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[发明专利]硬盘轴承的表面镀膜方法-CN202110342411.9在审
发明人：邓国安 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及硬盘轴承表面处理技术领域，公开了一种硬盘轴承的表面镀膜方法，包括：将硬盘轴承放置在镀膜处理室的镀膜夹具上；对所述硬盘轴承进行预清洗，得到预清洗后的硬盘轴承；对所述镀膜处理室进行抽真空处理，使得所述镀膜处理室内的真空度达到第一预设真空度；通入工作气体，在所述镀膜处理室内的真空度达到第二预设真空度时，对所述工作气体进行电离，并利用电离得到的等离子体射频溅射碳靶，使得所述碳靶上溅射出的碳原子沉积到所述预清洗后的硬盘轴承的表面，以形成类金刚石碳膜采用本发明实施例，能够在硬盘轴承表面镀上类金刚石碳膜，以增加硬盘轴承的表面硬度，减小摩擦磨损，从而有效延长硬盘轴承的使用寿命。
硬盘轴承表面镀膜方法

[发明专利]一种金刚石涂层钻头及其制备方法-CN201711483687.9有效
发明人：张贺勇 -专利权人：深圳市金洲精工科技股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种金刚石涂层钻头及其制备方法，所述钻头包括钻身(1)和钻尖(2)，所述钻身(1)涂覆纳米晶金刚石涂层或类金刚石的碳基涂层；所述钻尖(2)涂覆微米晶金刚石涂层。本发明分别在钻尖和钻身涂覆微米晶金刚石涂层和纳米晶金刚石涂层或类金刚石涂层等摩擦系数低的碳基涂层，融合了微米晶金刚石涂层优异的耐磨性能和纳米晶金刚石涂层优异的切屑排出性能，进而获得了耐磨性能和切屑排出性能都十分优异的金刚石涂层钻头
金刚石涂层钻头纳米晶微米晶涂覆钻尖钻身切屑排出性耐磨性能碳基涂层制备热丝化学气相沉积化学气相沉积类金刚石涂层工作效率类金刚石摩擦系数使用寿命热筒融合应用

[发明专利]一种悬臂件-CN202111591056.5在审
发明人：李万品 -专利权人：东莞新科技术研究开发有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域，公开了一种悬臂件，其包括悬臂件本体、硅过渡层、碳化硅缓冲层和类金刚石膜；所述硅过渡层设于所述悬臂件本体和所述碳化硅缓冲层之间，所述碳化硅缓冲层设于所述硅过渡层和所述类金刚石膜之间，这样，类金刚石膜的内应力通过硅过渡层和碳化硅缓冲层得到释放，从而增强了类金刚石膜与悬臂件本体之间的结合力以及各个层之间的结合力，确保了类金刚石膜能够可靠连接在悬臂件上。
一种悬臂

[发明专利]封装保护结构-CN02142953.7有效
发明人：陈光荣 -专利权人：统宝光电股份有限公司
申请日： 2002-09-13 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： H05B33/04 文献下载
摘要：该封装保护结构完全覆盖在一基底上的一电路元件上，该封装保护结构包含有一第一层类金刚石碳膜，用来当作该封装保护结构的最下层，一缓冲层设于该第一层类金刚石碳膜表面，以及一第二层类金刚石碳膜，覆盖该缓冲层及部分该第一层类金刚石碳膜，用来当作该封装保护结构的最上层并与该第一类金刚石碳膜形成一回路结构。
封装保护结构

[发明专利]一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法-CN201610182631.9有效
发明人：孙丽丽;汪爱英;郭鹏;张栋;李晓伟;柯培玲 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2016-03-25 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本发明提供一种透明聚合物表面的透明疏水耐磨类金刚石薄膜的制备方法。该方法首先对透明聚合物表面进行等离子体刻蚀处理；然后采用线性离子束沉积法，通入碳源气体沉积类金刚石薄膜，在类金刚石薄膜沉积过程中通入Ar气体，使薄膜沉积和气体刻蚀同时进行。利用该方法制得的类金刚石薄膜在保持良好的耐磨性与透光性的同时，还具有疏水特性，实现了兼具耐磨、透明与疏水于一体的类金刚石薄膜，具有良好的应用前景。
一种透明聚合物表面疏水耐磨金刚石薄膜制备方法

[实用新型]硬质复合膜及触摸屏面板-CN201621346408.5有效
发明人：孙瑶;黄星烨;汪洪 -专利权人：北京航玻新材料技术有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2017-07-18 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硬质复合膜及触摸屏面板，其中硬质复合膜沉积于基体表面，其中硬质复合膜由类金刚石薄膜和减反膜组成，所述基体的折射率小于所述类金刚石薄膜的折射率，所述基体包括相对的内表面和外表面，所述类金刚石薄膜沉积于基体的外表面一侧，所述减反膜沉积于所述基体的内表面和/或类金刚石薄膜与基体之间。本实用新型解决了类金刚石薄膜沉积于折射率小于其折射率的基体上的透过率问题。
硬质复合触摸屏面板

