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[发明专利]有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理-CN201010205430.9无效
发明人：袁鹏 -专利权人：富美科技有限公司
申请日： 2010-06-22 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： G03G5/147 文献下载
摘要：本发明公开了有机光导鼓表面的类金刚石(DLC)镀膜改性处理方法。表面改性采用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以C2H2、H2、Ar2混合气体作为反应源气体，在有机光导鼓表面镀上一层类金刚石薄膜，与基体表面结合牢固。
有机光导鼓表面金刚石镀膜改性处理

[发明专利]一种金刚石粉体表面镀钨的方法-CN201610931098.1在审
发明人：马捷;王元元;魏建忠;黄新壮 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： C23C16/14 文献下载
摘要：一种金刚石粉体表面镀钨的方法，属于镀膜技术领域。采用化学气相沉积镀钨法，属于镀膜技术领域。对金刚石粉体表面进行“除有机物→除油→粗化→烘干”处理；将烘干后的金刚石粉体均匀的平铺于加热平台上，然后将平台放于加热炉中，在氢气气氛下将温度加热到550℃～700℃后保温10～60min；在沉积550℃～700℃温度范围，利用六氟化钨和氢气之间的还原反应在金刚石粉体表面形成钨镀层；缓慢降至室温。经化学气相沉积镀覆后金刚石粉体表面能形成均匀致密的镀覆层，且镀层杂质含量少，物相为α‑W；镀覆钨的金刚石粉末经热压烧结后比加入不镀钨的金刚石试样抗弯强度提高38.6％，且压块热膨胀系数要比加入普通金刚石有所降低
一种金刚石体表面镀钨方法

[发明专利]金属表面镀制类金刚石薄膜的方法-CN201210227099.X无效
发明人：陈伟 -专利权人：陈伟
申请日： 2012-06-29 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属表面镀制类金刚石薄膜的方法，主要步骤是：(1)超声波清洗，抽真空；(2)离子清洗，通入氩气，开启离子清洗源，产生大量氩离子对工件表面进行轰击；(3)将金属工件和真空室之间加载负偏压，开启钛电弧源使金属工件表面沉积钛过渡层；(4)通入氮气，使金属工件表面沉积氮化钛过渡层；(5)开启脉冲电弧放电，向镀膜室内通入碳氢化合物气体，由脉冲放电形成的碳离子和碳的高能中性原子与碳氢化合物气体分子碰撞，生成新的碳离子飞向工件表面形成类金刚石薄膜。本发明通过沉积过渡层的办法较好地提高了类金刚石薄膜与金属材料匹配性，使得类金刚石薄膜能较好的附着于金属表面，薄膜厚度可达1μm。
金属表面镀制类金刚石薄膜方法

[发明专利]一种类金刚石直接转化合成纯相多晶金刚石的制备方法-CN201710069372.3在审
发明人：王海阔;任瑛;刘俊龙;仝菲菲 -专利权人：河南工业大学
申请日： 2017-02-08 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： C30B29/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种类金刚石直接转化合成纯相多晶金刚石的制备方法，本发明的方法采用类金刚石粉末为原材料，经净化除杂、预压成型后，不添加任何粘结剂，装配烧结单元，直接经高温超高压烧结制备纯相多晶金刚石。制备得到的多晶金刚石的晶粒尺寸为5纳米‑100微米，大面积形成高强度的金刚石—金刚石成键的界面。这使得本发明的多晶金刚石的硬度与金刚石单晶硬度相当；热稳定性，硬度，及耐磨性明显优于含金属或陶瓷粘结剂的多晶金刚石。
种类金刚石直接转化合成多晶制备方法

[发明专利]类金刚石碳结构及其制备方法与应用-CN202110808906.6有效
发明人：林海天;李立升;郑礼伟;陈松;杨恺 -专利权人：东莞市华升真空镀膜科技有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明涉及类金刚石技术领域，特别是涉及一种类金刚石碳结构及其制备方法与应用。本发明通过在类金刚石碳结构中掺杂氮元素，提升了类金刚石碳结构中载流子的浓度，从而提升了类金刚石碳结构的导电性能，同时，通过掺杂了与氮元素质量比为(1～10):1的氧元素，不仅进一步提升了载流子的浓度，而且降低了类金刚石碳结构中的氢含量，平衡了掺氮带来的sp2结构含量的增加，避免了硬度、强度等力学性能的下降，拓展了类金刚石碳结构的应用场景，尤其是大大提升了其在3C电子领域的可用性。
金刚石结构及其制备方法应用

