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[发明专利]垂直阵列纳米柱薄膜体声波谐振器及其制备方法和滤波器-CN201611135805.2在审
发明人：李国强;刘国荣;李洁 -专利权人：佛山市艾佛光通科技有限公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了垂直阵列纳米柱薄膜体声波谐振器，依次包括硅衬底、空腔和压电堆叠结构，所述空腔形成于硅衬底和压电堆叠结构之间；所述压电堆叠结构包括底电极、压电材料纳米柱阵列、纳米柱侧壁隔离层、制作在纳米柱侧壁隔离层外的间隙填充层本发明的垂直阵列纳米柱薄膜体声波谐振器能有效释放压电材料生长中所积累的应力，减少材料内部缺陷，有效抑制除纵向振动外的其他寄生振动模式，实现低杂波高Q值FBAR。
垂直阵列纳米薄膜声波谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]纳米柱阵列及其制备方法-CN202010174753.X有效
发明人：段天利;张锐;王尧;马续航;王春柱;瞿学选 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种纳米柱阵列及其制备方法。上述纳米柱阵列的制备方法包括如下步骤：采用电子束抗蚀剂在衬底上形成抗蚀层；将抗蚀层进行曝光和显影，以在抗蚀层上曝光出多个间隔排列的直径为50nm～100nm的图案；在衬底上形成金属层，且金属层遮蔽抗蚀层且小于抗蚀层的厚度的三分之一；去除抗蚀层，得到具有多个间隔排列的金属图案的金属层；从衬底形成有金属层的一侧，沿垂直方向对衬底进行离子刻蚀，以使衬底上未被金属图案覆盖的区域被刻蚀，形成多个间隔的柱体；去除衬底上的金属图案，得到纳米柱阵列，纳米柱阵列包括多个间隔排列的纳米柱。上述制备方法能够使纳米柱阵列中的纳米柱直径小于50nm，高宽比大于20。
纳米阵列及其制备方法

[发明专利]在大面积上生产高度有序的纳米柱或纳米孔结构的方法-CN201180049660.3有效
发明人： C·莫尔哈德;C·帕霍尔斯基;J·P·施帕茨;R·布伦纳 -专利权人：马克思－普朗克科学促进协会
申请日： 2011-10-12 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种特别在大面积上生产高度有序的纳米柱或纳米孔结构的改进方法，所述结构可用作NIL、热压印或注射成型工艺中的母模。所述方法涉及以下步骤：使用通过胶束嵌段共聚物纳米光刻工艺制成的金属纳米粒子的有序阵列装饰表面；以50-500nm的深度将主基底蚀刻，其中所述纳米粒子作为掩膜，并且由此制备了对应于所述纳米粒子位置的纳米柱或纳米锥的有序阵列；在结构化过程使用纳米结构化的母模或者模板。而且，已完成的纳米结构化的基底表面可以用作涂覆有连续的金属层的牺牲母模，并且然后将该母模蚀刻掉，以留下具有纳米孔的有序阵列的金属模板，其中所述纳米孔的有序阵列为纳米柱或纳米锥原始阵列的负阵列。
大面积生产高度有序纳米结构方法

[发明专利]一种高效率纳米结构LED及其设计和制备方法-CN201610374048.8在审
发明人：陈湛旭;何影记;万巍;陈泳竹;陈耿炎 -专利权人：广东技术师范学院
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效率纳米结构LED及其设计和制备方法，包括：1)利用布拉格衍射理论设计纳米柱阵列的周期；2)利用有效折射率和增强薄膜透过率理论设计纳米柱的直径与高度；3)利用纳米球掩膜刻蚀或其他纳米技术制备纳米柱阵列结构本发明的设计巧妙，可以大批量生产，通过优化设计纳米柱结构从而制备高效率的平面结构LED芯片。本发明公开的高效率LED的设计和制备方法，在LED的透明电极ITO层设计纳米柱阵列结构，制备出高效率的平面结构LED。
一种高效率纳米结构 led 及其设计制备方法

