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[实用新型]一种吸取分离一体的吸唛装置-CN202020755659.9有效
发明人：陈晓升;吴进良 -专利权人：广东慧衣智能科技有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： B65H3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种吸取分离一体的吸唛装置，所述吸唛装置依次包括气嘴、第一和第二真空发生器组件、吸盘、中空结构的腔体和缓冲杆，气嘴设置有气管接头，第二真空发生器组件与腔体连接处设置有第一密封圈，腔体与缓冲杆连接处设置有第二密封圈，腔体和缓冲杆内部还设置有弹簧，缓冲杆远离腔体一侧末端设置有吸盘和垫圈，本实用新型通过设置气嘴、真空发生器、腔体、缓冲杆和吸盘构成吸唛装置，压缩空气从气嘴进入，通过第一和第二真空发生器组件后逸出，当吸盘被挡住时，腔体内产生负压，令缓冲杆收入腔体，当吸盘吸附的物体脱离时，腔体内负压解除，缓冲杆伸出腔体，操作简单，实用性强，另外密封圈增强气密性，整体体积小、可应用场景广泛。
一种吸取分离一体装置

[实用新型]一种负压轴封装置-CN201822204587.4有效
发明人：邓旭成;黎明 -专利权人：佛山市金银河智能装备股份有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种负压轴封装置，通过向注液口注入密封液体，使得第三转轴密封组件与第二转轴组件之间的转轴达到密封状态，通过向真空缓冲腔体抽取部分真空，使得物料腔体与真空缓冲腔体之间的压力梯度降低，防止外界气体进入物料腔体，有利于保证物料腔体的真空度，另外，若液封腔体的液体泄漏，液封腔体的液体会进入真空缓冲腔体中，避免进入物料腔体，再次保证了物料腔体的真空度，提高了物料腔内产品的良率，解决了现有的转轴密封装置密封性能不理想
物料腔体真空缓冲腔体压轴本实用新型液封腔体转轴密封装置转轴密封组件密封性能密封液体密封状态外界气体压力梯度液体泄漏转轴组件物料腔注液口保证良率转轴抽取

[实用新型]用于刻蚀装置的缓冲构件和刻蚀装置-CN202121224576.8有效
发明人：王铖熠;郭颂;张霄;刘海洋;张怀东;张亦涛;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于刻蚀装置的缓冲构件和刻蚀装置，刻蚀装置包括：腔体，腔体内限定出腔室，腔体上设有与腔室连通的抽真空管路，抽真空管路与干泵相连以使腔室内保持真空环境，抽真空管路和干泵均位于腔室外，在腔室内固定有晶圆；第一阀体，第一阀体设在抽真空管路上，且位于腔体和干泵之间，用于控制抽真空管路的通断；缓冲构件，缓冲构件设在抽真空管路上，且位于腔体和第一阀体之间，以在抽真空时减小对晶圆的瞬间抽吸作用力。根据本实用新型的用于刻蚀装置的缓冲构件，通过在抽空管路在设置缓冲构件，避免由于瞬间抽吸作用力和固定晶圆作用力之间强烈反差作用、进而对腔室内的晶圆造成破碎的现象发生，防止对生产成本造成浪费。
用于刻蚀装置缓冲构件

[实用新型]一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线-CN201220636210.6有效
发明人：郭爱云;黄国兴;孙桂红;祝海生;梁红;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电容式触摸屏磁控溅射镀膜生产线，包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；每段均设有抽气系统。本实用新型真空腔体之间采用插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体；传送系统采用磁导向，平稳性好；本实用新型实现了电容式触摸屏连续批量生产，生产效率高。
一种电容触摸屏磁控溅射镀膜生产线

[发明专利]加热接合装置及加热接合产品的制造方法-CN201480005952.0有效
发明人：松田纯;铃木隆之;黑田正己 -专利权人：欧利生电气株式会社
申请日： 2014-01-09 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B23K1/008 文献下载
摘要：提供优异的加热接合装置及加热接合产品的制造方法，在真空中进行加热接合时，在加热接合结束后的工件的冷却中，不会使加热接合的目标物体过热，与以往的装置及方法相比能够以短时间将目标物体冷却。本发明的加热接合装置具备：真空腔体(10)，容纳加热接合的目标物体(1)和缓冲器部(5)；加热器(20)，对与容纳于真空腔体内的目标物体接触而配置的缓冲器部加热；目标物体温度传感器(40)，检测经由缓冲器部而加热了的目标物体的温度；缓冲器温度传感器(60)，检测缓冲器部的温度；真空破坏装置(70)，对真空腔体内的真空进行真空破坏；及控制装置(50)，在目标物体温度传感器与缓冲器温度传感器的检测温度之间的温度差在规定的温度差的范围内时，操作真空破坏装置对真空腔体内的真空进行真空破坏。
加热目标物体接合温度传感器缓冲器部接合装置真空腔缓冲器真空破坏装置真空破坏温度差体内检测冷却容纳加热器控制装置真空腔体配置的过热制造

