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[发明专利]用于释放薄膜的应力的原位高功率植入-CN201980035288.7在审
发明人： E·文卡塔苏布磊曼聂;P·曼纳;A·B·玛里克;S·冈迪科塔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-06-05 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开的实施例通常关于沉积用于图案化应用的高密度膜的技术。在一个实施例中，提供了一种处理基板的方法。该方法包括：在基板上形成的膜堆叠上方沉积碳硬模，其中基板被定位在处理腔室中设置的静电夹盘上；将离子植入碳硬模，其中沉积碳硬模和将离子植入碳硬模在相同处理腔室中执行；以及以循环方式重复沉积碳硬模和将离子植入碳硬模，直至达到预定厚度的碳硬模。
用于释放薄膜应力原位功率植入

[发明专利]掺杂氮的碳硬模膜-CN202180030852.3在审
发明人：闵笑全;许璐;P·K·库尔施拉希萨;K·D·李 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-02-11 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本文公开了一种用于形成碳硬模以改善沉积均匀性和蚀刻选择性的方法和设备。碳硬模可在PECVD处理腔室中形成，并且碳硬模是掺杂氮的碳硬模。使用含氮气体、含氩气体和碳氢化合物气体来形成掺杂氮的碳硬模。
掺杂碳硬模膜

[发明专利]形成硬模的方法-CN202180080876.X在审
发明人：许瑞元;B·库玛;K·嘉纳基拉曼;P·曼纳 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-10-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：本公开内容的实施例总体涉及形成硬模的方法。本文描述的实施例使得能够例如形成具有降低的膜应力的含碳硬模。在实施例中，提供了处理基板的方法。方法包括将基板定位在处理腔室的处理空间中，并在基板上沉积类金刚石碳(DLC)层。在沉积DLC层之后，通过执行等离子体处理来降低膜应力，其中等离子体处理包括施加约100W至约10,000W的射频(RF)偏压功率。
形成方法

[发明专利]一种三维多级孔道碳膜及其制备方法和应用-CN201610845576.7在审
发明人：王亚军;易德亮;付丛 -专利权人：复旦大学
申请日： 2016-09-25 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： G01N27/48 文献下载
摘要：本发明属于纳米材料技术领域，具体为一种三维多级孔道碳膜及其制备方法和应用。本发明使用氧化硅纳米线膜为硬模板，三嵌段共聚物为软模板，酚醛树脂为碳源，硝酸铁为石墨化试剂；通过在惰性气体保护下高温煅烧使得酚醛树脂碳化，然后使用氢氟酸刻蚀掉氧化硅硬模板后即得三维多级孔道碳膜材料。碳膜中的介孔使得碳膜具有极大的比表面积，而连通的大孔提供了一个快速物质传输通道，同时较高的石墨化程度使得材料具有较好的导电性。三维多级孔道碳膜是一种非常优越的电极、生物传感器和超级电容器材料。例如，将制作好的碳膜固定于铜棒上并通过进一步的纳米改性制作高灵敏葡萄糖传感器，其检出下限可达到1×10‑13 mol/L。
一种三维多级孔道及其制备方法应用

[发明专利]聚间氨基苯硼酸的碳基微生物燃料电池阳极及其制备方法-CN201910269218.X有效
发明人：谭月明;赵晓;邓文芳;谢青季 -专利权人：湖南师范大学
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： H01M4/88 文献下载
摘要：聚间氨基苯硼酸的碳基微生物燃料电池阳极及其制备方法，所述阳极由多孔聚间氨基苯硼酸膜以0.05～0.15 mg/cm2负载于碳基上。所述制备方法为：（1）在碳基上涂覆硬模板剂溶胶或溶液，自然干燥后，得碳基硬模板；（2）置于含间氨基苯硼酸和氟化钠的PBS缓冲溶液中，通过循环伏安法进行电聚合，自然干燥，得负载聚间氨基苯硼酸的碳基硬模板；本发明聚间氨基苯硼酸的碳基微生物燃料电池阳极生物亲和性好、细菌负载量高，所组装的MFC的电极/产电菌间的胞外电子传递速率快，功率密度高，输出功率高、产电性能好；本发明方法工艺简单、成本低、适宜于工业化生产
氨基硼酸微生物燃料电池阳极及其制备方法

