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[发明专利]超低压等离子喷涂设备-CN201010288497.3无效
发明人：高阳 -专利权人：大连海事大学
申请日： 2010-09-19 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C23C4/00 文献下载
摘要：一种可以喷涂金属，氧化物或碳化物的超低压等离子喷涂设备，属于金属及其氧化物或碳化物涂层制备的喷涂设备。包括直流等离子喷枪，低压喷涂容器，喷枪三维行走控制装置，等离子直流电源，等离子辅助电源，低压真空泵，所述的直流等离子喷枪为内送粉直流电弧等离子喷枪，粉末从直流等离子喷枪喷嘴入口注入，在喷嘴内部加热后，继续在直流等离子喷枪外低压环境下加热，加速，并在低压环境下喷射到金属基材表面形成涂层；喷涂中低压喷涂容器内动态压力为30-8000Pa；本发明提出的超低压等离子喷涂设备适于制备具有柱状晶或者等轴晶结构的大面积，高质量厚涂层。
低压等离子喷涂设备

[实用新型]一种弧根进气的直流电弧等离子体装置-CN202122588413.4有效
发明人：洪若瑜;钟睿;原晓菲;陈剑 -专利权人：福州大学
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H05H1/48 文献下载
摘要：本实用新型提出一种弧根进气的直流电弧等离子体装置，所述等离子体装置用于产生直流电弧的阴极和阳极分别为反应腔内的等离子体喷枪、石墨电极；等离子体装置的工作气体输入端位于直流电弧在等离子体喷枪处的弧根处；所述等离子体装置的工作气体输入管（4）连接等离子喷枪，所述工作气体经等离子喷枪喷入反应腔内并在直流电弧作用下发生等离子体反应；本实用新型解决了现有的直流电弧等离子体反应器在使用时电弧产生较为困难，反应过程中容易断弧，耗能较高，产能较低
一种弧根进气直流电弧等离子体装置

[发明专利]具有有效的无损害原位灰化的等离子体蚀刻器设计-CN201210194993.1有效
发明人：萧颖;林进祥 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-06-13 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：在一些实施例中，本发明涉及一种等离子体蚀刻系统，该等离子体蚀刻系统具有与处理室连通的直流和局部化等离子体源。直流等离子体源用于将直流等离子体提供给处理室以蚀刻半导体工件。直流等离子体具有通过将大的偏压施加给工件形成的高电势。在完成蚀刻以后，关断偏压和直流等离子体源。然后，局部化等离子体源用于将低电势局部化等离子体提供在处理室内的适当位置使得局部化等离子体与工件空间分离。空间分离导致形成与工件接触的具有零电势/低电势的扩散等离子体。零电势/低电势的扩散等离子体使得实施反应灰化，而降低了由于正等离子体电势所引起的离子轰击造成的工件损伤。本发明还公开了具有有效的无损害原位灰化的等离子体蚀刻器设计。
具有有效损害原位灰化等离子体蚀刻设计

[实用新型]等离子熔炉的直流电源-CN201721226897.5有效
发明人：马永华;宋慧;刘立新;张安国;张明杰 -专利权人：航天环境工程有限公司
申请日： 2017-09-21 - 公布日： 2018-05-08 - 主分类号： F27B14/20 文献下载
摘要：一种等离子熔炉的直流电源，所述等离子熔炉至少包括第一等离子体电极组件和第二等离子体电极组件，所述直流电源用于给第一等离子体电极组件中的电极和第二等离子体电极组件中的电极提供直流电能，其特征在于，直流电源包括电源控制器、变压器和N个通过开关串联的直流电压单元，在等离子熔炉点火时，N个直流电压单元中的电开关均导通以给第一等离子体电极组件中的电极和第二等离子体电极组件中的电极提供电能，在等离子熔炉点火成功后，电源控制器控制每个直流电压单元的开关的状态来控制等离体熔炉的容器内的温度本实用新型提供的直流电源根据等离子熔炉的工作状态提供不同的输出电压值，使等离子体熔炉容易起动工作，并扩大了工作范围。
等离子熔炉直流电源

[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN202010081427.4在审
发明人：青木裕介;高田郁弥;户花敏胜;森北信也;藤原一延;阿部淳;永海幸一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-02-06 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供等离子体处理装置和等离子体处理方法。例示的实施方式的等离子体处理装置，在对基片的等离子体处理和等离子体清洁中，在腔室内生成等离子体，从直流电源装置将脉冲状的负极性的直流电压周期性地施加到上部电极。对基片的等离子体处理时的脉冲状的负极性的直流电压的占空比小于等离子体清洁时的该占空比。对基片的等离子体处理时的直流电源装置的输出电压的平均值的绝对值，小于等离子体清洁时的直流电源装置的输出电压的平均值的绝对值。本发明能够在对基片的等离子体处理中抑制腔室内的内壁面的损伤，并且通过等离子体清洁有效地除去形成于内壁面上的沉积物。
等离子体处理装置方法

