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[发明专利]氟类气体专用检漏装置的真空管理-CN201210453643.2无效
发明人：金学江;徐克明 -专利权人：上海石头电子有限公司
申请日： 2012-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： G01M3/00 文献下载
摘要：高频磁场电离式的氟类气体专用检漏装置，其核心器件真空泵，在工作时，长期处于抽气和排气过程中，真空度理论要求值达到6.2×10^-4Pa，要按照这样的真空度要求去配置真空泵，真空泵的价格较高真空泵在实际使用中，只是在启动和工作状态时需要这样的真空度要求，其他情况下，0.5Pa真空度环境就可满足要求。按照这样的技术要求，我们设计了一个控制部分，在启动和工作状态时，瞬间关闭进气，继续排气，在瞬间达到真空度要求，达到了该检漏装置的工作要求。
气体专用检漏装置真空管理

[发明专利]汽车制动助力系统真空度控制方法-CN201310703354.8有效
发明人：吴铭淞;康永;胡锫 -专利权人：上海汽车集团股份有限公司
申请日： 2013-12-19 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： B60T13/72 文献下载
摘要：本发明涉及汽车制动系统领域，尤其涉及一种制动助力系统真空度控制方法。一种汽车制动助力系统真空度控制方法，首先根据车型设计参数设定真空度阈值和延时时间，建立制动真空度模型，每过一个延时时间对制动助力器当前真空度进行一次判定，当制动助力器当前真空度满足真空度阈值要求时，等待下次的比较；当制动助力器当前真空度不满足真空度阈值要求时，通过减小发动机负荷和/或提高发动机转速来提高制动助力器真空度。本发明通过减小发动机负荷和/或提高发动机转速来优先满足制动系统的真空度，在保证达到市场预期制动能力的同时，节省电子真空泵系统或机械真空泵系统，达到降本增效的作用，相比其他产品提高了市场竞争力。
汽车制动助力系统真空控制方法

[发明专利]一种采用石油钻井真空注油装置的真空注油方法-CN201910190339.5有效
发明人：陈大祺;李志广;王眉山;张东旭;李季;刘鹏 -专利权人：中国石油天然气集团有限公司;中国石油集团油田技术服务有限公司;中国石油集团测井有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： F15B21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用石油钻井真空注油装置的真空注油实现方法，装置主体包括循环系统、真空系统、自动控制系统和真空压力平衡管线。该方法主要包括：通过软件开启真空泵，按照真空度要求先对液压油进行充分循环抽真空；待真空度达到要求后，连接液压模块的的注油管线和回油管线以及平衡管线进行注油准备；关闭截止阀，通过部分注油管线和回油管线以及平衡管线对液压模块进行抽真空，真空度达到0.5mBar以下；打开截止阀，通过计算机软件开启注油泵，按照计算机控制软件自动控制进行注油。本发明首先满足旋转导向液压模块真空注油的要求；其次是实现注油过程压力平衡和自动化控制要求；再次是实现注油的真空度要求。
一种采用石油钻井真空注油装置方法

[实用新型]一种自动调节真空度反应釜-CN202223362374.7有效
发明人：王佳东 -专利权人：沧州临港弘达新材料制造有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动调节真空度反应釜，反应釜的广义理解即有物理或化学反应的容器，通过对容器的结构设计与参数配置，实现工艺要求的加热、蒸发、冷却及低高速的混配功能，反应釜广泛应用于石油、化工、橡胶、农药、染料、医药和食品等领域，是用来完成硫化、硝化、氢化、烃化、聚合、缩合等工艺过程的压力容器，但现有的控制反应釜真空度是采取真空泵抽取的方式，当产品真空度要求高时，通过真空泵控制釜内真空度的方式精度无法达到要求，监测装置可以对缓冲罐内的真空度进行监测，且监测装置会将监测信号传输给dcs，然后将信号传输给调节装置，通过调节装置对反应釜内的压力进行调节，通过电信号对反应釜真空度进行控制，控制精度高。
一种自动调节真空反应

[发明专利]一种真空度恒定装置-CN201310379670.4无效
发明人：赵维亮;李军 -专利权人：天津爱勒易医药材料有限公司
申请日： 2013-08-28 - 公布日： 2013-11-27 - 主分类号： G05D16/04 文献下载
摘要：本发明属于药品生产技术领域，涉及一种用于减压设备使用的真空度恒定装置，包括圆柱体、前挡板、承压板、弹簧、调节板、带刻度的长杆螺栓和指示挡板，达到设定的真空度，承压板会与前挡板产生缝隙，降低减压设备的真空度通过本发明，可以准确控制减压设备的真空度，实验结果更准确，重复性更好；防止减压设备真空度过高发生危险；满足对真空度控制要求较高的生产操作，节省资源，提高生产力。
一种真空恒定装置

