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[发明专利]表面处理方法和半导体装置的制造装置-CN02810062.X无效
发明人：高瀬道彦;吉田哲久;水野文二 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2002-03-25 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明提供一种表面处理方法，其特征为，包括：通过等离子体使物质等离子体化，生成第一等离子体化物质及第二等离子体化物质的等离子体化工序；开始向基体导入通过该等离子体而等离子体化的该第一等离子体化物质的开始工序；终止向该基体导入该第一等离子体化物质的终止工序；在该终止工序前观测通过该等离子体而等离子体化的该第二等离子体化物质状态的观测工序；和根据该观测工序的观测结果，控制表示从该开始工序直到该终止工序为止的时间的等离子体处理时间的控制工序，使表示向该基体导入的第一等离子体化物质的总量的总剂量成为所希望的总剂量。
表面处理方法半导体装置制造

[发明专利]等离子体离子源的发生装置-CN201010579490.7有效
发明人：陈应;徐国宾;杨芃原 -专利权人：上海华质生物技术有限公司
申请日： 2010-12-08 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：一种应用于质谱仪的等离子体离子源的发生装置，包括：等离子体发生腔体，包括作为等离子体发生区的腔室；高压射频源，包括电源以及设于所述等离子体发生腔体外表面的射频电极；与所述等离子体发生腔体相通的传输结构，用于将样品气体和载气引入到所述等离子体发生腔体中；密封件，用于密封所述传输结构与所述等离子体发生腔体之间的连通，为所述等离子体发生腔体提供真空环境。相较于现有技术，本发明的等离子体离子源的发生装置，利用等离子体发生腔体，在低真空环境下可以产生出高密度的等离子体离子源。
等离子体离子源发生装置

[发明专利]用于离子束照射装置的等离子体产生装置-CN01142968.2有效
发明人：滨本成显;酒井滋树 -专利权人：日新电机株式会社
申请日： 2001-11-30 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：离子束辐射装置被装备有等离子体产生装置30，该等离子束产生装置通过射频放电产生等离子体12并将所产生的等离子体供给到基片4附近。该等离子体产生装置30包括沿着轴33延伸的等离子体产生室32，该轴33沿着离子束被移动的扫描方向X延伸；被装备在其上一侧的等离子发射孔34；以及被装备在等离子体产生室32外面的磁体36，用于产生具有沿着轴由磁体36产生的磁场包含一个具有沿着轴33方向且将包含在等离子体12中的离子弯转向基片的磁场，等离子体由等离子发射孔34发射出。
用于离子束照射装置等离子体产生

[发明专利]等离子体足部理疗机-CN201710591146.1在审
发明人：王雨蓬;李毅;李双豆;杨锡信;赵龙;周磊;赵国柱 -专利权人：烟台海灵健康科技有限公司
申请日： 2017-07-19 - 公布日： 2017-09-26 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体足部理疗机，包括等离子体发生器升降装置(1)、等离子体发生器(2)、等离子体足部理疗箱(3)、抽气系统(4)、触摸控制系统(5)、气源(6)和电源(7)，所述等离子体发生器升降装置(1)设置在等离子体发生器(2)下部并连接控制等离子体发生器(2)上升下降，等离子体发生器(2)设置在等离子体足部理疗箱(3)下方并与等离子体足部理疗箱(3)相连。本发明的等离子体足部理疗机产生的等离子体，具有杀菌消毒作用，对于大多数的皮肤疾病具有显著治疗效果，同时等离子体能大幅提高人体免疫能力，具有防病保健的效果，并且能够加速脚部血液循环，促进新陈代谢，缓解疲劳
等离子体足部理疗

[发明专利]一种等离子废气净化装置-CN201711226094.4在审
发明人：李正;胡景华;李玉江;吴青伟;李钉锐;郭芳 -专利权人：山东玉江源环保科技有限公司
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子废气净化装置，包括洗涤塔、吸附塔、一级等离子净化器、二级等离子净化器，洗涤塔顶部连接除雾器，除雾器通过离心风机Ⅰ与吸附塔连接，吸附塔通过离心风机Ⅱ与一级等离子净化器连接，一级等离子净化器与二级等离子净化器连接，二级等离子净化器通过引风机连接排气筒，一级等离子净化器和二级等离子净化器内安装有电机、等离子磁场，等离子磁场前后分别安装有第一过滤网和第二过滤网。本发明在废气进入等离子净化器之前先经过洗涤塔和吸附塔的净化过程，且本发明采用二级等离子净化，除尘效果好，工作效率高。
等离子净化器吸附塔等离子废气净化装置离心风机等离子除雾器过滤网洗涤塔磁场等离子净化工作效率高洗涤塔顶部除尘效果排气筒引风机电机废气净化