[发明专利]一种低温等离子体裂解天然气制乙炔装置与工艺-CN200310105039.1无效
发明人：杨永进;张劲松;徐兴祥;孙家言 -专利权人：中国科学院金属研究所
申请日： 2003-11-07 - 公布日： 2005-05-11 - 主分类号： C07C11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种适合应用于天然气裂解直接转化制乙炔的低温等离子体化学反应装置与工艺，装置由微波等离子体炬与直流等离子体激发机构复合而成，微波等离子体炬的外导体为中空结构，中空部分出气端形成喷口，直流等离子体激发机构由外导体、与外导体喷口对应的导电圆管构成，导电圆管的管腔为反应腔，其中外导体为阴极，导电圆管为阳极，导电圆管通过抗流结构与直流电源连接。工艺：1)利用上述装置，微波等离子体炬产生的微波等离子体进入直流等离子体激发机构；2)微波等离子体在外界直流电源的作用下，形成常规直流等离子体，对天然气进行裂解，形成反应产物乙炔。
一种低温等离子体裂解天然气乙炔装置工艺

[发明专利]可移动式等离子体发生/将等离子体区域扩大装置及方法-CN202011357831.6在审
发明人：朱勇;张益坤;陈晨;上官文峰;王晓世 -专利权人：上海交通大学;浙江每刻爱尔空气净化科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H05H1/48 文献下载
摘要：本发明提供了一种可移动式等离子体发生/将等离子体区域扩大装置及方法，包括：将直流供电电源连接直流变压器输出产生等离子体所需的超高电压；将直流变压器输出的超高电压连接等离子体发生装置的放电电极，同时将另一极接地；直流供电电源打开，在放电电极与接地极间产生直流等离子体；采用阵列式或首尾相接式对等离子体区域进行扩展放大。本发明提供了一种可移动式等离子体发生/将等离子体区域扩大的装置，结构简单，成本低廉，放电稳定，移动便携，扩展性强。
移动式等离子体发生区域扩大装置方法

[发明专利]大面积直流脉冲等离子体基低能离子注入装置-CN200710101587.5有效
发明人：雷明凯;郭甲;高峰;袁力江;张仲麟 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2007-04-30 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：材料表面工程领域中，大面积直流脉冲等离子体基低能离子注入装置，包括金属真空室[5]，低能离子注入电源[14]和真空系统，特征：取消由外界输运等离子体的独立等离子体源，在真空室内安置一金属网罩[6]，等离子体源电源[8]向网罩施加直流脉冲负偏压，在炉体[2]内壁和网罩之间形成等离子体，或者增加提供放电辅助作用的热阴极灯丝[9]降低放电电压，将直流脉冲等离子体源和低能离子注入装置组合在真空室内，在网罩与样品台[11]上分别施加的直流脉冲负偏压交替发生，保证了直流脉冲等离子体的产生和低能离子注入交替不间断的进行。优点：成本低；能实现大面积的均匀等离子体基低能离子注入。
大面积直流脉冲等离子体低能离子注入装置

[发明专利]柔性直流输电快速保护开关系统和使用方法-CN201911254110.X在审
发明人：刘轩东;李晓昂;张乔根 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2020-03-20 - 主分类号： H02H3/087 文献下载
摘要：公开了柔性直流输电快速保护开关系统和使用方法，柔性直流输电快速保护开关系统中，等离子体喷射触发开关设置在柔性直流换流阀的直流侧，等离子体喷射触发开关为常开开关，机械开关设置在柔性直流换流阀的直流侧且并联等离子体喷射触发开关，机械开关为常开开关，在直流侧故障后消耗有功功率的斩波器电阻串联并联后的机械开关与等离子体喷射触发开关，其中，故障发生后，所述等离子体喷射触发开关首先关闭，机械开关再以相对慢的速度关闭。
柔性直流输电快速保护开关系统使用方法

[发明专利]等离子体处理方法和等离子体处理装置-CN202110659565.0在审
发明人：永海幸一;藤原一延;大下辰郎;道菅隆;丸山幸儿;永关一也;桧森慎司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理方法和等离子体处理装置，其能够抑制基片的蚀刻速率下降并且降低照射至腔室主体的内壁的离子的能量。一个实施方式的等离子体处理装置包括产生直流电压的直流电源，该直流电压具有负极性且用于被施加至工作台的下部电极。在利用该等离子体处理装置的等离子体处理中，供给高频以使腔室内的气体激励而生成等离子体。另外，来自直流电源的负极性的直流电压被周期性地施加至下部电极，以将来自等离子体的离子引入到工作台上的基片。在各个周期内直流电压被施加至下部电极的期间所占的比率被设定为40％以下。
等离子体处理方法装置

