑞;岳小非;罗楠;胡斌;仪修超;沈萌;加新星;肖鹏;李靖;晋亚杰 -专利权人：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请公开了一种蒸镀结构、蒸镀系统及蒸镀结构的使用方法，属于显示技术领域。蒸镀结构包括：蒸镀坩埚、喷嘴和浮板，蒸镀坩埚用于盛放蒸镀源材料，蒸镀源材料的状态在受热后由液态变为气态；喷嘴设置在蒸镀坩埚的出口处，喷嘴用于向待蒸镀基板表面喷射呈气态的蒸镀源材料；浮板被配置为：漂浮在呈液态的蒸镀源材料的表面，且浮板与蒸镀坩埚的内壁之间具有间隙，浮板具有多个镂空结构，多个镂空结构被配置为：供呈气态的蒸镀源材料通过。本申请提高了在待蒸镀基板上形成的膜层的均一性。本申请用于蒸镀结构和蒸镀系统。
结构系统使用方法

[发明专利]连续式制造系统、连续式制造方法、有机膜装置、施体基板组-CN201610319941.0有效
发明人：朴善淳;李海龙;金荣道;池成勋;洪沅义 -专利权人：株式会社达文希斯
申请日： 2016-05-13 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明的有机发光元件的连续式制造系统采用焦耳加热方式并利用两个施体基板在元件基板蒸镀有机膜。有机发光元件的连续式制造系统可以包括蒸镀装置，涂覆有有机膜的第一施体基板或者元件基板被投入蒸镀装置中并与形成有导电膜的第二施体基板对置，蒸镀装置对涂覆有有机膜的第一施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将涂覆在第一施体基板上的有机膜蒸镀到第二施体基板，对蒸镀有有机膜的第二施体基板的导电膜施加电场以产生焦耳热，从而将蒸镀在第二施体基板上的有机膜蒸镀到元件基板。通过焦耳加热方式并利用第一及第二施体基板在元件基板形成有机膜，通过反复进行上述处理，能够减少有机物的损失，并能够缩短工序时间。
连续制造系统方法有机装置施体基板组

[发明专利]蒸镀机对位系统及蒸镀机对位系统选取方法-CN201680039399.1有效
发明人：刘伟达;张家奇 -专利权人：深圳市柔宇科技有限公司
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：一种蒸镀机对位系统(100)及蒸镀机对位系统选取方法。通过蒸镀机对位系统(100)及蒸镀机对位系统选取方法，可以在蒸镀过程中更为精准的控制基板(10)的对位操作，使得所述基板(10)与掩模板(20)更为精准的对位，进一步还可提高包含所述基板(10)的OLED
蒸镀机对位系统选取方法

[发明专利]蒸镀掩膜板及其制作方法-CN201510567869.9有效
发明人：马得贵;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2015-09-07 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀掩膜板，用于显示面板上像素区域的蒸镀，所述显示面板包括基板，设置于所述基板上的像素限定层，及设置于所述像素限定层上的垫块，所述像素限定层将所述基板划分成若干个子像素区域，所述子像素区域包括蒸镀子像素区域及非蒸镀子像素区域，所述蒸镀掩膜板包括掩膜板本体及形成在所述掩膜板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩膜板本体，所述掩膜板本体对应所述显示面板上所述垫块的位置设置有减薄区，以使所述掩膜板对应所述显示面板上所述垫块的位置的厚度小于所述掩膜板本体整体的厚度上述蒸镀掩膜板，可以消除蒸镀掩膜板与基板之间的间隙，提高贴合的紧密程度，减少混色风险，提高蒸镀品质。
蒸镀掩膜板及其制作方法

