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[发明专利]线宽参数测量方法、装置及图像处理设备-CN202111216710.4在审
发明人：张晓东;李锁印;韩志国;赵琳;许晓青;吴爱华 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种线宽参数测量方法、装置及图像处理设备。该方法包括：接收待测线宽样板的像素图像；获取标准线宽样板的标准线宽参数；根据像素图像确定待测线宽样板的像素线宽参数；根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数；其中，转换关系用于表征像素线宽参数和真实线宽参数之间的关系；或者，利用最小二乘法，对像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定待测线宽样板的真实线宽参数。本发明能够提高测量线宽参数的准确性。
参数测量方法装置图像处理设备

[发明专利]线宽均匀性的测试方法-CN201010545764.0有效
发明人：黄玮;段天利;邹永祥;胡骏;张辰明;刘志成 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2010-11-16 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种线宽均匀性的测试方法，包括以下步骤：在光刻版上形成线宽设计值为目标值的k个线宽测试图形；遍测k个线宽测试图形在光刻版上的线宽实际值；计算k个线宽测试图形的线宽实际值与对应的目标值的差值；将k个线宽测试图形光刻到圆片上；测试圆片上k个线宽测试图形的线宽真实值；根据k个线宽测试图形的线宽值和线宽真实值计算MEEF校验值，线宽值是目标值或线宽实际值；计算k个差值与MEEF校验值的乘积，得到对应的k个补偿值；计算圆片上的k个线宽测试图形的线宽真实值与对应的k个补偿值之和，得到k个线宽最终值，作为评价线宽均匀性的数据。
均匀测试方法

[发明专利]一种识别并管理阻抗线的方法及其系统-CN202111339148.4有效
发明人：温祖亮 -专利权人：深圳市一晤未来科技有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H05K1/16 文献下载
摘要：本发明公开一种识别并管理阻抗线的方法，包括针对PCB设计图打开阻抗线管理程序，阻抗线管理程序分层识别PCB设计图上的阻抗线及其线宽和非阻抗线及其线宽；弹出阻抗线管理界面，阻抗线管理界面按层展示线宽列表，线宽列表展示该层所有阻抗线和非阻抗线的线宽，并在阻抗线线宽后添加Physical_Constraint_Set属性值；解析用户点击线宽列表中任一阻抗线线宽重复项的操作，阻抗线线宽重复项为阻抗线中所有与阻抗线或非阻抗线相比重复的线宽；接收并解析用户对被点击的线宽的修改，修改范围是不小于被点击线宽原始值的‑5％，且不大于原始值的5％，且修改后的阻抗线线宽不与线宽列表中的任一线宽重复；解析用户确认修改的操作，保存被修改的阻抗线线宽。
一种识别管理阻抗方法及其系统

[发明专利]一种连接无线宽带的方法和装置-CN201711346399.9在审
发明人：冯颖 -专利权人：上海斐讯数据通信技术有限公司
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H04W48/16 文献下载
摘要：本发明的实施例公开一种连接无线宽带的方法和装置，当所述智能设备连接已连接无线宽带的智能插线板时，获取所述智能插线板保存的无线宽带相关信息；所述智能设备根据所述无线宽带相关信息连接所述无线宽带。智能设备可以直接根据从所述智能插线板获取的无线宽带相关信息连接所述无线宽带，而不需要手动在所述智能设备输入所述无线宽带相关信息以进行无线宽带连接，能使得所述智能设备能快速连接无线宽带，节省连接的时间。
无线宽带智能设备相关信息智能插线板方法和装置快速连接保存

[发明专利]一种连接不同线宽喷墨打印线的多段拼接技术-CN201711269822.X有效
发明人：宁洪龙;陶瑞强;姚日晖;陈建秋;杨财桂;周艺聪;蔡炜;朱镇南;魏靖林;彭俊彪 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B41J2/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种连接不同线宽喷墨打印线的多段拼接技术，在低线宽打印线与高线宽打印线之间打印起连接作用的打印线，所述起连接作用的打印线的线宽满足以下条件：(1)大于或等于与高线宽打印线连接时不发生拐角积墨现象的打印线的最低线宽；(2)与低线宽打印线的线宽接近。本发明重点解决了在复杂图形设计中，不同线宽喷墨打印线连接时，流体从低线宽打印线流向高线宽打印线的问题，在低线宽与高线宽打印线之间添加一小段中间段即可有效改善打印线连接时的拐角积墨现象，是对喷墨打印复杂图形过程中图形精度与溶质分布调控方法的一种补充
打印线线宽喷墨打印高线复杂图形拐角多段拼接线连接中间段流体溶质打印补充调控

