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[实用新型]一种密封加强的均匀喷淋光伏硅片石英扩散炉-CN201720902881.5有效
发明人：周文华 -专利权人：上海强华实业有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-03-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种密封加强的均匀喷淋光伏硅片石英扩散炉，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，所述石英炉门具有台阶结构，石英炉门的一部被塞入石英扩散炉内部，石英炉门的另一部通过台阶结构顶靠在石英扩散炉的边沿而处于石英扩散炉外部。
一种密封加强均匀喷淋硅片石英扩散

[实用新型]一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉-CN201720902507.5有效
发明人：周文华 -专利权人：上海强华实业股份有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，石英扩散炉还包括匀流板，匀流板设置在靠近石英扩散炉尾部的进气口，匀流板上设有多个过孔。
一种均匀扩散硅片石英

[实用新型]一种光伏硅片石英扩散炉系统-CN201720902882.X有效
发明人：周文华 -专利权人：上海强华实业有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种光伏硅片石英扩散炉系统，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，石英舟用于承载光伏硅片，石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，排废管连接过渡接液瓶的进口，过渡接液瓶的出口连接接液瓶。
一种硅片石英扩散系统

[发明专利]一种具有快装功能的插管式石英炉-CN202310760055.1在审
发明人：赵顺祥;刘鹏;李强春;应康;周志恒;黄晓苓;王涵文 -专利权人：常州磐诺仪器有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有快装功能的插管式石英炉，涉及插管式石英炉技术领域，包括点火丝盘、电炉丝、石英炉芯内管、石英炉芯外管、接电片、支撑盘、定位柱和炉底，所述点火丝盘的内部设置有电炉丝，所述点火丝盘的底部设置有石英炉芯内管和石英炉芯外管，所述石英炉芯内管套接在石英炉芯外管的内部，所述点火丝盘的一侧设置有接电片，所述点火丝盘的底部设置有支撑盘，所述支撑盘的底部设置有定位柱，所述定位柱的底端设置有炉底。通过点火丝盘、石英炉芯内管、石英炉芯外管、支撑盘和炉底的设置，将进气结构和炉芯分开，炉芯内外层也分开，将石英炉芯安插在金属座上，提高了本装置的耐久性，使得整体结构简单，降低了本装置的生产成本。
一种具有功能插管石英

[发明专利]一种疏松体光纤预制棒一体化烧结脱气的设备及其方法-CN201010107264.9有效
发明人：薛济萍;沈一春;朱兆章;薛驰;谢康;庄卫星;钱宜刚 -专利权人：中天科技精密材料有限公司
申请日： 2010-02-09 - 公布日： 2010-07-21 - 主分类号： C03B37/012 文献下载
摘要：包括送棒装置、真空泵、废气排放截止阀、石英炉芯管盖板、石墨电阻炉或感应炉、碳炉芯管、石英炉芯管、压力表和炉内进气截止阀；石英炉芯管装在碳炉芯管内，在石英炉芯管中部装有烧结炉，在石英炉芯管和碳炉芯管上部装有石英炉芯管盖板，在石英炉芯管盖板上部装有送棒装置，在石英炉芯管盖板一侧设置有石英炉芯管气体排放口，石英炉芯管气体排放口装有废气排放管道，废气排放管道连接有真空泵；在石英炉芯管底部设置有进气管，在进气管进气端装有炉内进气截止阀
一种疏松光纤预制一体化烧结脱气设备及其方法

[实用新型]一种疏松体光纤预制棒一体化烧结脱气的设备-CN201020110325.2无效
发明人：薛济萍;沈一春;朱兆章;薛驰;谢康;庄卫星;钱宜刚 -专利权人：中天科技精密材料有限公司
申请日： 2010-02-09 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： C03B37/018 文献下载
摘要：包括送棒装置、真空泵、废气排放截止阀、石英炉芯管盖板、石墨电阻炉或感应炉、碳炉芯管、石英炉芯管、压力表和炉内进气截止阀；石英炉芯管装在碳炉芯管内，在石英炉芯管中部装有烧结炉，在石英炉芯管和碳炉芯管上部装有石英炉芯管盖板，在石英炉芯管盖板上部装有送棒装置，在石英炉芯管盖板一侧设置有石英炉芯管气体排放口，石英炉芯管气体排放口装有废气排放管道，废气排放管道连接有真空泵；在石英炉芯管底部设置有进气管，在进气管进气端装有炉内进气截止阀
一种疏松光纤预制一体化烧结脱气设备