[发明专利]一种等离子废气净化装置-CN201711236695.3在审
发明人：李正;胡景华;李玉江;吴青伟;李钉锐;郭芳 -专利权人：山东玉江源环保科技有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子废气净化装置，包括洗涤塔、吸附塔、一级等离子净化器、二级等离子净化器，洗涤塔顶部连接除雾器，除雾器通过离心风机Ⅰ与吸附塔连接，吸附塔通过离心风机Ⅱ与一级等离子净化器连接，一级等离子净化器与二级等离子净化器连接，二级等离子净化器通过引风机连接排气筒，一级等离子净化器和二级等离子净化器内安装有电机、等离子磁场，等离子磁场前后分别安装有第一过滤网和第二过滤网。本发明在废气进入等离子净化器之前先经过洗涤塔和吸附塔的净化过程，且本发明采用二级等离子净化，除尘效果好，工作效率高。
等离子净化器吸附塔等离子废气净化装置离心风机等离子除雾器过滤网洗涤塔磁场等离子净化工作效率高洗涤塔顶部除尘效果排气筒引风机电机废气净化

[发明专利]等离子体观测系统和等离子体观测方法-CN202110054765.3在审
发明人：山崎良二;宫下大幸;佐藤幹夫 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体观测系统和等离子体观测方法，用于进行处理容器内的等离子体的观测地点的确定和观测地点的等离子体的状态的判定。所述等离子体观测系统具有：等离子体处理装置，在该等离子体处理装置的处理容器内通过等离子体对基板进行处理；以及测定装置，其测定所述等离子体，其中，所述等离子体处理装置具有多个观测窗，所述多个观测窗能够观测所述处理容器中等离子体的发光状态，所述测定装置具有：受光器，其从多个观测窗接受在所述处理容器内交叉的多个光；以及控制部，其基于接受到的多个光来进行等离子体的观测地点的确定和所述观测地点的等离子体的状态判定。
等离子体观测系统方法

[发明专利]一种增强等离子-熔化极复合焊接熔深的视觉调控装置及方法-CN202310200339.5在审
发明人：冯曰海;聂磊;王克鸿;杨荣轩;黄俊;彭勇;张德库;周琦 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B23K28/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种增强等离子‑熔化极复合焊接熔深的视觉调控装置与方法。该装置包括一体化视觉等离子‑熔化极复合焊枪枪体、等离子弧偏转角度视觉检测模块、等离子枪体角度自动调节模块。等离子弧偏转角度视觉检测模块和等离子枪体角度自动调节模块在焊接过程中实时检测和调控等离子弧两侧的偏转角度，有效改善等离子‑熔化极复合焊接过程中等离子电弧偏转问题，使等离子弧始终垂直于焊缝。本发明解决了旁轴式等离子复合焊焊接过程中等离子电弧偏转不易调节以及中厚板打底焊时电弧图像不易采集的问题，使等离子电弧热量更为集中的作用于焊缝，有利于在中厚板焊接中实现更大的熔深，提高焊接效率。
一种增强等离子熔化复合焊接视觉调控装置方法

[发明专利]具有导入装置的等离子系统-CN200910225213.3有效
发明人：刘志宏;蔡陈德;许文通;苏濬贤;郑文钦;陈两仪 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2009-11-16 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有导入装置的等离子系统。该等离子系统包括一等离子腔体及一导入装置。等离子腔体包括一第一电极及一第二电极。第一电极及第二电极用以产生一等离子。导入装置包括一等离子导入管体及一反应物导入管体。等离子导入管体耦接于等离子腔体。等离子导入管体具有一入口、一出口及一外侧壁。等离子导入管体由入口导入等离子，并由出口导出等离子。反应物导入管体用以导入一反应物至外侧壁，以使反应物沿外侧壁朝向出口之处流动，并于出口之处与等离子混合。
具有导入装置等离子系统

[发明专利]一种基于深度卷积网络等离子定向能量沉积面积计算方法-CN202110511718.7有效
发明人：李辉;刘胜;申胜男;张亿凯;覃浩平 -专利权人：武汉大学
申请日： 2021-05-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G06V10/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于深度卷积网络等离子定向能量沉积面积计算方法。该方法包括：获取等离子定向能量沉积过程中的熔池和等离子弧的图像采集，对熔池和等离子弧图像进行预处理；利用深度卷积网络处理预处理后的图像，提取熔池和等离子弧的图像特征；由熔池和等离子弧的灰度值不同分离出熔池和等离子弧，最终获得熔池和等离子弧的RGB特征图像；采用坐标法计算熔池和等离子弧的面积，并利用GPU算法进行熔池和等离子弧的面积计算。本发明能够对等离子定向能量沉积过程中的熔池和等离子弧面积的变化特征进行统计，熔池和等离子弧面积特征作为根据进行反馈调节，进而对打印的工件进行增材制造或减材制造，以提高金属增材制造产品的质量。
一种基于深度卷积网络等离子定向能量沉积面积计算方法