[发明专利]一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法-CN201910127408.8在审
发明人：汪烨辰 -专利权人：湖畔光电科技（江苏）有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，特别是一种减少蒸镀后图形边缘材料扩散的方法，在open mask上的高柔韧性的sheet上设置镂空的需要蒸镀的图形区域，沿着所述需要蒸镀的图形区域边缘向四周扩散镀上一层封闭的隔离薄膜采用上述方法后，本发明具有以下优点：1、在蒸镀前，open mask与基板贴合时，sheet的图形边缘区域，薄膜与基板因压力紧密贴合。2、sheet上的金属铜薄膜与基板贴合后，在基板上形成隔离柱，减少蒸镀材料在基板上的扩散，从而降低蒸镀图形的大小变化。3、与此同时，金属铜薄膜因为有一定厚度，在sheet与基板贴合后，使得sheet本身会产生轻微的形变，从而降低sheet因受热或其他原因产生的形变，从而影响蒸镀区域的大小。
蒸镀基板贴合图形边缘金属铜薄膜材料扩散图形区域形变基板扩散大小变化高柔韧性隔离薄膜紧密贴合原因产生蒸镀材料受热镂空隔离柱基板因薄膜封闭

[发明专利]蒸镀装置以及蒸镀基板分离方法-CN202111049322.1在审
发明人：谢仕昭;陈亚文 -专利权人：广东聚华印刷显示技术有限公司
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种蒸镀装置，包括：蒸镀冷却板；第一支撑机构，所述第一支撑机构设置于所述蒸镀冷却板的下方，并用于支撑基板且带动所述基板朝向或远离所述蒸镀冷却板移动；第二支撑机构，所述第二支撑机构设置于所述第一支撑机构的下方，并用于支撑掩膜版且带动所述掩膜版朝向或远离所述蒸镀冷却板移动；吸附机构，所述吸附机构设置于所述蒸镀冷却板的上方，并用于吸附所述掩膜版以使所述蒸镀冷却板、所述基板以及所述掩膜版依次贴合；以及静电消除机构，所述静电消除机构用于消除所述基板上的静电。本发明可以解决蒸镀完成后分离基板时，基板被粘住的问题。
装置以及蒸镀基板分离方法

[发明专利]蒸镀装置及其蒸镀方法、显示器件制造设备-CN201710331390.4有效
发明人：杜小波 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀装置及其蒸镀方法、显示器件制造设备，该蒸镀装置用于基板蒸镀，所述基板的一侧设置有掩膜板，所述蒸镀装置包括：磁吸附层以及热敏层，其中，所述热敏层设置在所述磁吸附层一侧所述热敏层设置于所述磁吸附层和所述基板的远离所述掩膜板的一侧之间在基板的蒸镀过程中，当用于对基板蒸镀的掩膜板在某一区域产生褶皱时，会改变相应区域的热敏层的温度，热敏层根据温度变化调节自身厚度以减小该区域的磁吸附层与掩膜板的间距，从而消除掩膜板的褶皱问题，提高基板的蒸镀良率
热敏层掩膜板磁吸附蒸镀蒸镀装置基板显示器件制造设备褶皱基板蒸镀相应区域对基板减小良率配置

[发明专利]一种蒸镀机构及其工作方法-CN202011119934.9在审
发明人：兰兰;曲毅;董晴晴;冯丹丹;康梦华;邱少亚 -专利权人：合肥维信诺科技有限公司
申请日： 2020-10-19 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种蒸镀机构及其工作方法，蒸镀机构包括：温控板，所述温控板具有制热功能；掩膜板，适于位于所述温控板的下方，所述掩膜板和所述温控板之间适于放置基板；所述温控板适于在像素位置蒸镀精度的调试过程中模拟基板的蒸镀温度环境；对位检测单元，所述对位检测单元适于在所述温控板制热时获取所述掩膜板的蒸镀开口和所述基板的蒸镀图形区之间的对位偏差。所述蒸镀机构能够提高像素位置蒸镀精度的调试效率且降低成本。
一种机构及其工作方法

