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[发明专利]多腔室型加热单元-CN201880028289.4在审
发明人：权纯德;闵斗植;金承贤 -专利权人：亚进产业株式会社
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： B21D37/16 文献下载
摘要：本发明提供了占据小的安装空间并且能够有效地执行坯料加热处理的多腔室型加热单元。根据本发明，用于对坯料进行加热的多腔室型加热单元包括：下壳体单元；中间壳体单元，该中间壳体单元被安装在所述下壳体单元的上部；以及上壳体单元，该上壳体单元被安装在所述中间壳体单元的上部。多个中间壳体被层叠成形成中间壳体单元，并且在中间壳体中的每一个中安装有用于对坯料进行加热的加热单元。此外，中间壳体被形成为其上部和下部敞口的形状，并且在前部中形成有供门插入到其中的开口。
中间壳体加热单元多腔室上壳体下壳体坯料加热安装空间坯料加热敞口的有效地前部开口占据

[发明专利]多腔室注射器单元-CN201780009897.6有效
发明人： J·吕姆克曼;T·韦尔克 -专利权人：豪夫迈·罗氏有限公司
申请日： 2017-02-03 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： A61M5/20 文献下载
摘要：一种多腔室注射器单元(1)，包括本体(2)、分隔元件(3)和旁路装置(26)。分隔元件(3)布置在本体(2)的内部空间中，在远端侧(23)与分隔元件(3)之间形成远侧腔室(24)，以及在近端侧(22)与分隔元件(3)之间形成近侧腔室(25)。该多腔室注射器单元(1)允许有效制备并有效提供或施用高质量的预装填产品。
多腔室注射器单元

[发明专利]热处理炉的腔室冷却单元-CN202010655539.6在审
发明人：金珉哲;中西识 -专利权人：韩国光洋热电系统有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： F27D1/12 文献下载
摘要：本发明公开热处理炉的腔室冷却单元。本发明的热处理炉的腔室冷却单元包括：热处理炉，其具有为了加热或干燥基板而容纳基板的腔室，所述腔室内安装有由加热器组成的发热体，从而利用所述加热器的热对基板进行加热或者干燥；冷却气流通道，其沿着所述腔室的内外部盒体形成：以及至少一个冷却外套，其以垂直方向位于所述腔室的外侧面，从而在所述腔室内侧形成的所述冷却气流通道中形成冷却气流。
热处理冷却单元

[发明专利]具有锥形马达腔室的泵单元-CN202080064070.7在审
发明人：约翰尼·安东尼斯·詹考伯斯·维格曼斯;马塞尔·格拉尔杜斯·玛丽亚·尼乌文赫伊斯 -专利权人：北美动力封隔器公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： F04B1/00 文献下载
摘要：泵单元(10)，该泵单元包括用于对液压致动系统进行加压的电动驱动液压泵(4)。泵单元(10)包括在泵容纳部(11)的泵腔室(110)中的液压泵(4)。在间隙的较大直径处的流体出口(122)使得液压流体能够离开，从而产生流体流，该流体流减少了泵单元内的液压摩擦，从而增大泵的容量。
具有锥形马达单元

[发明专利]用于腔室排气清洁的清洁单元-CN202180039930.6在审
发明人：凯尔文·陈;菲利普·艾伦·克劳斯;蔡泰正;哈恩·阮;阿纳塔·苏比玛尼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文揭露的实施例包括一种用于腔室的排气管线的清洁模块。在一实施例中，移动清洁模块包括：腔室，其中所述腔室包括第一开口及第二开口。在一实施例中，清洁模块进一步包括盖，所述盖密封所述第一开口。
用于排气清洁单元

[发明专利]用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用-CN201710533744.3有效
发明人：井治;刘锐;葛治亮;张超群;王程;王贝;邓君 -专利权人：中国建材国际工程集团有限公司
申请日： 2017-07-03 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明提供一种用于生产镀膜玻璃的镀膜装置及其应用，镀膜装置包括传输单元、气体隔离单元、抽真空单元、冷却单元、至少3个隔离腔室、以及阴极靶材；其中3个所述隔离腔室分别为第一隔离腔室，第二隔离腔室、第三隔离腔室，3个所述隔离腔室依次连接，每个隔离腔室的顶部都设置可打开的盖板；每个隔离腔室内的下部都设置传输单元，所述传输单元贯通所有隔离腔室；第一隔离腔室以及第三隔离腔室内设置气体隔离单元；第一隔离腔室以及所述第三隔离腔室的盖板上都设置抽真空单元；所述第二隔离腔室中设置阴极靶材以及冷却单元。
用于生产镀膜玻璃装置及其应用