[实用新型]一种市政防撞装置-CN201720525283.0有效
发明人：陈兵 -专利权人：陈兵
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： E01F15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种市政防撞装置，包括桶体，所述桶体内腔圆心处设有支柱，所述支柱下端固定安装有真空吸盘，所述真空吸盘上端右侧设有堵塞，所述支柱表面固定安装有若干个缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的一端分别连接有第一腔体、第二腔体和第三腔体，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体上端均通过合页活动连接有第一翻盖、第二翻盖和第三翻盖。通过真空吸盘和堵塞结构，可以把桶体固定住；通过缓冲弹簧、第一腔体、第二腔体和第三腔体结构，达到缓冲的效果；通过翻盖和合页结构；可以更灵活的更换填充物。
一种市政装置

[发明专利]一种真空注油系统及设备-CN202310315315.4在审
发明人：杨丰;袁配 -专利权人：昆山星锐普思电子科技有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01F27/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空注油系统，包括真空滤油单元、真空注油单元和循环单元；真空滤油单元，所述真空滤油单元连接在待注油腔体上，用于排除油液内的气泡和污染物；真空注油单元，所述真空注油单元连接在所述待注油腔体上，用于排除待注油腔体内的空气和污染物，并向所述待注油腔体内注油；循环单元，所述循环单元包括两个注油缓冲阀和视盅，两个所述注油缓冲阀串联在所述待注油腔体和所述真空滤油单元之间，所述视盅的其中一端连接在两个所述注油缓冲阀之间，另外一端连接在所述真空注油单元上，用于循环清洁所述待注油腔体。其能够排除油液内的气泡和杂质，并循环清洗待注油腔体内部，提高了介电强度和使用寿命，注油速度快、生产效率高。
一种真空注油系统设备

[实用新型]一种电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线-CN201220634135.X有效
发明人：郭爱云;黄国兴;孙桂红;祝海生;梁红;黄乐 -专利权人：湘潭宏大真空技术股份有限公司
申请日： 2012-11-27 - 公布日： 2013-05-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；每段均设有抽气系统。本实用新型真空腔体之间采用插板阀或翻板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体；传送系统采用磁导向，平稳性好；本实用新型实现了电容式触摸屏连续批量生产，生产效率高。
一种电容触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线

[发明专利]一种等离子处理装置及其方法-CN201910601516.4有效
发明人：黄允文 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子处理装置及其方法，所述等离子处理装置包含：一真空反应腔，所述真空反应腔的下方还设置一真空泵，用于将反应副产物排出所述真空反应腔，所述等离子处理装置包含：多个安装紧固件，其用于将所述真空泵固定在所述真空反应腔腔体上；至少一个缓冲装置，通过所述安装紧固件固定在所述真空泵和所述真空反应腔的腔体之间，所述缓冲装置设有形变空间，所述缓冲装置通过所述形变空间产生位移变形以吸收所述真空泵的部分动能。其优点是：在等离子处理装置突然发生故障时，缓冲装置可吸收较多的真空泵动能，使真空反应腔腔体接收的真空泵残余动能大大减小，有效地保护了真空反应腔腔体，减小了安全事故发生的可能性。
一种等离子处理装置及其方法

[发明专利]一种钕铁硼陶瓷表面金属化磁控溅射镀膜生产线-CN201810914508.0在审
发明人：朱选敏;郭爱云 -专利权人：武汉科瑞达真空科技有限公司
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种钕铁硼陶瓷表面金属化磁控溅射镀膜生产线，包括翻转模块、升降模块、进出片模块、真空镀膜模块、出片升降模块，所述真空镀膜模块由多个真空腔体和多个腔体支架组成，且所有的真空腔体都安装在腔体支架上，所述真空腔体内部设有内传送系统，所述真空腔体上方配置有维护行车，所述腔体支架上安装有基片回传系统，所述真空镀膜模块分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、镀膜工艺真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段
真空段腔体支架真空镀膜真空腔体陶瓷表面金属化磁控溅射镀膜升降模块钕铁硼缓冲进口金属化镀膜双面金属化陶瓷片表面钕铁硼磁性出口真空传送系统磁控溅射镀膜工艺翻转模块回传系统小型陶瓷功能膜体内部真空腔产能出片镀膜出口行车配置维护