[发明专利]一种电网电晕监测器及其制备方法-CN202210391280.8有效
发明人：郭道友;赵天丽;邓李朋;钱松程;邢志文;王顺利 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种电网电晕监测器及其制备方法，包括FTO衬底，所述FTO衬底的至少一侧具有氟掺杂氧化锡层，所述氟掺杂氧化锡层上生长有GaOOH纳米柱阵列，所述GaOOH纳米柱阵列经退火后形成α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列，所述α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列上设置有Ti3C2/Ag纳米线复合层，所述Ti3C2/Ag纳米线复合层上设置有Ag电极，所述Ti3C2/Ag纳米线复合层上的Ti3C2层与所述α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列之间形成Ti3C2/α/β‑Ga2O3纳米柱阵列范德瓦尔斯异质结，具有三维空间异质结界面结构和日盲特性，具有优异的化学和热稳定性，耐压强，工作温度和功耗低，重复性良好，是一个具有超高响应度的自供电电网电晕监测器
一种电网电晕监测器及其制备方法

[发明专利]一种不同纳米柱直径的聚乳酸阵列及其制备方法与应用-CN201711027028.4有效
发明人：刘宏;张珊;马保金;刘锋;段佳志;王世才;孔颖;桑元华 -专利权人：山东大学
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： A61L27/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种不同纳米柱直径的聚乳酸阵列，是以不同规格的多孔阳极氧化铝作为模板，以聚乳酸薄膜为样本，采用压片机对置于模板表面上的样本常温压印获得的纳米柱直径、间距、深度和膜厚度不同的聚乳酸阵列；其中所述聚乳酸阵列是由浓度为0.05g/ml～5g/ml的聚乳酸二氯甲烷溶液通过蒸发形成的5μm～500μm厚度的聚乳酸薄膜构成，聚乳酸薄膜上具有纳米柱直径为50nm～500nm，间距为100nm～1μm，深度为50nm～200nm的阵列结构。实验证实聚乳酸阵列的不同纳米柱直径对干细胞的成骨分化具有不同程度的促进作用，可助于确定聚乳酸纳米阵列在骨修复应用中的最佳纳米柱直径参数。同时，本发明聚乳酸阵列制备方法简便快捷，可批量制备，具有广阔的应用前景。
一种不同纳米直径乳酸阵列及其制备方法应用

[发明专利]月牙形金属纳米结构的制备方法-CN201210032492.3有效
发明人：吴学忠;董培涛;陈剑;王朝光;王浩旭;邸荻;吕宇;王俊峰 -专利权人：中国人民解放军国防科学技术大学
申请日： 2012-02-14 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了月牙形金属纳米盘阵列、硅柱支撑的月牙形金属纳米盘结构阵列和离散月牙形金属纳米颗粒等三种月牙形结构阵列的制备方法；月牙形金属纳米盘阵列的制备方法包括制备单层有序聚苯乙烯纳米球致密排列、制备单层有序聚苯乙烯纳米球非致密排列、沉积金属、制备金属纳米圆孔阵列、制备复合材质的月牙形掩模孔阵列和制备月牙形金属纳米盘阵列等工艺步骤；以所述月牙形金属纳米盘阵列为掩模进行刻蚀可制得硅柱支撑的月牙形金属纳米盘结构阵列；对所述月牙形金属纳米盘阵列进行腐蚀可制得离散月牙形金属纳米颗粒；本发明的制备方法，通用性强、适应性广、兼容性好、效率高、成本低且能为研究月牙形金属纳米结构提供便利。
月牙形金属纳米结构制备方法