[发明专利]热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备-CN201810220862.3在审
发明人：唐永炳;陈波;王陶;杨扬;张松全 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2018-03-16 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明是一种热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备，涉及金刚石薄膜制备技术领域，为解决现有热丝气相沉积法制备金刚石薄膜的过程中，无法对温度场进行有效控制，从而无法获得品质良好的金刚石薄膜的问题而设计。该热丝固定装置包括至少一个用于固定热丝的丝架，至少一个丝架上安装有测温元件承载架，测温元件承载架用于安装测温元件，以对镀膜的环境温度进行测量，测温元件承载架滑动安装于丝架，安装于测温元件承载架的测温元件能够伸入镀膜区间该金刚石薄膜生长设备包括上述热丝固定装置。本发明提供的热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备用于在衬底上获得品质良好的金刚石薄膜。
金刚石薄膜热丝测温元件固定装置生长设备承载架丝架镀膜制备技术领域滑动安装气相沉积有效控制温度场衬底伸入测量

[实用新型]一种多腔室沉积金刚石薄膜装置结构-CN201921871793.9有效
发明人：邹杨;孙蕾;邹松东 -专利权人：洛阳奥尔材料科技有限公司
申请日： 2019-11-02 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种多腔室沉积金刚石薄膜装置结构，包括金刚石薄膜沉积室A，所述金刚石薄膜沉积室A的右侧设置有沉积室B，所述沉积室B的右侧设置有沉积室C，所述沉积室C的右侧设置有沉积室D，所述金刚石薄膜沉积室A、沉积室B、沉积室C和沉积室D内均设置有基片台，每个所述基片台上均设置有加热源，每个所述基片台的上方和下方均设置有加热电极。本方案的真空镀膜的多腔室金刚石薄膜沉积装置结构，通过共用抽气系统、流量计、控制系统等，可以独立或者同时生长金刚石薄膜，并根据需要分时或同时开启A‑D沉积室，从而使金刚石薄膜沉积效率更高、成本更低。
一种多腔室沉积金刚石薄膜装置结构

[发明专利]一种生长大面积金刚石单晶的方法-CN202110748010.3有效
发明人：王启亮;李红东;邹广田;吕宪义;成绍恒;刘钧松;高楠;李柳暗 -专利权人：吉林大学;吉林大学深圳研究院
申请日： 2021-07-02 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： C30B25/18 文献下载
摘要：本发明的一种生长大面积金刚石单晶的方法，属于大面积金刚石单晶制备技术领域。在清洗过的衬底表面先生长一层(100)取向金刚石织构层；对生长的(100)金刚石织构层进行抛光，用磁控溅射或者真空镀膜方法在抛光的金刚石织构层上沉积铱纳米膜，然后在沉积了铱纳米膜的金刚石织构层上继续生长，利用金刚石生长过程中的横向生长，得到金刚石单晶外延层。本发明提出了一种生长大面积金刚石单晶的新方法，解决了金刚石单晶生长面积小的问题，具有较高的发展前景跟经济价值。
一种生长大面积金刚石方法

[发明专利]一种利用类金刚石复合膜进行金刚石薄膜平坦化的工艺-CN201010273581.8无效
发明人：张楷亮;王莎莎;王芳;曲长庆;孙大智 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2010-09-07 - 公布日： 2011-01-05 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：一种采用类金刚石复合膜法进行金刚石薄膜平坦化的工艺，步骤如下：1)以单面抛光的硅片为基底，采用常规沉积工艺制备金刚石薄膜；2)在沉积金刚石薄膜的硅片上，采用化学气相沉积法，沉积类金刚石薄膜；3)采用化学机械抛光法，对类金刚石薄膜进行平坦化，从而得到高度平坦化的金刚石薄膜。本发明的优越性是：本发明制备方法简单，具有去除量少、表面硬度小、抛光效率高等优点，消除了各种去除式抛光工艺的缺点，增大了抛光面积，提高了薄膜质量，采用非金刚石粉的磨料可大大降低成本，通过实验证实可以高效率的得到表面粗糙度Ra＜1.5nm的金刚石薄膜，而金刚石薄膜仍保持原有性质不变。
一种利用金刚石复合进行薄膜平坦工艺