[发明专利]用于焊接三维风箱的方法和装置以及风箱-CN201480047583.1有效
发明人：咸义信;咸宇星 -专利权人：咸义信;咸宇星
申请日： 2014-08-21 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： A47C27/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于焊接三维风箱的方法和装置并且涉及一种风箱，通过以下方法提供与要被制造的单元腔室的数量相一致地反复地层压单元腔室材料、第二粘附阻止膜、不同的单元腔室材料和第一粘附阻止膜；通过以下方式在单元腔室材料上形成通风孔将孔加工刀具按压到层压的单元腔室材料和第一粘附阻止膜上(孔加工刀上安装有孔周围焊接加热器)然后加热通风孔的周围以便围绕未被第一粘附阻止膜堵塞的两个相邻的单元腔室材料的通风孔的周围区域互相地焊接；通过在层压的单元腔室材料的两个最外侧的表面上设置第一形成单元腔室材料和设置有气体注入口的第二形成单元腔室材料形成单元腔室的两侧；以及通过按压轮廓加工刀具切割第一形成单元腔室材料、单元腔室材料和第二形成单元腔室材料，并且加热切割区域的周围，以便围绕未被第二粘附阻止膜堵塞的两个相邻的单元腔室材料的轮廓的周围区域互相地焊接。因此，多个单元腔室能够使用两回合冲孔工作制造，单元腔室能够结合，并且单元腔室的内部能够连接，从而能够大量制造并且显著地降低制造成本。
用于焊接三维风箱方法装置以及

[发明专利]用于处理基板的设备及方法-CN202211678153.2在审
发明人：朴建熙;韩泳遵;郑喆焕;金大勋;尹盛炫;崔叡珍;崔恩赫;姜兑昊;金永珍 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的用于处理基板的设备包括缓冲单元、反向单元、第一转移腔室、第二转移腔室、第一清洗腔室、及第二清洗腔室。第一转移腔室、反向单元、及第二转移腔室在一个方向上依序配置。第一清洗腔室布置于第一转移腔室的一侧处，且第二清洗腔室布置于第二转移腔室的一侧处。设置于第一转移腔室中的第一主转移机械手在缓冲单元、反向单元、及第一清洗腔室之间直接转移基板。设置于第二转移腔室中的第二主转移机械手在缓冲单元、反向单元、及第二清洗腔室之间直接转移基板。
用于处理设备方法

[发明专利]一种生物样品的前处理装置及其应用-CN202111524715.3在审
发明人：邓玉林;于世永;白云山;徐建栋 -专利权人：北京理工亘舒科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提出一种生物样品的前处理装置，包括推杆单元、反应单元和针头单元，所述反应单元设有若干腔室，主反应腔室承载待处理生物样品，旁腔室中存储处理生物样品所需的试剂，主反应腔室与旁腔室之间设有连接孔，通过推杆单元的推杆依次将旁腔室中的试剂推入主反应腔室，主反应腔室连接所述针头单元。本发明的生物样品的前处理装置结构简单，可在脱离实验室的场景中使用，使用快捷、方便。
一种生物样品处理装置及其应用

[实用新型]一种喷涂粉末用研磨装置-CN201820102148.X有效
发明人：蒋炳;朱进;蒋润;孙红兴 -专利权人：镇江市美鑫塑料粉末有限公司
申请日： 2018-01-22 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： B02C21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及研磨装置技术领域一种喷涂粉末用研磨装置，包括研磨单元、第一驱动单元、第二驱动单元、回收单元、收料通道、收料仓和PLC控制器，研磨单元、第一驱动单元和第二驱动单元分别设置在第一腔室、第二腔室和第三腔室内，第一腔室的入料端设置在第一腔室上方，第二腔室设置在第一腔室一侧，且设置在第一腔室斜上方，第二腔室与第一腔室之间通过第一管道相通，第三腔室设置在第二腔室一侧，且设置在第二腔室斜上方，第三腔室与第二腔室之间通过第二管道相通，收料通道竖直设置在第三腔室正下方。
第二腔室第一腔室驱动单元研磨装置腔室喷涂粉末收料通道研磨单元斜上方相通本实用新型第二管道第一管道回收单元竖直设置研磨粗研磨精研磨入料端收料仓室内