[发明专利]一种线宽均匀性的测试方法-CN201010545771.0有效
发明人：黄玮;段天利;邹永祥;胡骏;张辰明;刘志成 -专利权人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2010-11-16 - 公布日： 2012-05-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种线宽均匀性的测试方法，包括以下步骤：在光刻版上形成线宽设计值为目标值A1、A2、......、Ak的k个线宽测试图形，同时形成至少k个修正图形，每一个线宽测试图形至少有一个相对应的修正图形，修正图形的线宽设计值略大于或小于相对应的线宽测试图形的目标值；遍测线宽测试图形和修正图形在光刻版上的线宽实际值；在每一个线宽测试图形以及相对应的修正图形中，挑选出线宽实际值与目标值最接近的图形，作为对应图形；将对应图形光刻到圆片上；测试圆片上的对应图形的线宽，作为评价线宽均匀性的数据。本发明消除了制版误差，得到的线宽均匀性数据能够真实反映光刻机镜头性能。
一种均匀测试方法

[发明专利]烘烤装置和调节线宽的方法-CN201711392347.5在审
发明人：朱治国 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明提供了一种烘烤装置和调节线宽的方法，调节线宽的方法包括：在一晶圆上划分出多个区域；分别设定所述晶圆上每个区域的线宽参考值；获取所述晶圆上每个区域的线宽实际值；在所述晶圆烘烤的过程中，调节热组合件的温度以使所述线宽实际值接近所述线宽参考值在本发明提供的烘烤装置和调节线宽的方法中，通过在晶圆上划分多个区域，分别调节晶圆上所有区域的线宽，最终提高整个晶圆线宽的均匀性。
线宽晶圆烘烤装置整个晶圆参考均匀性热组合烘烤

[发明专利]一种金属层中最小线宽和最小间距的图形优化方法及装置-CN202310214554.0在审
发明人：邹雪峰 -专利权人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G03F1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属层中最小线宽和最小间距的图形优化方法及装置，应用于光刻制造领域，包括：选取包括金属层中最小线宽和最小间距的图形，作为目标图形；目标图形为沿最小线宽和最小间距排列的方向，最小线宽的一侧只具有一个相邻间距的图形；目标图形中具有最小线宽和最小间距的区域为一个连续区域；选取目标图形中结束最小线宽或最小间距的第一图形区域；第一图形区域中的线宽或间距大于最小线宽和最小间距；将目标图形中具有最小线宽或最小间距的区域中，每个线宽和间距的区域边向第一图形区域移动。本发明通过将最小线宽和最小间距区域的区域边向结束最小线宽或最小间距的区域进行移动，减少了图形出现坏点的情况。
一种金属最小宽和间距图形优化方法装置

[发明专利]一种检测电源线宽的方法-CN201610644894.7在审
发明人：张得文;刘金凤;高新迪 -专利权人：浪潮集团有限公司
申请日： 2016-08-09 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种检测电源线宽的方法，属于电子设计自动化技术领域。本发明的检测电源线宽的方法调用Skill程序扫描捕捉电源线宽坐标的代码，通过调用电源线宽坐标，进行逐一检查，检测电源线宽是否符合标准。该发明的检测电源线宽的方法能自动的检测电源线宽，从而确保PCB设计的品质，具有很好的推广应用价值。
一种检测电源线方法

[发明专利]一种高精度内层线路的制作方法-CN201811366514.3在审
发明人：周文涛;孙保玉;彭卫红;宋建远 -专利权人：深圳崇达多层线路板有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： H05K3/06 文献下载
摘要：本发明通过将现有技术的蚀刻方式改为浸泡式蚀刻，并控制蚀刻时的工艺参数，从而可提高内层线路的线宽精度，进而提高内层线路的阻抗值精度。另外，通过调整线宽的预大值，在制作内层线路图形时将图形中线宽值设为比目标线宽大5‑15μm，即预大值为5‑15μm，可有效弥补棕化过程对线宽造成的损耗。同时，优化蚀刻后进行线宽测量的线宽管控值并在棕化后增加线宽测量工序，使内层线路的线宽始终处于管控之中，保证内层线路的线宽百分百合格。
内层线路蚀刻线宽线宽测量管控棕化制作内层线路图形电路板制作调整线浸泡式目标线对线阻抗优化保证