[发明专利]一种用于电子源系统的真空结构-CN201910638430.9有效
发明人：罗婷婷;郑磊;王俊听;胡贤斌;戚玉轩;王学慧;陈迪志;李艺晶;王鹏;刘华荣 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2019-07-15 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明公开一种用于电子源系统的真空结构，包括电子源、屏蔽层、真空腔体外壳，通过所述屏蔽层在所述真空腔体外壳内的阻隔设置形成具有高低差真空度的高真空度腔体区域和低真空度腔体区域；所述电子源位于所述高真空度腔体区域内，所述真空结构的出气位置设置于所述低真空腔体区域上，所述屏蔽层将所述电子源和所述出气位置隔开，所述屏蔽层上设置有小孔，所述小孔连通所述高真空度腔体区域和所述低真空度腔体区域；真空泵通过抽气泵口同时与所述高真空度腔体区域和所述低真空度腔体区域连通；本发明仅依靠一个真空泵使两个腔体满足不同的真空度要求，使内外真空腔体保持真空差在一个数量级。
一种用于电子系统真空结构

[发明专利]一种采用电离真空计在线测量电推力器工作真空度的方法-CN201611117619.6在审
发明人：岳士超;顾左;李达;刘士永;田东鹏;马彦坤 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用电离真空计在线测量电推力器工作真空度的方法，以解决现有方法不能测试推力器工作区域内真空度的问题。该方法包括下列步骤：A、将电离真空规管置于真空舱内推力器工作区域的要求测试位置上；B、将传感器与电离真空规管和穿舱法兰相连；C、将舱外信号线与穿舱法兰的接线柱一一对应并与真空计相连；D、将设备抽真空，推力器点火开始，打开真空计开始测试要求测试区域内的真空度；E、通过测量得到的真空度值，计算得出电推力器工作时的真实工作真空度。采此方法后，因将电离规管装入舱内更有效直观的判定推力器工作的真空环境是否满足要求；可以为更准确的计算电推力器的相关性能参数提供帮助。
一种采用电离真空计在线测量推力工作真空方法

[实用新型]一种真空度恒定装置-CN201320527129.9有效
发明人：赵维亮;李军 -专利权人：天津爱勒易医药材料有限公司
申请日： 2013-08-28 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： G05D16/04 文献下载
摘要：本实用新型属于药品生产技术领域，涉及一种用于减压设备使用的真空度恒定装置，包括圆柱体、前挡板、承压板、弹簧、调节板、带刻度的长杆螺栓和指示挡板，达到设定的真空度，承压板会与前挡板产生缝隙，降低减压设备的真空度通过本实用新型，可以准确控制减压设备的真空度，实验结果更准确，重复性更好；防止减压设备真空度过高发生危险；满足对真空度控制要求较高的生产操作，节省资源，提高生产力。
一种真空恒定装置

[实用新型]真空预压土体真空度监测装置-CN201821368961.8有效
发明人：金华辉;王浩军;蔡爽龙;张涛;祝青;董亚秀;徐辉;张样 -专利权人：浙江省水利水电勘测设计院
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空预压土体真空度监测装置，包括真空度读数固定端、真空压力管、真空探头和土工布。真空预压土体真空度监测装置将土工布包裹的真空探头放置于真空预压土体中或真空预压密封膜下，真空压力表固定于混凝土固定盘上，真空压力表和真空探头之间通过压力管连接，通过在不同深度土体中埋设的真空探头来实现土体和真空探头之间真空度的等效观测，满足真空预压地基处理关于真空度实时监测的要求。本实用新型结构简单可靠、操作便捷、制作原理和材料方便、安全可靠，大大提高了土体真空度监测效率和可靠性，并极大减少了安全监测成本，可广泛应用于大面积真空预压土体真空度实时监测。
土体真空预压探头真空度监测装置本实用新型真空压力表实时监测土工布真空度监测真空压力管安全监测地基处理固定端固定盘密封膜压力管埋设混凝土观测应用制作

[发明专利]一种流浆箱真空度调节方法及装置-CN201310126316.0有效
发明人：刘建安;樊慧明;张成;陈克复 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2013-04-12 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： D21F1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种流浆箱真空度调节方法及装置，包括储水桶、调压筒、调压管；调压筒的下端伸入储水桶内；调压管的下端由调压筒的上端伸入调压筒内，调压管与调压筒之间的衔接处设置有活动密封组件；使用时，流浆箱的真空区通过管路与调压筒连通，调节调压管在调压筒内的深度，当流浆箱中真空度大于流浆箱所要求的真空度时，空气会克服水压从调压管中通过管路进入流浆箱中，当调压管中没有空气进入，则说明流浆箱中的真空度正好合适或不够，这时就要提高流浆箱抽气系统的压力和的流量本发明解决了流浆箱中真空度的大小难以准确调节的问题，使流浆箱中的真空度合理和稳定，满足造纸车速对流浆箱中真空度的要求。
一种流浆箱真空调节方法装置