[实用新型]一种空压机的进气消音结构-CN202020255261.9有效
发明人：姜瀚原 -专利权人：杭州鑫坤实业有限公司
申请日： 2020-03-04 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： F04B39/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种空压机的进气消音结构，包括主机壳体；所述主机壳体上设置有过滤腔；环绕所述过滤腔侧壁外部形成第一真空腔体，所述过滤腔内设置有过滤装置，还包括进气缓冲腔，进气缓冲腔与过滤腔可拆卸密封连接，进气缓冲腔与过滤腔连通，环绕进气缓冲腔侧壁外部形成第二真空腔体，第二真空腔体的内侧设置有第二消音棉层，第二消音棉层朝向进气缓冲腔一侧设置有第二微孔吸音金属板，本申请可有效减低气流的声音能量，其次第一真空腔体以及第二真空腔体的设置可以有效起到隔音的作用
一种空压机消音结构

[实用新型]一种变频节能真空抽气系统-CN202021689195.2有效
发明人：吴煜明 -专利权人：柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；采用本实用新型，选用一套中型干式泵组加一套小型干式泵组的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制，形成一套智能化控制具变频节能的真空抽气系统，并且整体结构简单，设计与改装成本低。
一种变频节能真空系统

[实用新型]一种柔性多功能快递包裹抓取机械手-CN202121824812.X有效
发明人：戴仙芝;艾华 -专利权人：深圳市速程精密科技有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-01-18 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种柔性多功能快递包裹抓取机械手，包括一外壳，外壳安装有用于抓取物料的第一抓料机构和第二抓料机构，第一抓料机构包括一吸料腔体，吸料腔体连接有真空吸装置，吸料腔体安装于若干缓冲杆端部，缓冲杆外侧套设有缓冲复位弹簧；第二抓料机构包括一真空吸盘，真空吸盘通过一真空吸杆与真空吸装置连接，真空吸盘设于吸料腔体内部，真空吸杆活动穿设于吸料腔体，第二抓料机构还包括一用于驱动真空吸盘在吸料腔体内部升降的升降驱动机构，真空吸杆与升降驱动机构的驱动端连接
一种柔性多功能快递包裹抓取机械手

[实用新型]一种真空上料机用过滤装置-CN202123329917.0有效
发明人：丁建民 -专利权人：江苏乐能电池股份有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B65G65/40 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空上料机用过滤装置，具体涉及真空上料加工技术领域，一种真空上料机用过滤装置，包括上料真空机过滤装置腔体，上料真空机过滤装置腔体内部顶端设置有过滤装置本体，上料真空机过滤装置腔体底部焊接有原材料盛放板，上料真空机过滤装置腔体底端电性连接有机械转轴，机械转轴内侧焊接有连接板，连接板顶端焊接有嵌合板，嵌合板插嵌在原材料盛放板底部，嵌合板内设置有气垫，通过机械转轴、连接板、嵌合板、挡板、气垫、缓冲槽、移动柱、第一弹簧、滑柱、辅助柱、缓冲柱、第二弹簧和缓冲球的相互配合，从而提高震动效率保障挡板表面残留吸附的原材料能够落入上料真空机过滤装置腔体下方。
一种真空上料机用过滤装置

[实用新型]一种真空腔体超低温水汽吸附系统-CN202022033400.6有效
发明人：吴煜明 -专利权人：柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请日： 2020-09-17 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空腔体超低温水汽吸附系统，包括溅镀线体和吸附组件，所述溅镀线体根据溅镀工艺，依次设置腔体闸门、粗抽腔体、高真空腔体、进料缓冲腔体、转接腔体、镀区腔体和出料缓冲腔体；所述吸附组件包括冷媒入口端、冷媒出口端、高真空段冷媒管和溅镀段冷媒管；采用本实用新型，高真空腔体中的高真空冷媒管进行初步吸附，再配合多腔体延伸溅镀段冷媒管的高效吸附水气，实现双重回流管路，同一冷媒源，实现高效利用，提高水气吸附效率；冷媒出入口的位置优化，也进一步的提高优先吸附能力，保证溅镀腔体内部的正常运作。
一种空腔超低温水汽吸附系统