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[发明专利]一种纽扣用真空镀膜生产线-CN202111093152.7在审
发明人：乔晓东;李大龙;张国强;王志群;翟蕊 -专利权人：嘉兴浩宇等离子体科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜领域，尤其涉及到一种纽扣用真空镀膜生产线，包括上料台和下料台，还包括：依次设置在所述上料台和下料台之间的第一真空缓冲室、至少一个溅射室、冷却室和第二真空缓冲室，所述第一真空缓冲室、溅射室、冷却室和第二真空缓冲室中都设置有输送带，所述输送带上还若干均匀设置的导轮；相邻的各腔室之间通过翻板阀连接组成一可分隔的腔体，所述溅射室内设置有可升降的阴极放置架。
一种纽扣真空镀膜生产线

[发明专利]一种高能离子束基板处理及真空蒸发镀膜设备及方法-CN201410642838.0在审
发明人：邵海平 -专利权人：邵海平
申请日： 2014-11-13 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及真空蒸发镀膜设备领域，具体涉及一种高能离子束基板处理及真空蒸发镀膜设备及方法。包括对装有基板的真空腔体抽真空至4.5X10-3Pa至5.5X10-3Pa；对基板表面进行离子清洗；将真空腔体内压强调整至4.5X10-1Pa至5.5X10-1Pa，并对清洗后的基板表面通过中频Si靶生生成一层厚度为8nm至12nm的SiO₂缓冲层；在真空度为7X10-1Pa至9X10-1Pa下在具有SiO₂缓冲层的基板表面通过蒸发镀膜镀上一层厚度为15nm至25nm的防污层本发明通过在设置离子发生机构对基板首先进行离子清洗，以便而后在处理后的基板之上通过中频Si靶溅射生成一层SiO₂缓冲层层缓冲层，SiO₂缓冲层的亲和力强，能使防污层与基板牢固的结合在一起
一种高能离子束处理真空蒸发镀膜设备方法

[实用新型]一种防倒吸液环真空装置-CN201621202996.5有效
发明人：刘柳兵;王为民;蒋永飞;巫秋萍 -专利权人：丽珠集团福州福兴医药有限公司
申请日： 2016-11-08 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： F04D17/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空系统领域，目的在于提供一种防倒吸液环真空装置，所述防倒吸液环真空装置，包括液环真空泵、真空缓冲罐、连接管道、电源和控制开关，连接管道的一端与液环真空泵的吸气口相连，连接管道的另一端与真空缓冲罐相连，真空缓冲罐的出气口上设有真空泄放阀，真空泄放阀和液环真空泵分别与控制开关电连接，控制开关与电源电连接。本实用新型的有益效果在于真空泄放阀与液环真空泵连接至同一电源并采用同一控制开关和电源进行控制，当液环真空泵断电时，真空泄放阀失电打开，真空缓冲罐里的气体泄放，有效的从源头上制止液环真空泵腔体内的液体倒流至物料系统中，防止液环真空泵中的水、油等对物料的污染。
一种防倒吸液环真空装置

[发明专利]氧化物缓冲层及其制备方法-CN200910052051.8无效
发明人：范峰;鲁玉明;周文谦;刘志勇;蔡传兵 -专利权人：上海大学
申请日： 2009-05-26 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01B12/04 文献下载
摘要：本发明公开一种氧化物缓冲层及其制备方法，氧化物缓冲层的化学式为Y_xCe_1-xO_2-0.5x，其中，0.2≤x≤0.8。氧化物缓冲层的制备方法包括：A.金属靶材的制备；B.金属基底的清洗和固定；C.气路清洗；D.直流反应溅射腔体的气压调制，其中，对直流反应溅射腔体抽真空，直至背底真空达到10^-5Pa或以下；接着通入体积比为Ar∶H₂＝19∶1的混合气体，直至直流反应溅射腔体压强达到1～10Pa；E.预溅射；F.正式溅射。通过上述方法制备的氧化物缓冲层具有高度的双轴织构、低表面粗糙度，且厚度得到较大提高，能够满足YBCO(YBa₂Cu₃O_7-x)高温超导层的外延生长需要
氧化物缓冲及其制备方法