[发明专利]具有表面增强拉曼散射效应的活性基底及其制备方法和应用-CN201110231298.3无效
发明人：姜卫粉;高海燕;张天杰;杨晓辉;张巧丽;贾敏;吕健;蔡洪涛;凌红 -专利权人：华北水利水电学院
申请日： 2011-08-12 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： C04B41/53 文献下载
摘要：该活性基底的制备方法为：P型单晶硅片首先通过水热腐蚀得到硅纳米孔柱阵列，然后在硅纳米孔柱阵列表面进行化学气相沉积生长碳纳米颗粒，制得碳纳米颗粒膜/硅纳米孔柱阵列活性基底。采用该碳纳米颗粒膜/硅纳米孔柱阵列作为具有表面增强拉曼散射效应的活性基底可检测到浓度为10-6mol/L的若丹明6G分子，该活性基底具有极强的拉曼增强效应。
具有表面增强散射效应活性基底及其制备方法应用

[发明专利]隐形半导体器件及其制备方法和应用-CN202010517504.6在审
发明人：张建亚;陆书龙;赵宇坤;邢志伟;周敏 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所南昌研究院
申请日： 2020-06-09 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：所述制备方法包括：在外延衬底上依次形成牺牲层、外延层和纳米柱阵列，所述外延层和纳米柱阵列均含有Ⅲ‑Ⅴ族半导体材料；设置至少覆盖所述纳米柱阵列的绝缘材料层，并在所述绝缘材料层上加工出至少一个窗口，使至少部分的纳米柱阵列自所述窗口露出；在所述绝缘材料层的窗口处设置第一电极，使所述第一电极与从所述窗口暴露出的纳米柱阵列电连接，所述第一电极为透明电极，以及在所述绝缘材料层除窗口之外的区域上设置第二电极，从而形成隐形半导体器件。本发明提供的隐形半导体器件的使用寿命长，且该隐形半导体器件具有垂直型的纳米柱阵列，从而有利于释放外延应力，提高晶体质量。
隐形半导体器件及其制备方法应用

[发明专利]一种基于氧化镓纳米柱阵列的光电化学型日盲紫外探测器-CN201810997396.X有效
发明人：郭道友 -专利权人：北京镓族科技有限公司
申请日： 2018-08-29 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明提供一种基于氧化镓纳米柱阵列的光电化学型日盲紫外探测器，包括生长在衬底上的氧化镓纳米柱阵列光阳极，所述的氧化镓纳米柱阵列是在透明导电衬底上生长的α相或β相氧化镓纳米柱阵列。本发明提出的光电化学型日盲紫外探测器，其中的氧化镓纳米柱阵列沿着透明导电电极衬底定向生长，其形貌、尺寸均匀，且具有较大的比表面积，与电解液形成的界面接触多，有利于光生载流子的分离和传输。本发明所制备的氧化镓纳米柱阵列光电化学型日盲紫外探测器在一定功率的紫外光照射下，无需外加电源偏压即可工作，可以减少能源的消耗。
一种基于氧化纳米阵列光电化学型日盲紫外探测器

[发明专利]基于PtSe2-CN202110062494.6有效
发明人：刘欢;杜宇轩;贾金梅;赵季杰;文帅;白民宇;解飞;谢万鹏;杨媚;吴嘉元;刘卫国 -专利权人：西安工业大学
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L31/109 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于PtSe2与硅纳米柱阵列的光电探测器及其制备方法，该光电探测器包括PMMA透光保护层、石墨烯透明上电极、包覆少层PtSe2的硅纳米柱阵列结构体、石墨烯透明上电极和硅纳米柱阵列结构体的金属电极。制备方法为：CVD法制备石墨烯；干法刻蚀制备硅纳米柱阵列结构体；激光干涉增强诱导CVD在硅纳米柱阵列结构体表面包覆少层PtSe2；制备石墨烯透明上电极；磁控溅射镀制金属电极本发明制备的光电探测器可以实现可见光到近红外波段的探测功能，硅纳米柱阵列结构体增强了探测器对光线的吸收作用，使得该探测器具有灵敏度高，器件结构简单，实用性强的优点。
基于 ptse base sub