[实用新型]一种常压炉-CN201721378879.9有效
发明人：陈瑞 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种常压炉，属于半导体技术领域，所述常压炉包括常压炉主体；基座，所述基座设置在所述常压炉主体内部；石英舟，所述石英舟可拆卸的连接在所述基座上；石英鳍，所述石英舟通过所述石英鳍连接在所述基座上；所述石英鳍采用销柱型石英鳍。本实用新型的有益效果采用销柱型石英鳍将石英舟固定在常压炉的基座上，石英舟的拆卸更加方便，且拆卸时石英鳍不易损坏碎裂。
一种常压

[实用新型]一种SIC长晶炉炉体密封结构-CN202122728133.9有效
发明人：刘鹏;徐文立;胡建宇;余圣杰 -专利权人：宁波恒普真空科技股份有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种SIC长晶炉炉体密封结构，涉及密封结构技术领域，包括上炉盖密封组件和下炉膛密封组件；所述上炉盖密封组件用于密封石英管顶部与上炉盖，所述下炉膛密封组件用于密封石英管底部与下炉盖。石英管下部密封结构，密封圈通过压盖被斜压在石英管与支撑环上，因无密封圈槽使得支撑环体积、重量和加工难度均降低。石英管上部密封结构，上炉盖通过石英管支撑，上炉盖与压环通过螺钉锁紧，使密封圈一变形密封上炉盖，石英管与压环，使密封圈二变形密封上炉盖与压环。上炉盖密封结构在石英管内侧并且采用斜压密封圈的结构，使得上炉盖体积及重量均减小，使上炉盖能够通过石英管直接支撑。
一种 sic 长晶炉炉体密封结构

[实用新型]一种带石英密封装置的变径预制棒拉丝炉-CN201820223206.4有效
发明人：赵剑飞;孙贵廷;段超 -专利权人：湖北凯乐量子通信光电科技有限公司
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2018-09-04 - 主分类号： C03B37/029 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种带石英密封装置的变径预制棒拉丝炉，属光纤拉丝设备技术领域。该带石英密封装置的变径预制棒拉丝炉，它由拉丝炉体、石英碗、石英垫片和石英压环构成：拉丝炉体的炉口处装有石英碗；石英碗的内部放置有石英垫片，石英垫片上方依次放置有弹性密封圈和石英压环；石英压环与石英碗活动连接；石英垫片呈圆环形，弹性密封圈的内径小于石英垫片的内径；弹性密封圈的外径大于石英垫片的外径。该带石英密封装置的变径预制棒拉丝炉，结构简单、设计巧妙；解决了现有拉丝炉由于密封问题导致的废品率高和质量波动大的问题；满足了人们的使用需要。
石英拉丝炉石英垫片预制棒变径弹性密封圈压环光纤拉丝设备本实用新型活动连接密封问题质量波动炉口处圆环形

[实用新型]多功能封管炉-CN202122650327.1有效
发明人：曹爽;孟磊;刘默然 -专利权人：北京物科光电技术有限公司
申请日： 2021-11-01 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： F27B19/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种多功能封管炉，包括封管炉本体、泵组、金属封管部件和石英封管部件。泵组通过管道与封管炉本体相连通，金属封管部件设置在封管炉本体的顶部，且一端延伸到封管炉本体的内部，金属封管部件能够焊合封管炉本体内待封的金属封管，石英封管部件与泵组相连通，且石英封管部件一端设有绕轴心转动的石英安装管，石英安装管的内部安装有待封的石英管；石英封管炉与金属封管炉集成在一个装置上，节约经济和空间成本。通过固定在封管炉本体内腔的金属管自转，进行封金属管，石英管固定在石英安装管内，石英安装管可绕轴心自转，手动转动石英安装管，固定喷枪的合适位置，进行封石英管，减小封管过程中人为因素的不良影响。
多功能封管炉

[实用新型]一种具有降温装置的提纯升华设备-CN201721536453.1有效
发明人：邵江伟;王志杰;杜倩;任雪艳 -专利权人：固安鼎材科技有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： F27D15/02 文献下载
摘要：该提纯升华设备包括：管式加热炉，其包括侧翻式炉盖和固定炉盖；石英管，位于所述管式加热炉中；石英管移出装置，用于在所述侧翻式炉盖打开后将所述石英管移出所述管式加热炉；冷却装置，所述冷却装置对移出的所述石英管进行冷却本实用新型通过将石英管移出侧翻式加热炉，并通过冷却装置对石英管进行冷却，可以使石英管脱离热源，有效减少石英管降温所消耗的时间，提高了侧翻式加热炉式提纯升华设备的生产效率。
石英管升华设备提纯侧翻式管式加热炉冷却装置移出加热炉本实用新型降温装置炉盖冷却固定炉盖生产效率移出装置有效减少热源消耗脱离

