|
钻瓜专利网为您找到相关结果 2172200个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]互连结构的形成方法-CN201410133369.X有效
-
张海洋;任佳
-
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
-
2014-04-03
-
2018-03-30
-
H01L21/768
- 本发明提供了一种互连结构的形成方法,包括在半导体衬底上形成介电层后,在介电层上形成以金属掩模为材料的第一掩模,之后在第一掩模上形成第二掩模,并以第二掩模为掩模进行第一刻蚀,在介电层内形成通孔;之后去除第二掩模露出第一掩模后,以第一掩模为掩模进行第二刻蚀,在介电层内形成沟槽,且第二刻蚀采用非氟基的刻蚀剂。在第二刻蚀过程中,采用的刻蚀剂为非氟基刻蚀剂,从而有效避免在第二刻蚀工艺中,氟离子与金属掩模反应形成含有金属氟化物的副产物,以及避免这部分金属氟化物与介电层进一步反应造成介电层损伤,从而降低刻蚀工艺对于介电层损伤
- 互连结构形成方法
- [发明专利]电火花加工电蚀产物排出方法-CN201811256622.5有效
-
沈兴全;于大国
-
中北大学
-
2018-10-13
-
2021-02-19
-
B23H1/10
- 本发明属于特种加工技术领域,具体涉及电火花加工电蚀产物排出方法,用于及时排除深孔、深槽、窄缝等结构电火花加工过程的电蚀产物。本发明包括液力排出装备,该装备由液力箱、外锥体、内锥体、环形缝隙构成。其电蚀产物排出方法的步骤包括:第一步,加工电极和液力排出装备;第二步,安装电极、工件、液力排出装备;第三步,电火花放电加工、具有压力的液体流入和流出电蚀产物排出装备。本发明通过外加流动液体的方法,及时排除加工系统电蚀产物,防止堵塞,保证加工的尺寸精度和形状位置精度,提高加工效率。
- 电火花加工产物排出方法
|