[发明专利]一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统-CN201510707125.2在审
发明人：付文悦;陈立强;冯长海 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-10-27 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种遮挡装置及其遮挡方法和蒸镀系统。该遮挡装置包括动力机构和遮挡机构，动力机构用于带动遮挡机构在蒸镀速率控制阶段和蒸镀阶段变换不同位置，遮挡机构用于在蒸镀速率控制阶段遮挡蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启；还用于在蒸镀阶段开启蒸镀源与待镀基板之间的蒸镀通道，并继续保持蒸镀源与蒸镀速率感应器之间的蒸镀通道开启。该遮挡装置实现了蒸镀的连续性控制，不仅缩短了蒸镀时间，而且节约了蒸镀材料，从而不仅提高了产能，而且节约了成本，同时还提高了蒸镀的稳定性和良率。
一种遮挡装置及其方法系统

[实用新型]一种新型蒸镀设备-CN201921053414.5有效
发明人：王伟;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 -专利权人：绵阳金能移动能源有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型蒸镀设备，包括：蒸镀腔室，其被设置为由四个腔壁构成的矩形状结构；基板架，基板架上可拆卸式设置有一待蒸镀的基板；掩膜架，掩膜架可拆卸式固定设置有一蒸镀掩膜板；蒸镀台，蒸镀台上均布安装有多个与基板相配合的蒸镀源；其中，蒸镀腔室水平方向上的腔壁分别为第三腔壁以及第四腔壁，在蒸镀腔室内、第三腔壁与第四腔壁的一侧均还相配合设置有一气囊，各气囊上分别设置有一通气口，各通气口均通过一通气管进而与一充气泵连通，且通气管分别贯穿第三腔壁和第四腔壁采用本实用新型的蒸镀装置使蒸镀均匀性好，同时易于实施与操作。
一种新型设备

[发明专利]一种蒸镀装置-CN201910639880.X在审
发明人：王海燕 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀装置，通过设置积灰装置对产生的非目标蒸镀物进行吸收能够保证蒸镀装置的腔体内和基板上不会附着非目标蒸镀物(氧化物或者氮化物)，从而避免因受非目标蒸镀物的污染影响到蒸镀的良率，使得蒸镀操作能够达到高真空的条件，提高基板蒸镀的效率；能够减少且通过设置积灰装置吸收非目标蒸镀物能够节省额外开腔清洁的操作，提高蒸镀的可操作性以及生产效率。
蒸镀蒸镀装置积灰装置开腔基板蒸镀生产效率污染影响氮化物高真空氧化物附着基板良率吸收体内清洁保证

[实用新型]一种改进型的蒸镀基板-CN201820109721.X有效
发明人：李飞;张向飞;李智勇;杨辉 -专利权人：淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种改进型的蒸镀基板，属于蒸镀镀膜技术领域。在原有蒸镀基板的基础上，开有缺口，将半导体芯片定位柱a相对于弹簧挂钩的偏离角度为120°；镀锅装置分为底层、中层和顶层，均匀分布；所述的第一种缺口的蒸镀基板安装在镀锅装置的底层和中层，所述的第二种缺口蒸镀基板安装在镀锅装置的顶层；缺口均朝向镀锅装置的外缘。
蒸镀基板镀锅改进型顶层蒸镀中层半导体芯片弹簧挂钩镀膜技术人员操作装置结构作业效率定位柱偏离

[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置和有机EL显示装置-CN201180046519.8有效
发明人：园田通;川户伸一;井上智 -专利权人：夏普株式会社
申请日： 2011-09-15 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一边使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)在隔开固定间隔分离的状态下相对移动，一边使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)通过蒸镀掩模的掩模开口(71)附着于基板，形成覆膜(90)。设与基板的法线方向正交并且与基板的相对移动方向正交的方向为第一方向、基板的法线方向为第二方向时，在蒸镀源开口和蒸镀掩模之间，沿第一方向配置有各自包括沿第二方向排列的多个控制板(80a、80b)的多个控制板列由此，能够在大型的基板上形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。
方法装置有机 el 显示装置

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