[发明专利]晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置-CN202110943242.4在审
发明人：郑分成 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置，晶圆传送装置包括传送腔室、至少一个工艺腔室、第一检测单元和控制单元，传送腔室内设有传送单元；至少一个工艺腔室与传送腔室相连通，且在相连通的位置处设有腔室门；第一检测单元包括第一发射端和第一接收端，第一发射端设置于传送单元和腔室门两者之一，第一发射端设置于传送单元和腔室门两者另一；控制单元用于确定传送单元与腔室门之间的位置信息，并控制传送单元移动，以及控制腔室门打开或关闭本公开通过在传送腔室和工艺腔室之间的腔室门以及传送单元上设置第一检测单元，有效提高晶圆的传送精度、传送效率，降低了晶圆传送过程中的破损率。
传送装置方法控制

[实用新型]一种生物样品的前处理装置-CN202123170849.8有效
发明人：邓玉林;于世永;白云山;徐建栋 -专利权人：北京理工亘舒科技有限公司
申请日： 2021-12-14 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本实用新型提出一种生物样品的前处理装置，包括推杆单元、反应单元和针头单元，所述反应单元设有若干腔室，主反应腔室承载待处理生物样品，旁腔室中存储处理生物样品所需的试剂，主反应腔室与旁腔室之间设有连接孔，通过推杆单元的推杆依次将旁腔室中的试剂推入主反应腔室，主反应腔室连接所述针头单元。本实用新型的生物样品的前处理装置结构简单，可在脱离实验室的场景中使用，使用快捷、方便。
一种生物样品处理装置

[发明专利]助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统及方法-CN202010986305.X在审
发明人：司志伟;刘宗亮;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：所述系统包括：单晶生长单元、原料循环单元、搅拌单元和氮气供给单元；所述单晶生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室，所述原料循环单元包括用以容置生长氮化物单晶所需原料的循环腔室，所述反应腔室与所述循环腔室相互连通，且所述原料能够在所述反应腔室与循环腔室之间循环流动；所述搅拌单元至少用以对所述循环腔室和/或反应腔室内的原料进行搅拌；所述氮气供给单元至少用以向所述循环腔室和/或反应腔室内提供氮气。本发明利用原料循环单元以及搅拌单元对反应腔室和循环腔室内的原料进行循环和搅拌，使生长形成的氮化物单晶均匀性更好、质量更高。
熔剂生长均匀氮化物系统方法

[实用新型]助熔剂法生长均匀的氮化物单晶的系统-CN202022055337.6有效
发明人：司志伟;刘宗亮;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：所述系统包括：单晶生长单元、原料循环单元、搅拌单元和氮气供给单元；所述单晶生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室，所述原料循环单元包括用以容置生长氮化物单晶所需原料的循环腔室，所述反应腔室与所述循环腔室相互连通，且所述原料能够在所述反应腔室与循环腔室之间循环流动；所述搅拌单元至少用以对所述循环腔室和/或反应腔室内的原料进行搅拌；所述氮气供给单元至少用以向所述循环腔室和/或反应腔室内提供氮气。本实用新型利用原料循环单元以及搅拌单元对反应腔室和循环腔室内的原料进行循环和搅拌，使生长形成的氮化物单晶均匀性更好、质量更高。
熔剂生长均匀氮化物系统

[发明专利]外壳系统-CN202180089612.0在审
发明人：李星轸;车载正 -专利权人： UNIJET株式会社
申请日： 2021-09-02 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：为此，本发明的外壳系统包括：处理单元移动腔室，其包括暴露处理单元的一个侧部的第一维护开口孔和暴露处理单元的另一侧部的第二维护开口孔，处理单元移动腔室与处理单元一体地移动；管理单元移动腔室，其包括暴露管理单元的管理部的管理开口孔并且与管理单元一体地移动；以及固定腔室，其连接到安装在外壳的一个侧壁部分处的门以形成预定空间，固定腔室包括朝向外壳的内部延伸的对接开口孔，其中，通过处理单元和管理单元的移动，处理单元移动腔室和管理单元移动腔室彼此紧密接触以允许第一维护开口孔和管理开口孔彼此连通，处理单元移动腔室和固定腔室紧密接触以允许第二维护开口孔和对接开口孔彼此连通，并且由此处理单元移动腔室、管理单元移动腔室和固定腔室形成一个密封空间。
外壳系统

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