[发明专利]一种PCB板设计中批量修改线宽的方法及系统-CN201810026453.X在审
发明人：张敏 -专利权人：郑州云海信息技术有限公司
申请日： 2018-01-11 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种PCB板设计中批量修改线宽的方法及系统，属于PCB板设计技术领域，解决现有技术中无法快速查找到所需的线，且不能够快速批量或全部选中所需的线，以及不能够实现线宽的快速修改，设计效率低的问题采用的技术方案为：方法包括以下步骤：搭建、展示弹窗；获取弹窗内的输入信息，包括层面、原线宽、新线宽；根据上述中中输入的层面进行层面切换，并在该层面输入原线宽和新线宽；抓取上述中所需层面上所有线宽等于原线宽的线；对上述中抓取的线进行线宽修改；本发明能够快速查找到所需的线，并且能够快速批量或全部选中所需的线，实现快速修改线宽，并有效提高设计效率。
线宽原线抓取批量修改设计效率弹窗选中输入信息线宽修改展示

[发明专利]自动调整线宽的方法-CN200810160909.8无效
发明人：柳妍;杨淑敏 -专利权人：英业达股份有限公司
申请日： 2008-09-11 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明公开一种印制电路布局图中自动调整线宽的方法。所述自动调整线宽的方法包括下列步骤。首先，取得印制电路布局图中焊垫的宽度。接着，取得印制电路布局图中网线的线宽，其中网线连接焊垫。然后，判断网线的线宽是否大于焊垫的宽度。若网线的线宽大于焊垫的宽度，则调整网线的线宽为焊垫的宽度。借此，可自动调整网线的线宽为其连接焊垫的宽度。
自动调整方法

[发明专利]线宽可调谐的单频光纤激光器-CN202210625700.4在审
发明人：高伟清;郑子其;周勇;马晓辉;张维;方文坛;陈小林;黄松 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种线宽可调谐的单频光纤激光器，结合光学自注入以及受激布里渊效应，实现了输出激光线宽大幅度的调谐。在该激光器中，除了单频种子源DFB(DistributedFeedback)以及光放大部分以外，该装置结构大体可分为两部分，一部分为自注入窄化线宽结构，另一部分则为受激布里渊效应窄化线宽结构。在调谐线宽过程中，首先由外腔注入光对单频激光器线宽进行窄化，并通过控制外腔中的可调谐衰减器来控制线宽窄化程度，并将控制后得到的不同线宽输出通过之后的受激布里渊结构，利用受激布里渊效应强大的压窄线宽能力得到不同程度被压窄的线宽，从而完成输出激光线宽从很宽到极窄的可调谐过程。
线宽可调谐光纤激光器

[发明专利]线宽偏差曲线的生成方法、线宽偏差值的预估方法及装置-CN201811516502.4有效
发明人：单剑锋 -专利权人：惠科股份有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种线宽偏差曲线的生成方法，包括以下步骤：获取各个光罩开口的第一尺寸信息，及基于各个光罩开口在电阻层上形成的各个目标图形的第二尺寸信息；根据所述第一尺寸信息与所述第二尺寸信息，计算所述各个光罩开口与对应的目标图形之间的线宽偏差值；根据所述线宽偏差值及所述第一尺寸信息生成线宽偏差曲线。本发明还公开了一线宽偏差值的预估方法、线宽偏差值预估装置及计算机可读存储介质。本发明通过多个离散的光罩开口的尺寸信息与线宽偏差值的一一对应关系，生成线宽偏差曲线，使得可以根据线宽偏差曲线预测线宽偏差值，从而解决了无法确定光罩上所述新尺寸开的线宽偏差值的技术问题。
偏差曲线生成方法预估装置

[发明专利]版图图形的填充方法-CN201910986336.2有效
发明人：赵文文;张逸中;于是瑞 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本申请公开了一种版图图形的填充方法，包括：提供包括辅助有源层、冗余有源层、辅助栅层以及冗余栅层的设计版图；选取线宽在第一预定线宽范围内的辅助有源层以及线宽在第二预定线宽范围内的冗余有源层；对于线宽在第一预定线宽范围内的辅助有源层，在小于第一预定线宽的辅助有源层上添加辅助硅锗层，在至少一个大于所述第一预定线宽的辅助有源层上添加辅助硅锗层；对于线宽在第二预定线宽范围内的冗余有源层，根据冗余有源层周围的图形确定需要添加的冗余硅锗层的样式进行添加本申请通过对锗硅图形生长区域内的衬底图形进行分类，根据不同线宽的衬底图形采用不同的填充方式，在一定程度上解决了图形负载效应引起的缺陷问题。
版图图形填充方法

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