[实用新型]一种流浆箱真空度调节装置-CN201320191426.0有效
发明人：刘建安;樊慧明;张成;陈克复 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2013-04-12 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： D21F1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种流浆箱真空度调节装置，包括储水桶、调压筒、调压管；调压筒的下端伸入储水桶内；调压管的下端由调压筒的上端伸入调压筒内，调压管与调压筒之间的衔接处设置有活动密封组件；使用时，流浆箱的真空区通过管路与调压筒连通，调节调压管在调压筒内的深度，当流浆箱中真空度大于流浆箱所要求的真空度时，空气会克服水压从调压管中通过管路进入流浆箱中，当调压管中没有空气进入，则说明流浆箱中的真空度正好合适或不够，这时就要提高流浆箱抽气系统的压力和的流量本专利解决流浆箱中真空度的大小难以准确调节的问题，使流浆箱中的真空度合理和稳定，满足造纸车速对流浆箱中真空度的要求。
一种流浆箱真空调节装置

[发明专利]监测真空泵失效的装置和方法、真空度感测器-CN201010022574.0有效
发明人：李景伦 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2010-01-08 - 公布日： 2011-07-13 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：一种监测真空泵失效的装置和方法、真空度感测器，所述真空泵通过管道与目标装置连接，所述监测真空泵失效的装置包括：真空度感测器，置于所述管道内，在所述管道内的真空度大于预定真空度值时，所述真空度感测器阻挡光透过；激光发射单元和激光探测单元，分别置于所述真空度感测器的两侧，所述激光探测单元探测所述激光发射单元发射的激光；控制单元，在所述激光探测单元未探测到激光时，判定所述真空泵失效。当目标装置为传送腔时，避免由于在传送腔内传送硅片时，真空泵失效时，传送腔内的真空度不符合要求，从而导致硅片被玷污，造成在后段工艺中形成的金属互连线断开或短路的现象。
监测真空泵失效装置方法真空度感测器

[实用新型]自动控制真空冷冻干燥机真空度和湿度的装置-CN201520222452.4有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：青岛永合创信电子科技有限公司
申请日： 2015-04-14 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： F26B5/06 文献下载
摘要：自动控制真空冷冻干燥机真空度和湿度的装置，包括控制板、真空计、真空阀、真空泵、液晶屏、湿度传感器。其特征是根据设置的真空度控制真空泵自动启停。当湿度达到设定值时冷冻干燥机停止工作。控制板控制真空计、真空阀、真空泵、湿度传感器，液晶屏设置真空度和湿度。冷冻干燥机抽真空干燥物品过程中，通过真空机监测冷阱内的真空度，当真空度达到设定值时真空泵停止工作并通过关闭真空阀保持冷阱内的压力，当真空度高于工作要求的真空度时真空泵和真空阀开启。通过湿度传感器监测物品的湿度，当物品湿度达到设定值后，真空冷冻干燥机停止工作。
自动控制真空冷冻干燥机湿度装置

[实用新型]一种用于LDI曝光机的真空度调节装置-CN202222132413.8有效
发明人：韩艳东 -专利权人：合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于LDI曝光机的真空度调节装置，包括真空发生器以及通过连接管与真空发生器相连的真空吸盘，真空度调节机构通过三通接头分别与真空发生器输出端和真空吸盘输入端相连通，所述真空度调节机构通过调节进入真空发生器进气量大小以对真空吸盘真空度进行调整，所述三通接头的第一接头和第二接头分别与真空发生器和真空吸盘相连，所述三通接头的第三接头与真空度调节机构相连，本实用新型中，控制球阀的开合度以对通过球阀的空气量进行调节，进而改变真空吸盘真空度大小，因此可实现真空吸盘真空度的自动化调节，从而可满足不同PCB板生产工艺的要求，具有生产效率高的优点。
一种用于 ldi 曝光真空调节装置

[实用新型]真空压着机气囊真空度监测系统-CN201320641630.8有效
发明人：王辉;刘玉平;冯振春 -专利权人：淳华科技（昆山）有限公司
申请日： 2013-10-17 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空压着机气囊真空度监测系统，与真空压着机中管控真空区域及其中的气囊的真空管路系统相连接，用于对真空压着机的压着区域内的气囊进行真空度监测并在出现异常时报警，其包括与气囊相连接并检测气囊中的真空度的真空表、连接于真空表与气囊之间的隔离电磁阀。真空表还连接有使其泄真空的泄真空电磁阀。本实用新型能够在现有的真空管路系统监测压着区域真空度的基础上，再监测气囊的真空度，使得压着机能够在压着区域和气囊均达到真空度要求时再对制品进行压着，从而保证了制品的压着质量，避免隐患，且其结构简单、易于维护
真空压着机气囊监测系统

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