[实用新型]单晶炉石英坩埚的安装装置-CN201721408252.3有效
发明人：陈五奎;刘强;耿荣军 -专利权人：乐山新天源太阳能科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于石英坩埚安装过程中定位，同时提高石英坩埚加热效率的单晶炉石英坩埚的安装装置。该单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉内，所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩；所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚以及石墨加热器；石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘；所述坩埚托盘底部设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述坩埚托盘具有与石英坩埚匹配的拖腔；所述坩埚托盘上设置有连通拖腔的通孔；所述锅体的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘上设置有定位销轴；所述定位销轴穿过坩埚托盘延伸到锅体外表面的凹槽内。采用该单晶炉石英坩埚的安装装置能够便于石英坩埚的安装定位，提高石英坩埚的加热效率。
单晶炉石英坩埚安装装置

[发明专利]一种砷化镓多晶合成装置和合成方法-CN201910666881.3在审
发明人：王金灵;白平平;周铁军;罗小龙;廖彬;刘留 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C30B29/42 文献下载
摘要：本发明提供了一种砷化镓多晶合成装置和合成方法，包括合成炉，合成炉包括圆柱状的炉室；炉室内具有石英棉、加热器、石英管、第一石英舟和第二石英舟；炉室包括高温区和低温区，高温区和低温区均具有加热器，加热器固定在炉室的内壁上；石英管位于炉室内部，第一石英舟和第二石英舟位于石英管内，且第一石英舟位于高温区，用于装载镓材料，第二石英舟位于低温区，用于装载砷材料，以合成砷化镓多晶棒。本发明中，采用石英舟代替原来的PBN舟，形成了杂质和孔洞较少的砷化镓多晶棒，从而提高了砷化镓多晶的纯度，进而提高了砷化镓单晶的性能和成活率。
石英舟砷化镓加热器低温区高温区石英管炉室多晶合成装置多晶棒合成炉合成装载孔洞砷化镓单晶石英棉室内部圆柱状多晶内壁成活率室内

[实用新型]一种扩散炉用炉门-CN201820213574.0有效
发明人：李丙科;陈庆民 -专利权人：无锡正隆星源电子科技有限公司
申请日： 2018-02-06 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： F27D1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及扩散炉设计领域，尤其涉及一种扩散炉用炉门，包括石英门和铝门板，石英门为槽状，铝门板的板面将石英门的槽口遮挡，铝门板和石英门固定连接，石英门的槽底铺设保温棉，石英门的槽壁中部设有向内凸出的凸缘，保温棉填充在凸缘和石英门的槽底之间，且在保温棉和凸缘之间设有用来压制保温棉的压板，铝门板的外板面连接用于打开和关闭整个炉门的移动机构，石英门延伸到扩散炉内将炉口堵住，铝门板的边缘和扩散炉的炉口端部抵靠在一起实现炉口的密封，由于石英材质的熔点高、耐腐蚀性好、化学性质稳定，使得整个炉门的使用寿命较长，石英门和铝门板双重封闭，并且在石英门内部填充保温棉，起到保温、隔热效果。
石英门门板保温棉扩散炉炉门凸缘炉口本实用新型熔点隔热效果耐腐蚀性内部填充石英材质使用寿命移动机构炉口端凸出的外板面板面槽壁槽口槽状向内压板保温密封填充遮挡压制堵住铺设封闭延伸

[实用新型]一种可延长使用寿命的石英炉管-CN202320131799.2有效
发明人：陈期望;赵锡铃 -专利权人：湖南德米特科技有限公司
申请日： 2023-01-17 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： F27B7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可延长使用寿命的石英炉管，包括支撑架、旋转驱动机构、炉壳、轴承和石英炉管本体，所述支撑架设有两组，所述旋转驱动机构设于两组支撑架之间，所述炉壳的两端通过轴承转动设于两组支撑架上，所述旋转驱动机构与炉壳相连，所述石英炉管本体贯穿炉壳设置，所述石英炉管本体与炉壳侧壁之间设有保温层，所述保温层内设有高温发热体，所述高温发热体与石英炉管本体相连。本实用新型涉及回转加热炉技术领域，具体提供了一种可以同时驱动炉壳和石英炉管同步旋转，石英炉管在旋转时为多点受力，从而有效减少了石英炉管断裂的风险的可延长使用寿命的石英炉管。
一种可延长使用寿命石英炉管

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