[发明专利]高聚物纳米柱阵列、微反应室阵列的制备方法及应用-CN201510434320.2有效
发明人：周小春;李飞飞 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2019-07-05 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本申请揭示了一种高聚物纳米柱阵列、微反应室的制备方法及应用，用于解决现有技术中制备纳米级的微反应室阵列成本高，容易对被检测物造成损伤的问题。该方法包括以下步骤：提供具有纳米孔道阵列的模板，该纳米孔道阵列由分布在模板上的纳米级盲孔组成；将高聚物的单体、预聚体、溶融体中的至少一种填充于该模板内并固化成型；去除该模板，获得高聚物纳米柱阵列。
高聚物纳米阵列反应制备方法应用

[发明专利]一种利用紫外软压印制备有序氮化镓纳米柱阵列的方法-CN201310256681.3有效
发明人：刘斌;张荣;庄喆;葛海雄;郭旭;谢自力;陈鹏;修向前;赵红;陈敦军;陆海;顾书林;韩平;郑有炓 -专利权人：南京大学
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：利用紫外软压印制备有序氮化镓纳米柱阵列的方法，在氮化镓衬底上生长介质薄膜，利用紫外软压印双层胶剥离技术得到金属有序纳米柱（孔）结构，通过反应离子刻蚀方法得到直径变化可调的介质纳米柱（孔）结构，并利用感应耦合等离子体（ICP）刻蚀得到直径不同的氮化镓有序纳米柱（孔）阵列。在氮化镓衬底上生长包括SiO2、SiNx的一层介质薄膜，将PMMA和紫外固化胶依次旋涂在衬底样品表面;利用紫外软压印技术在紫外固化胶上形成大面积、低缺陷的有序纳米孔（柱）阵列结构，接着利用反应离子刻蚀技术刻蚀残余胶和PMMA，随后蒸镀金属薄膜剥离得到金属纳米柱（孔）阵列结构。反应离子刻蚀方法刻蚀介质薄膜层结构，得到直径变化可调的介质纳米柱（孔）结构。
一种利用紫外压印制备有序氮化纳米阵列方法

[发明专利]一种超构表面光学透镜和成像装置-CN202011240953.7在审
发明人：胡跃强;张建;段辉高;李苓;宋强;马国斌;徐晓波 -专利权人：湖南大学;深圳珑璟光电科技有限公司;湖南大学深圳研究院
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种超构表面光学透镜，包括介质衬底和设置于介质衬底的电介质纳米结构，其中，电介质纳米结构包括至少两个呈圆形排列的电介质纳米结构阵列，电介质纳米结构阵列包括至少一个电介质纳米柱，同一所述电介质纳米结构阵列中的电介质纳米柱的结构一致、同一所述电介质纳米结构阵列中的电介质纳米柱的长轴尺寸和短轴一致、同一所述电介质纳米结构阵列中的电介质纳米柱在介质衬底表面的面内角度一致。
一种表面光学透镜成像装置

[发明专利]一种载银二氧化钛纳米柱阵列光催化剂的制备方法-CN201910021974.0有效
发明人：赵艳;许靖晗;蒋毅坚 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2019-01-10 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： B01J23/50 文献下载
摘要：一种载银二氧化钛纳米柱阵列光催化剂的制备方法属于材料制备及光催化的技术领域。该催化剂的特点有：具有高度有序的纳米柱结构，银纳米粒子沉积于纳米柱内部。制备工艺是在阳极氧化铝模板上使用原子层沉积法沉积一层二氧化钛，然后使用真空蒸镀在二氧化钛柱内壁沉积银纳米颗粒，从而获得外部为二氧化钛纳米柱，内部为银纳米颗粒的光催化剂结构。在特殊的纳米结构作用下，载银二氧化钛纳米柱阵列在紫外‑可见光波段展现出良好的光吸收和光催化效率，促进了对纳米阵列结构的研究。
一种载银二氧化纳米阵列光催化剂制备方法