[发明专利]等离子体处理方法和等离子体处理装置-CN201810939779.1有效
发明人：永海幸一;藤原一延;大下辰郎;道菅隆;丸山幸儿;永关一也;桧森慎司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-08-17 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理方法和等离子体处理装置，其能够抑制基片的蚀刻速率下降并且降低照射至腔室主体的内壁的离子的能量。一个实施方式的等离子体处理装置包括产生直流电压的直流电源，该直流电压具有负极性且用于被施加至工作台的下部电极。在利用该等离子体处理装置的等离子体处理中，供给高频以使腔室内的气体激励而生成等离子体。另外，来自直流电源的负极性的直流电压被周期性地施加至下部电极，以将来自等离子体的离子引入到工作台上的基片。在各个周期内直流电压被施加至下部电极的期间所占的比率被设定为40％以下。
等离子体处理方法装置

[实用新型]等离子体发生器直流电源装置及等离子体发生系统-CN201621270338.X有效
发明人：王子鸣;张柯;姜国财;郑庆元;孙淑玲;李良;赵晓丰;呼志杰;韦光辉 -专利权人：烟台龙源电力技术股份有限公司
申请日： 2016-11-24 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种等离子体发生器直流电源装置及等离子体发生系统，涉及等离子体领域。其中等离子体发生器直流电源装置包括交流供电模块、整流柜和输出电抗器，交流供电模块与整流柜的交流输入端电连接，以便为整流柜提供交流电源，整流柜的直流输出负极与等离子体发生器的阴极电连接，整流柜的直流输出正极与输出电抗器的第一端电连接，输出电抗器的第二端与等离子体发生器的阳极电连接，以便为等离子体发生器提供直流电源。本实用新型通过将交流电源转换为等离子体发生器所需要的直流电源，从而很好地解决了大功率等离子体发生器高功率、高稳定性的需求，为等离子体发生器在锅炉煤粉点火及稳燃技术的应用提供了有力保障。
等离子体发生器直流电源装置发生系统

[发明专利]等离子体处理装置和等离子体处理方法-CN200610066499.1有效
发明人：松本直树;田中秀朗;藤原尚;舆水地盐;小岩史明;小林俊之;仲山阳一;中村博 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-03-31 - 公布日： 2006-10-04 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供除高频电力之外，以施加直流电压的电容结合型等离子体处理装置为前提，可以得到良好的等离子体的等离子体处理装置和等离子体处理方法。在腔室(10)内相对配置的上部电极(34)和下部电极(16)之间形成处理气体的等离子体，在晶片(W)上进行等离子体蚀刻的等离子体蚀刻装置中，具有将高频电力供给到上部电极(34)，用于形成等离子体的高频电源(48)；将直流电压施加到上部电极(34)的直流电源(50)和控制高频电源(48)与可变直流电源(50)的控制部(95)。控制部(95)进行控制，使得在开始从高频电源(18)供电的时刻或其后，使从可变直流电源(50)施加的电压成设定值。
等离子体处理装置方法

[发明专利]蚀刻方法和装置-CN201210035774.9有效
发明人：陈世宏;陈建安;萧颖;张郢 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2012-02-16 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开的一种蚀刻方法包括：用等离子体腔室的第一直流偏压蚀刻氧化物层，用等离子体腔室的第二直流偏压去除光刻胶层，以及用等离子体腔室的第三直流偏压蚀刻穿过衬膜。为了减少在等离子体腔室壁上的铜沉积，将第三直流偏压设置成小于第一直流偏压和第二直流偏压。本发明还公开了蚀刻方法和装置。
蚀刻方法装置

[实用新型]射频等离子船舶探照灯-CN202022976943.1有效
发明人：周琪;乔乾;何梁;潘虹 -专利权人：清华四川能源互联网研究院
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： F21S41/30 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种射频等离子船舶探照灯，涉及照明技术领域。射频等离子船舶探照灯包括底座、支架、灯头、直流驱动电源、射频源、射频等离子光源和反射镜，支架安装在底座上，灯头转动连接在支架上，直流驱动电源安装在灯头上，直流驱动电源用于接入电源，射频源安装在灯头上，射频源与直流驱动电源连接，射频等离子光源安装在灯头上，射频等离子光源与射频源通过同轴线连接，反射镜安装在灯头上，反射镜围绕射频等离子光源设置。射频等离子船舶探照灯能够满足对强光的需求、光束集中，还没有散热的问题、且体积较小。
射频等离子船舶探照灯

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