专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种加厚不透明石英玻璃板的焊接方法-CN202111621369.0有效
  • 胡付俭;黄超伟;詹峰;穆亚南;郑汉冰 - 上海菲利华石创科技有限公司
  • 2021-12-28 - 2023-01-10 - C03C27/06
  • 本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种加厚不透明石英玻璃板的焊接方法。一种加厚不透明石英玻璃板的焊接方法,包括如下步骤:S1,对第一材质石英的焊接端面进行磨削加工,得到一个待焊接的第一坡口;S2,对第二材质石英进行磨削加工,达到目标厚度,焊接端面为平面;S3,在第二材质石英的焊接端面熔融石英玻璃件,石英玻璃件为与第一材质石英相同材质石英玻璃件,得到另一个待焊接的第二坡口;S4,将第一坡口和第二坡口进行填料焊接,得到对焊成品。本发明适用于不透明石英玻璃厚板和透明石英玻璃的焊接,特别是厚度为20mm及以上,甚至是30mm以上不透明石英玻璃的焊接。
  • 一种加厚不透明石英玻璃板焊接方法
  • [发明专利]一种用于半导体晶圆快速退火处理的加热装置-CN202010574947.9在审
  • 王铁军;江鹏 - 西安交通大学
  • 2020-06-22 - 2020-11-06 - H01L21/67
  • 本发明公开了一种用于半导体晶圆快速退火处理的加热装置,包括自上而下设置的石英材质空腔和石英台,且石英材质空腔和石英台之间夹持有热电偶;其中,石英材质空腔上设置有石英空腔冷却气入口和石英空腔冷却气出口,石英台开设有冷却水腔体,该冷却水腔体设置有石英台冷却水入水口和石英台冷却水出水口,石英材质空腔的上表面以及石英台的下表面上均设置有若干石英灯加热器主体。本发明利用基于水冷的石英灯辐射加热,对位于加热区内的试样快速升温进行加热与精确控温,并对达到目标温度的试样进行快速气冷冷却,同时还具有精确控温、可大面积加热、工作寿命长等优点,可面向半导体晶圆材料开展快速热处理
  • 一种用于半导体快速退火处理加热装置
  • [实用新型]一种用于半导体晶圆快速退火处理的加热装置-CN202021169436.0有效
  • 王铁军;江鹏 - 西安交通大学
  • 2020-06-22 - 2021-03-16 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种用于半导体晶圆快速退火处理的加热装置,包括自上而下设置的石英材质空腔和石英台,且石英材质空腔和石英台之间夹持有热电偶;其中,石英材质空腔上设置有石英空腔冷却气入口和石英空腔冷却气出口,石英台开设有冷却水腔体,该冷却水腔体设置有石英台冷却水入水口和石英台冷却水出水口,石英材质空腔的上表面以及石英台的下表面上均设置有若干石英灯加热器主体。本实用新型利用基于水冷的石英灯辐射加热,对位于加热区内的试样快速升温进行加热与精确控温,并对达到目标温度的试样进行快速气冷冷却,同时还具有精确控温、可大面积加热、工作寿命长等优点,可面向半导体晶圆材料开展快速热处理
  • 一种用于半导体快速退火处理加热装置
  • [发明专利]石英金卤灯-CN201110130174.6无效
  • 洪平衡 - 张宇;张善礼;洪平衡
  • 2011-05-19 - 2012-11-21 - H01J61/35
  • 本发明公开了一种石英金卤灯,包括放电容器,石英金卤灯放电容器内部腔体管壁涂敷耐高温材质层,所述的耐高温材质层是纳米氧化铝,所述的纳米氧化铝粒径为1-100nm。通过在石英金卤灯放电容器内部腔体管壁涂敷耐高温材质层本发明克服了传统的石英金卤灯放电管的腔体管壁材料采用石英管,在高温工作状态下钪或其它稀土和石英管壳会产生反应形成硅酸盐和硅的卤化物导致金卤灯发光性能变差和寿命降低的技术问题
  • 石英金卤灯
  • [实用新型]一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装-CN202021526806.1有效
  • 郑伟扬;王思锋 - 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
  • 2020-07-28 - 2021-03-16 - C30B15/04
  • 本实用新型公开了一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装,包括聚四氟乙烯材质的漏斗,以及石英材质的导流管;所述漏斗的底部设有内螺纹,所述导流管的顶部设有外螺纹,漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。导流管的底部设有石英材质下口加强环;导流管靠近漏斗的端部设有聚四氟乙烯材质的保护环,保护环下方还设有石英材质的支撑台。该掺杂工装采用分体式结构设计,其上部为聚四氟乙烯漏斗,下部为石英导流管,两者采用螺纹连接可有效降低采购成本,且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。
  • 一种用于单晶炉二次料器掺杂工装
  • [发明专利]一种紫陶石英石板及其制备方法-CN201310167516.0无效
  • 任友卫 - 安徽济峰节能材料有限公司
  • 2013-05-08 - 2013-08-14 - C04B26/02
  • 一种紫陶石英石板及其制备方法,涉及石英石板的技术领域。是将石英砂、石英粉镜玻、白玻和树脂、钛白粉、偶联剂、固化剂、促进剂以及颜料进行混合搅拌后通过筛分、布料、抽真空、压制、震动、去纸、检查、烘烤、冷却后制成成品。本发明采用天然的石英砂和石英粉,无毒无辐射,制作工艺细致,制成的石英石板材质地细润、光亮,刮不花,污不染,成品的密度大,材质分布均匀,防渗透能力强,使用时间久,不容易断裂。
  • 一种石英石板及其制备方法
  • [实用新型]铂扩散用石英-CN201720896063.9有效
  • 徐明星;张朝奇 - 山东芯诺电子科技股份有限公司
  • 2017-07-21 - 2018-02-06 - H01L21/673
  • 本实用新型涉及的是半导体电子元器件制造技术领域,尤其是涉及对快恢复产品一种铂扩石英舟,包括石英舟板和石英棒,石英棒通过插入石英舟板表面设置的定位孔与石英舟板可拆卸连接有利于提高装片及卸片效率,同时晶片采用堆叠式装舟,在石英舟板上装入晶片后插入石英棒,插入石英棒后进入前后无挡板遮挡,能改善气体流量的均匀性,为生产线提供均匀的恢复时间,增加生产效率,满足了生产需求,提高了产量,利用本装置进行铂扩生产其效果完全满足工艺要求,本实用新型均为石英材质,还能有效防止其他材质的污染。
  • 扩散石英

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