[发明专利]一种LED发光单元的制备方法-CN201410522187.1有效
发明人：丁鑫锐;李宏浩;李宗涛;吴灿标 -专利权人：佛山市国星光电股份有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H01L33/62 文献下载
摘要：本发明公开一种LED发光单元的制备方法，包括如下步骤1)在蓝宝石衬底上生长一层类金刚石薄膜；2)在类金刚石薄膜上制备电极通孔；3)在所述类金刚石薄膜裸露的一面制备电极通孔阵列，同时在电极通孔内壁上电镀一层金属，并在电镀有金属的电极通孔处制备键合金属；4)准备一具有紫外胶的基板，将所述类金刚石薄膜与基板的紫外胶贴合；5)采用激光剥离的方式从蓝宝石衬底与所述类金刚石薄膜的交界处将蓝宝石衬底与类金刚石薄膜剥离；6)在类金刚石薄膜的另一面制备金属图案阵列，同时在所述电极通孔的底部镀金属；7)再进行LED芯片或晶圆键合；8)然后进行裂片分割，再在其底部利用紫外光照射使紫外胶丧失粘性而将所述基板分离。
一种 led 发光单元制备方法

[发明专利]一种用于活塞环表面的类金刚石镀层、活塞环及制备工艺-CN201610131810.X在审
发明人：吴映雪;刘千喜;周月亭;张波 -专利权人：仪征亚新科双环活塞环有限公司
申请日： 2016-03-08 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于活塞环表面的类金刚石镀层，所述类金刚石镀层从下至上依次为打底层、梯度层和调幅层，所述调幅层为掺杂有掺杂元素的类金刚石镀层，所述掺杂元素为Cr、Si、Ti中的一种或两种以上，所述掺杂元素在调幅层中的含量随着调幅层的厚度呈正弦波波动形式周期性变化与传统的单层结构或梯度层结构相比，因本类金刚石镀层的调幅层中的掺杂元素的含量随着调幅层的厚度呈正弦波波动形式周期性变化，使得本类金刚石镀层的调幅层具有多层循环调变结构；其在具有高耐磨、低摩擦系数的基础上，有利于镀层内应力的降低，提高镀层韧性，并且确保类金刚石镀层厚度的提高，同时提高类金刚石镀层活塞环的耐久性能。
一种用于活塞环表面金刚石镀层制备工艺

[发明专利]一种轴承的复合层制备方法及其轴承-CN201610339587.8有效
发明人：陆利民;陆丹寅 -专利权人：无锡铠骏机械制造有限公司
申请日： 2016-05-19 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： C23C28/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种轴承的复合层制备方法及其一种轴承，该轴承的复合层制备方法包括以下步骤：轴承经清洗、烘干后放入磁控溅射镀膜室；在磁控溅射镀膜室内通入氩气等离子气体轰击轴承表面；在氩气气氛中，以铬为靶材，在轴承表面利用磁控溅射沉积铬膜层；在氩气气氛中，以碳化钨为靶材，在铬膜层上利用磁控溅射沉积碳化钨膜层；以石墨和金刚石共同为阴电极，通入乙炔气体，以在碳化钨膜层上利用等离子体化学气相沉积法沉积类金刚石膜层。在基材表面依次沉积铬膜层、碳化钨膜层及类金刚石膜层，在确保轴承的基材表面所沉积的复合层具有较高强度的同时，又使得复合层具有较低的摩擦系数，从而显著的提高了轴承的使用寿命。
轴承复合层碳化钨铬膜层膜层沉积制备磁控溅射沉积磁控溅射镀膜类金刚石膜层基材表面轴承表面氩气气氛靶材等离子体化学气相沉积法氩气等离子摩擦系数使用寿命乙炔气体金刚石阴电极石墨烘干放入轰击清洗室内

[实用新型]一种类金刚石薄膜制药灌装用标准计量泵-CN201620089890.2有效
发明人：孟凯;黄吕全;季荣 -专利权人：南通纺织丝绸产业技术研究院;南通耀辉新能源设备有限公司
申请日： 2016-01-29 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种类金刚石薄膜制药灌装用标准计量泵，包括泵主体、移动栓塞和旋转栓塞，所述泵主体分为上部和下部，所述上部的外侧壁上设有固定栓、进药口和出药口，所述旋转栓塞从泵主体的上部套入后通过固定栓固定连接，所述移动栓塞从所述泵主体的下部套入安装，所述旋转栓塞的外侧壁和所述移动栓塞的外壁上均用真空等离子镀膜机镀有一层类金刚石薄膜层。本实用新型在传统的泵体上用真空等离子镀膜机渡上了一层金刚石薄膜，其硬度加大了数倍，表面滑度也增加了许多，安全且符合制药标准，耐磨可以延长使用时效，超滑易于工人安装，价格上和现有的市场上同类相当，市场容量非常可观
种类金刚石薄膜制药灌装标准计量