[发明专利]一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法-CN201710547326.X在审
发明人：张栋;汪爱英;柯培玲;王丽;郭鹏 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G01N21/59 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速、准确比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量的方法。该方法利用金刚石相对于红外光具有高透过低吸收的特性，而石墨相恰恰相反的特性通过测量待比较的类金刚石薄膜的红外光透过的高低而得到其中金刚石相以及石墨相含量的高低。与现有技术相比，本发明方法能够快速、准确地比较类金刚石薄膜结构中金刚石相及石墨相含量，并且适用的膜厚范围宽。
一种快速准确比较金刚石薄膜结构石墨含量方法

[发明专利]金刚石高导热材料镀层设备-CN202211601439.0在审
发明人：雷定中;朱明;王帆;程东霁;李新中 -专利权人：苏州思萃热控材料科技有限公司
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：发明涉及金刚石镀层领域，具体是涉及一种金刚石高导热材料镀层设备，包括工作台、分度盘、若干载具，每个载具均设有用于吸紧金刚石片的吸盘，载具的一侧设有用于对吸盘进行放气的气门芯，工作台上设有上料工位、双面研磨工位、双靶磁控镀膜机以及卸料工位，分度盘上方架设有用于将金刚石片送入双靶磁控镀膜机的镀膜送料机构，所述上料工位、双面研磨工位、双靶磁控镀膜机以及卸料工位上均设有接触气门芯的放气气缸，与现有技术相比，本发明提供的金刚石高导热材料镀层设备将金刚石片复杂的镀层工艺简化结合为一体自动化生产
金刚石导热材料镀层设备

[发明专利]类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体和其制造方法-CN200610128589.9有效
发明人：赤理孝一郎;太田安喜俊 -专利权人：株式会社神户制钢所
申请日： 2006-09-05 - 公布日： 2007-03-14 - 主分类号： B32B33/00 文献下载
摘要：一种类金刚石碳硬质多层薄膜形成的物体，其包括基底、主要由类金刚石碳构成的类金刚石碳薄膜和在基底和类金刚石碳薄膜之间的中间层。类金刚石碳薄膜从基底侧依次由第一类金刚石碳薄膜和第二类金刚石碳薄膜构成。基于毫微级压痕试验，第一类金刚石碳薄膜的表面硬度为不少于10GPa至不多于40GPa，并且基于毫微级压痕试验，第二类金刚石碳薄膜的表面硬度为40GPa以上至不多于90GPa。
金刚石硬质多层薄膜形成物体制造方法

[发明专利]一种具有类金刚石阵列的结构件及其制备方法-CN201611185457.X有效
发明人：唐永炳;杨扬;秦盼盼;张文军 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： C23C14/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有类金刚石阵列的结构件，包括基体和设置在所述基体上的具有尖端结构的类金刚石纳米针阵列，所述类金刚石纳米针阵列通过对形成在所述基体上的一类金刚石涂层进行刻蚀得到。所述具有类金刚石阵列的结构件可以对细菌的细胞壁产生压力，穿刺细菌的细胞壁使其伸展并最终溶解，导致细菌死亡，有效破坏生物膜的形成，赋予该结构件显著的抗菌性能。本发明还提供了该具有类金刚石阵列的结构件的制备方法。
一种具有类金钢石阵列结构件及其制备方法

[发明专利]一种具有类金刚石碳复合层的模具-CN200510101566.4无效
发明人：陈杰良 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2005-11-18 - 公布日： 2007-05-23 - 主分类号： B32B33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有类金刚石碳复合层的模具，包括基材，及依次形成在基材上的第一层至第N+1层类金刚石碳复合层，其中，该N值为2～30；第一层至第N层为含有填充物的类金刚石碳层，该填充物摩尔百分含量渐进递减，且该填充物为金属或金属氮化物；第N+1层为纯类金刚石碳层。该具有类金刚石碳复合层的模具，其类金刚石碳复合层与基材有较高的结合力。
一种具有金刚石复合模具

[实用新型]一种被覆梯度类金刚石薄膜的模具-CN201621179764.2有效
发明人：彭继华;苏东艺;梁献文 -专利权人：广州今泰科技股份有限公司;华南理工大学
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型属于新材料技术领域，提供一种被覆梯度类金刚石薄膜的模具，包括模具基体，所述模具基体的表面上设有梯度类金刚石薄膜，所述梯度类金刚石薄膜由下至上包括纯金属层、第一梯度过渡层、金属氮化物层、第二梯度过渡层、碳化钨层、第三梯度过渡层以及表面层，所述表面层为类金刚石层或含硅类金刚石层。本实用新型被覆梯度类金刚石薄膜的模具具有优异的膜基结合力和抗冲击性。
一种被覆梯度金刚石薄膜模具

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