[发明专利]处理基板边缘缺陷的等离子体系统及方法-CN201810685888.5有效
发明人：徐瑞美;翁志强;蔡陈德;李祐升 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理基板边缘缺陷的等离子体系统及方法，等离子体系统包括一等离子体源与一承载装置；等离子体源包含至少一等离子体产生单元；承载装置用以输送至少一基板相对于等离子体源移动，以进出一等离子体作用区；基板具有待处理区域，等离子体源是于等离子体作用区内对于待处理区域提供一等离子体束，且等离子体束的行进方向实质上平行于基板的表面；移动基板进入等离子体作用区，通过等离子体源提供待处理区域一具温度梯度(Thermal gradient
处理边缘缺陷等离子体系统方法

[实用新型]一种高温等离子水处理设备-CN201520338529.4有效
发明人：陈晓兵 -专利权人：桐乡市合诚自动化技术有限公司
申请日： 2015-05-25 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： C02F9/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高温等离子水处理的设备，它包括反应容器；铁碳处理机构，所述铁碳处理机构位于所述反应容器的底部；等离子处理机构，所述等离子处理机构与反应容器连通；等离子调节机构，所述等离子调节机构固定于所述等离子处理机构；可见光监控机构，所述可见光监控机构与所述等离子处理机构相对；水位控制机构，所述水位控制机构位于所述反应容器内；COD测量与监控机构；以及设备控制装置；其特征在于：所述等离子处理机构由一导气管和位于所述导气管内的等离子喷嘴组成，所述等离子喷嘴上绕着为其供电的导线，所述等离子喷嘴包括两片互相靠近的铜片，所述等离子喷嘴前方设置有线圈，所述线圈所产生的磁感应强度方向与等离子喷出方向相反。
一种高温等离子水处理设备

[实用新型]一种双束层流等离子发生器-CN201621091089.8有效
发明人：黄佳华;李露;何泽;李向阳 -专利权人：成都真火科技有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-09-05 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型属于等离子装置领域，具体为一种等离子发生器，尤其涉及一种双束层流等离子发生器，其特征在于包括阴极、管内阳极、管外阳极、冷却装置、等离子流出口、阳极绝缘层和等离子发生器主体，所述阴极、管内阳极、管外阳极、冷却装置、等离子流出口、阳极绝缘层和等离子发生器主体相连接在一起，所述阴极和管内阳极设置在等离子发生器主体的内部，所述管内阳极的内部设置有一层阳极绝缘层，所述冷却装置设置在等离子发生器主体的外部，所述等离子流出口设置在等离子发生器主体的一侧，所述管外阳极设置在等离子流出口上，所述等离子流出口的外部设置有分流器，所述分流器上设置有稳定装置。
一种层流等离子发生器

[实用新型]一种可移动的层流等离子发生器-CN201621091067.1有效
发明人：黄佳华;李露;何泽;李向阳 -专利权人：成都真火科技有限公司
申请日： 2016-09-29 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：本实用新型属于等离子装置领域，具体为一种等离子发生器，尤其涉及一种可移动的层流等离子发生器，其特征在于包括阴极、管内阳极、管外阳极、冷却装置、等离子流出口、阳极绝缘层和等离子发生器主体，所述阴极、管内阳极、管外阳极、冷却装置、等离子流出口、阳极绝缘层和等离子发生器主体相连接在一起，所述阴极和管内阳极设置在等离子发生器主体的内部，所述管内阳极的内部设置有一层阳极绝缘层，所述冷却装置设置在等离子发生器主体的外部，所述等离子流出口设置在等离子发生器主体的一侧，所述管外阳极设置在等离子流出口上，所述等离子发生器主体的底部设置有驱动装置主体，所述驱动装置主体底部设置有驱动履带。
一种移动层流等离子发生器

[实用新型]低温等离子废气处理系统-CN201620163913.X有效
发明人：谭培 -专利权人：浙江澳蓝环保科技有限公司
申请日： 2016-03-03 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种低温等离子废气处理系统，其包括：除尘器、等离子除臭系统和风机，废气通过废气入口管道进入到除尘器中，经过除尘后排至等离子除臭系统中，经过除臭后，在风机的作用下，达标气体通过气体排出管道排出等离子除臭系统外；前述等离子除臭系统由多套等离子除臭设备并联组成，每套等离子除臭设备又由多个等离子除臭装置先串联再并联组成。本实用新型的有益之处在于：废气先经除尘器除尘，再经等离子除臭系统除臭，并且该等离子除臭系统由多套等离子除臭设备并联组成，每套等离子除臭设备又由多个等离子除臭装置先串联再并联组成，所以本实用新型的废弃处理系统显著提升了废气的处理效果
低温等离子废气处理系统