[发明专利]使用一个或多个无定形碳硬模层来处理基板的方法、系统和装置-CN202280019632.5在审
发明人： K·尼塔拉;S·M·博贝克;K·D·李;R·林杜尔派布恩;K·基欧希斯;K·嘉纳基拉曼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：各方面总体上涉及用于使用一个或多个无定形碳硬模层处理基板的方法、系统和装置。在一方面中，改变膜应力同时促进增强的蚀刻选择性。在一种实施方式中，一种处理基板的方法包括将一个或多个无定形碳硬模层沉积到基板上，以及在沉积一个或多个无定形碳硬模层之后在基板上进行快速热退火操作。快速热退火操作持续达60秒或更短的退火时间。
使用一个无定形碳硬模层来处理方法系统装置

[发明专利]一种中空氮掺杂碳球负载金属催化剂及其制备方法和应用-CN202210429285.5在审
发明人：吴君;靳明;李永;赵峻锋;谢宇航;李宜晟;王成兵 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： B01J27/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种中空氮掺杂碳球负载金属催化剂及其制备方法和应用，该制备方法分为两种方法，一种为直接合成法，首先制备出硬模板，盐酸多巴胺作为氮源和碳源在硬模板表面聚合，添加金属源后，金属源在模板上附着，焙烧后最终形成氮掺杂中空碳球负载金属纳米催化剂一种后合成法，在制备出的硬模板中添加盐酸多巴胺作为氮源和碳源，氮源和碳源在硬模板上聚合，焙烧后形成到氮掺杂中空碳球，在氮掺杂中空碳球的基础上添加金属源，使得金属源负载在氮掺杂中空碳球上。两种方法均以聚苯乙烯作为硬模板的基础上制备出氮掺杂中空碳球，以氮掺杂中空碳球作为框架结构。
一种中空掺杂负载金属催化剂及其制备方法应用

[发明专利]一种表面皱褶的富氮纳米多孔碳微球及其制备方法-CN202010945513.5在审
发明人：嵇从民 -专利权人：嵇从民
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C01B32/15 文献下载
摘要：本发明公开了一种表面皱褶的富氮纳米多孔碳微球及其制备方法，涉及无机碳材料领域。该制备方法包括：将硬模板剂、三聚氰胺和甲醛在水中分散均匀得到混合基液，通过调节温度和pH值使混合基液中的三聚氰胺和甲醛发生聚合反应后得到包裹硬模板剂的蜜胺甲醛树脂微球，将包裹硬模板剂的蜜胺甲醛树脂微球在惰性气氛下碳化得到包裹硬模板剂的碳微球，移除包裹硬模板剂的碳微球中的硬模板剂即可得到一种表面皱褶的富氮纳米多孔碳微球。由这种方法制备的纳米多孔碳微球分散性好，粒径在1～100µm范围内，表面呈皱褶状，内部包含大量孔径可调的纳米孔（硬模板剂造的孔），球形度高、多孔结构丰富，可广泛应用于催化剂载体、电极材料（燃料电池、锂硫电池
一种表面皱褶纳米多孔碳微球及其制备方法

[发明专利]高蚀刻选择性非晶碳膜-CN202180059228.6在审
发明人： R·普拉萨德;S·博贝克;P·K·库尔施拉希萨;K·D·李;H·怀特赛尔;押尾英隆;李铜衡;D·M·拉杰米特尔;S·福克;V·R·查瓦 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-07-21 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：提供了用于在基板上沉积非晶碳膜的方法和技术。在一个示例中，方法包括在第一处理区域中的位于基座上的底层上沉积非晶碳膜。方法进一步包括在第二处理区域中将掺杂剂或惰性物种注入到非晶碳膜中。在一些组合中的注入物种、能量、剂量以及温度可用以增强硬模硬度。方法进一步包括将经掺杂的非晶碳膜图案化。方法进一步包括蚀刻底层。
蚀刻选择性非晶碳膜

[发明专利]牙刷双色成型装置-CN201611087410.X在审
发明人：夏金良;郝明明;杜金磊;何超;张新;吴征;郁建忠 -专利权人：苏州超群智能科技有限公司
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： B29C45/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种牙刷双色成型装置，包括并列设置的硬模具和软模具，其特征在于，硬模具和软模具侧边还设置有机械手；所述硬模具包括均带有若干槽体的第一硬模和第二硬模，所述第一硬模和所述第二硬模合体时，各自的槽体相对封闭共同形成若干牙刷硬体结构的腔室；所述软模具包括均带有若干槽体的第一软膜和第二软膜，所述第一软膜和所述第二软膜合体时，各自的槽体相对封闭共同形成若干牙刷体结构的腔室；所述牙刷体由牙刷硬体和牙刷软体组合而成；所述硬模具内牙刷硬体结构的腔室连通硬体注塑机构
牙刷成型装置