[实用新型]一种视觉导引的平面拆垛机器人末端执行器-CN201920119463.8有效
发明人：张刚;鞠祥 -专利权人：无锡黎曼机器人科技有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： B65G61/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种视觉导引的平面拆垛机器人末端执行器，具有连接法兰，所述连接法兰连接机器人末端；所述连接法兰连接有吸附缓冲系统，所述吸附缓冲系统连接有主腔体安装板，所述主腔体安装板设有真空吸附系统、视觉定位系统和垛型高度检测系统，所述真空吸附系统具有真空吸附系统步进电机、真空吸附系统导轨和真空发生装置。本实用新型采取真空吸附系统、视觉定位系统和垛型高度检测系统对平面进行自动化拆垛，实现无人化工作，降低人工成本，减少了人工搬运所带来的不可控安全风险，提高了整体的工作效率。采取3种不同类型的真空发生器进行组合，通过步进电机的调整位置，适应范围广，可以针对不同类型，不同位置的平面堆垛工件进行拆垛。
真空吸附系统连接法兰拆垛高度检测系统视觉定位系统本实用新型步进电机吸附缓冲安装板垛型机器人末端执行器真空发生装置连接机器人真空发生器调整位置工作效率人工搬运人工成本视觉导引系统连接无人化主腔体导轨堆垛腔体自动化安全

[实用新型]透明导电膜玻璃单面减薄承载装置-CN200920129451.X无效
发明人：金弼;张莉;刘志斌 -专利权人：中国南玻集团股份有限公司
申请日： 2009-01-16 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及透明导电膜玻璃单面减薄承载装置，包括密封并全面覆盖平板玻璃4导电膜面并将平板玻璃4吸附住的真空吸盘1；在真空吸盘1内部设有密闭的抽气孔道1c以及与所述抽气孔道相通的真空缓冲腔体1f，通过抽气孔道1c与真空缓冲腔体1f形成的密闭腔室，在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘1与平板玻璃4之间的真空度在整个减薄蚀刻流程中始终吸附住平板玻璃4。
透明导电玻璃单面承载装置

[发明专利]压板真空室-CN201210201634.4无效
发明人：唐玮 -专利权人：唐玮
申请日： 2012-06-06 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： B28B3/04 文献下载
摘要：本发明涉及板材成型技术领域，压板真空室，包括压头、底座，压头位于底座上方，压头可相对于底座升降，压头下方设置有密封圈，压头降下时，密封圈内侧与压头和底座之间形成密闭腔体，坯料及模具被罩闭在密闭腔体中，压头上设有由外界连通至密闭腔体的抽真空管本技术方案，设在压头和底座之间的密封圈，具有密封、承压、缓冲与减振、吸音与隔音等多种功能；减少了密闭腔体容积，有利于缩短抽真空的时间、减少能耗、提高生产率、改善压板的产品质量；主体钢结构仅为压头和底座两大构件本发明压板真空室可广泛应用于人造板材真空压制成型的压板设备中。
压板真空

[实用新型]一种水平往复式溅镀设备-CN201520811451.3有效
发明人：吴允中;高为彪 -专利权人：上海光和光学制造大丰有限公司;上海光和光学制造股份有限公司
申请日： 2015-10-19 - 公布日： 2016-02-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水平往复式溅镀设备，包括依次相连的进料腔体、预处理腔体、第一缓冲腔体、溅镀室、第二缓冲腔体和出料腔体，溅镀室由若干个溅镀腔体组成；溅镀腔体包括两个平行设置于溅镀腔体第一内侧壁上的靶材组件、一设置在两个靶材组件下方的遮蔽件和一与两个靶材组件相对设置且靠近溅镀腔体第二内侧壁的均气挡板，与第一内侧壁相对的外侧壁上设置有真空计，与第二内侧壁相对的外侧壁上设置有涡轮分子泵；靶材组件包括中间圆柱电极和与其相匹配的外围圆筒靶材与现有技术相比，本实用新型能够使用较少的腔体与靶材对应旋转，往复移动完成多层膜的真空溅镀，大大的节约了成本，提高了加工场所的空间利用率。
一种水平往复式溅镀设备

[发明专利]一种提高除胶均匀性的辅助抽真空装置及抽真空方法-CN201710737898.4有效
发明人：莫崇明;彭卫红;莫崇慧;杜明星 -专利权人：深圳崇达多层线路板有限公司
申请日： 2017-08-24 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本发明涉及等离子机除胶领域,具体为一种提高除胶均匀性的辅助抽真空装置及抽真空方法。本发明通过将屏壁设置在抽真空入口前，并在屏壁上均匀设有若干个通孔,安装时，使屏壁与抽真空入口形成一个用于缓冲压力的腔体，使得屏蔽可以有效地缓冲抽真空入口产生的压力，并将抽真空入口集中的压力通过若干个均匀设置的通孔均匀分散开来，使得靠近抽真空入口周围的等离子气体在抽真空过程中被均匀的抽走，从而提高PCB板除胶量均匀性。
一种提高均匀辅助真空装置方法