[发明专利]一种石墨烯/类金刚石润滑薄膜的制备方法-CN202011028687.1有效
发明人：马国政;李国禄;石佳东;魏澳博;韩翠红;刘倩;刘云帆;李振;王海斗 -专利权人：中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明为一种石墨烯/类金刚石润滑薄膜的制备方法。该方法首先在基体上通过磁控溅射法制备氢掺杂类金刚石薄膜，然后利用分散剂将石墨烯溶于无水乙醇，将溶液均匀喷涂至样品，无水乙醇挥发后得到石墨烯/类金刚石润滑薄膜。本发明兼顾了氢掺杂类金刚石薄膜的低摩擦系数与石墨烯的高硬度和稳定性，相比于传统的复合薄膜，类金刚石与石墨烯的组合具有更低的摩擦系数与更长的耐磨寿命。
一种石墨金刚石润滑薄膜制备方法

[发明专利]轴承组件-CN94105260.5无效
发明人： K·坦克;P·N·汤林森;O·F·R·A·丹姆 -专利权人：德比尔斯工业钻石部门有限公司
申请日： 1994-03-26 - 公布日： 1994-11-02 - 主分类号： F16C33/00 文献下载
摘要：金刚石轴承组件，其包括相对设置的金刚石轴承表面元件，至少有一个表面元件中没有第八类金属，如钴。最好，由金刚石坯的表面元件提供各轴承表面。这种金刚石坯实质上包含金刚石与金刚石的粘结剂和第二相，所述第二相包括硅，硅以硅和/或碳化硅的形式存在。
轴承组件

[发明专利]一种线材类金刚石涂层加工装置-CN201810162946.6在审
发明人：郎文昌;王向红;刘伟 -专利权人：温州职业技术学院
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种线材类金刚石涂层加工装置，包括有用于线材放线和收线连接的放线卷和收线卷、以及设置于放线卷和收线卷之间用于在线材上加工类金刚石涂层的类金刚石涂层放电管，所述的类金刚石涂层放电管包括有放电管主体本发明不仅可在高真空下对微型尺寸件、线材件表面磁控溅射PECVD沉积类金刚石涂层，而且还可在低真空下利用环形管气体放电，在微型尺寸件、线材件产生大束流高离化喷涂类金刚石涂层。
类金刚石涂层线材磁靴放电管收线加工装置放线卷传动结构磁控溅射多组磁铁绝缘套管气体放电大束流低真空高真空环形管可转动水冷套转动齿电极沉积放线离化喷涂外接装配加工

[发明专利]使用Ru及类金刚石碳硬掩模制造磁性存储器元件的方法-CN202080030017.5在审
发明人： M·皮纳尔巴斯;J·A·埃尔南德斯;E·A·多比斯;T·D·布恩 -专利权人：芯成半导体（开曼）有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01L33/0079 文献下载
摘要：一种用于制造磁性存储器元件阵列的方法，其包含使用Ru硬掩模层及在所述Ru硬掩模层上形成的类金刚石碳硬掩模层。在晶片上沉积多个磁性存储器元件层，并在所述多个存储器元件层上沉积Ru硬掩模层。在所述Ru硬掩模层上沉积类金刚石碳层，并在所述类金刚石碳层上形成光致抗蚀剂掩模。然后执行反应性离子蚀刻以将所述光致抗蚀剂掩模的图像转移到所述类金刚石碳掩模上，并执行离子铣削以将经图案化的类金刚石碳掩模的图像转移到底层Ru硬掩模及存储器元件层上。然后可通过反应性离子蚀刻移除所述类金刚石碳掩模。
使用 ru 金刚石碳硬掩模制造磁性存储器元件方法

[发明专利]DLC自清洁卫生洁具-CN201510818088.2有效
发明人：刘南林 -专利权人：刘南林
申请日： 2015-11-15 - 公布日： 2016-02-24 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：DLC自清洁卫生洁具由陶瓷、玻璃、金属及塑料材质的卫生洁具、溅射在卫生洁具表面的导电膜、及沉积在导电膜表面的类金刚石薄膜构成，是采用真空等离子体化学沉积类金刚石薄膜(简称DLC)技术和磁控溅射技术生产的具有自清洁功能的卫生洁具类金刚石薄膜具有高硬度，耐磨损、耐腐蚀、抗霉菌、疏水、疏油的特性，并且可以在陶瓷、玻璃、金属及塑料表面沉积形成牢固的保护膜层，无论无机物污垢还是有机物污垢都难以附着在类金刚石薄膜表面，在紫外光照射时类金刚石薄膜还能够分解有机物因而类金刚石薄膜卫生洁具不仅具有自清洁功能，还能够抗磨损、抗霉菌，适用于各类厨房及卫生间。
dlc 清洁卫生洁具