[发明专利]双模板法合成的三维碳基复合材料及其制备方法和应用-CN202210979938.7在审
发明人：汪若冰;汪秀;周琳;王斌;朱强;胡文君;陈犁;王宏伟;方皓文 -专利权人：桐城师范高等专科学校
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明属于钠离子电池负极材料技术领域，公开了双模板法合成的三维碳基复合材料及其制备方法和应用；所述制备方法为将硬模板、碳源、硼酸均匀分散于溶剂中，搅拌6～24h后，去除溶剂，获得前驱体材料；将前驱体材料与金属镁研磨混匀后，于500～700℃的温度下烧结0.5～4h，去除硬模板，获得三维碳基复合材料。本发明以硬模板作为孔模板，为后续碳源形成多孔碳提供前提条件，以硼酸作为硼源和辅助造孔模板，通过烧结处理使得碳源在硬模板上形成多孔碳材料，同时氧化硼在烧结条件下与镁作用后，在碳源形成的多孔碳材料中产生中孔结构，进而为Na+的嵌入提供了良好的环境，获得三维碳基复合材料。
双模合成三维复合材料及其制备方法应用

[发明专利]以介孔碳为硬模板合成介孔氧化铁的方法-CN200710036698.2无效
发明人：单永奎;王海文;孔爱国;李疆 -专利权人：华东师范大学
申请日： 2007-01-22 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： C01G49/02 文献下载
摘要：一种以介孔碳为硬模板合成介孔氧化铁的方法，是以介孔碳为硬模板，通过搅拌浸渍使铁盐溶液进入介孔碳的孔道，经氢氧化钠处理后氮气中焙烧，重复搅拌浸渍过程，最后空气中焙烧而得到介孔氧化铁材料。本方法成功的利用介孔碳为硬模板直接合成了具有超顺磁性的孔壁晶化的高比表面介孔氧化铁材料；本合成方法过程只需低温焙烧即可得到介孔氧化铁，节约能源且对环境友好。
介孔碳模板合成氧化铁方法

[实用新型]牙刷双色成型装置-CN201621306441.5有效
发明人：夏金良;郝明明;杜金磊;何超;张新;吴征;郁建忠 -专利权人：苏州超群智能科技有限公司
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： B29C45/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种牙刷双色成型装置，包括并列设置的硬模具和软模具，其特征在于，硬模具和软模具侧边还设置有机械手；所述硬模具包括均带有若干槽体的第一硬模和第二硬模，所述第一硬模和所述第二硬模合体时，各自的槽体相对封闭共同形成若干牙刷硬体结构的腔室；所述软模具包括均带有若干槽体的第一软膜和第二软膜，所述第一软膜和所述第二软膜合体时，各自的槽体相对封闭共同形成若干牙刷体结构的腔室；所述牙刷体由牙刷硬体和牙刷软体组合而成；所述硬模具内牙刷硬体结构的腔室连通硬体注塑机构
牙刷成型装置

[发明专利]硬模和通过等离子体增强化学气相沉积形成硬模的工艺-CN202180080877.4在审
发明人：许瑞元;K·尼塔拉;P·曼纳;K·嘉纳基拉曼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-10-06 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本公开内容的实施例总体涉及硬模和通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)形成硬模的工艺。在实施例中，提供用于在基板上形成硬模层的工艺。工艺包括将基板引入PECVD腔室的处理空间，基板在基板支撑件上，基板支撑件包括静电夹盘；以及流动处理气体进入PECVD腔室内的处理空间中，处理气体包括含碳气体。工艺进一步包括在等离子体条件下从处理空间中的处理气体形成激励的处理气体，将基板静电夹持到基板支撑件，在静电夹持基板的同时在基板上沉积第一含碳层，并通过在基板上沉积第二含碳层来形成硬模层。
通过等离子体增强化学沉积形成工艺

[发明专利]以介孔碳和介孔二氧化硅为硬模板制备介孔LaFeO₃的方法-CN201210484933.3有效
发明人：戴洪兴;高宝族;邓积光;刘雨溪;赵振璇;李欣尉;王媛 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2012-11-23 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C01G49/00 文献下载
摘要：以介孔碳和介孔二氧化硅为硬模板制备介孔LaFeO3的方法，属于介孔LaFeO3的制备技术领域。基于乙二醇为表面活性剂和介孔碳为硬模板、在去除硬模板过程中采用在空气中高温焙烧的方法，不需要用NaOH去除硬模板来制备介孔LaFeO3；基于柠檬酸为络合剂和介孔SiO2为硬模板，将浸渍温度调控到50-100
介孔碳二氧化硅模板制备 lafeo sub 方法

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