[实用新型]真空腔体-CN202223239783.8有效
发明人：熊凯;户家周;杨元才;杨喆 -专利权人：上海福宜真空设备有限公司
申请日： 2022-12-02 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本
空腔

[外观设计]真空腔体-CN202230388574.6有效
发明人：戴佳;朱鹤囡;董雪迪;张武;林佳继 -专利权人：拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： 13-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空腔体。2.本外观设计产品的用途：一种用于光伏设备领域的真空腔体。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
空腔

[发明专利]一种芯片封装方法及其封装结构-CN201210476595.9有效
发明人：熊笔锋;马宏;王宏臣;江斌 -专利权人：烟台睿创微纳技术有限公司
申请日： 2012-11-21 - 公布日： 2013-03-06 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明涉及一种芯片封装方法,包括以下步骤：步骤一：将缓冲基板、芯片与封装壳体连接为一体；步骤二：将一个光学窗口与步骤一制成的结构密封连接成一个封闭腔体。本发明还涉及一种芯片的封装结构，包括一个芯片、一个光学窗口、封装壳体和缓冲基板，封装壳体和所述光学窗口组成一个封闭腔体；缓冲基板位于封闭腔体内，缓冲基板上表面安装有芯片，缓冲基板下表面设有薄膜吸气剂；缓冲基板与所述封装壳体内壁之间有间隙本发明所述的芯片封装方法及其结构，使芯片封装结构具有了抗机械冲击能力，实现芯片所需的真空环境，减小封装体积，降低封装成本。
一种芯片封装方法及其结构

[实用新型]一种高密度聚乙烯色母粒真空送料机-CN201820059992.9有效
发明人：张德龙 -专利权人：安徽豪家管业有限公司
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： B65G53/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高密度聚乙烯色母粒真空送料机，包括主壳体，隔板，第一腔体，第二腔体，挡板，滚筒，电机一，抽气管，缓冲罐，导管，震动器，换向软管，物料盛放装置，送料出口，推送板，气缸，真空泵和电机二，所述主壳体通过中部的隔板将内腔分隔成为第一腔体和第二腔体本实用新型的挡板，滚筒和电机一的设置，通过启动电机一运转，带动滚筒旋转，通过滚筒上的拨盘将上腔体内集聚到一定数量的高密度聚乙烯色母粒拨入下腔体内，有利于提高工作效率。
隔板高密度聚乙烯色母粒滚筒本实用新型电机挡板第二腔体第一腔体抽气管送料机主壳体体内物料盛放装置工作效率滚筒旋转内腔分隔启动电机送料出口软管缓冲罐推送板真空泵震动器拨盘导管换向气缸上腔下腔连通集聚运转

[实用新型]隔膜式真空泵-CN201520401821.6有效
发明人：王冠华 -专利权人：温岭市麒元汽配有限公司
申请日： 2015-06-11 - 公布日： 2015-10-07 - 主分类号： F04B45/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种隔膜式真空泵，包括泵体和泵盖，泵体和泵盖的配合面设有鼓膜，泵体内部设有空腔，空腔内设有曲柄连杆机构，曲柄连杆机构传动连接鼓膜，其特征是：所述泵体内设有缓冲腔，缓冲腔内设有橡胶阀，缓冲腔与空腔之间设有通气细管该方案提供了一种隔膜式真空泵，通过设置缓冲结构避免了泵体内部腔体压力波动大的问题，保证了各部件正常运行。
隔膜真空泵

[实用新型]一种废气排放系统-CN201220042427.4有效
发明人：曹凯 -专利权人：无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司
申请日： 2012-02-09 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废气排放系统，包括主抽风管道、分别与上料腔和下料腔连通的排气管道及与废气净化器连通的腔体抽风管道，所述腔体抽风管道与所述主抽风管道连通，还包括缓冲罐，所述上料腔和下料腔分别通过所述排气管道与所述缓冲罐连通，所述缓冲罐与所述主抽风管道之间通过缓冲管道连接。本实用新型的废气排放系统，通过在上料腔和下料腔的真空泵的排气管道与主抽风管道之间增设缓冲罐，降低了上料腔和下料腔的真空泵工作时，其排气管道的正压对废气净化器的影响，保证其正常工作；并具有结构简单，成本低的优点
一种废气排放系统