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[发明专利]光纤光栅温湿度一体式传感器阵列及温湿度测量方法-CN202310641490.2在审
发明人：范典;徐婷;周次明;王康;余家玲 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种多层涂覆型光纤光栅温湿度一体式传感器阵列及温湿度测量方法，包括：布拉格光纤光栅阵列、非湿敏材料涂覆层、湿敏材料涂覆层、网状铠装保护层；非湿敏材料间接周期地涂覆在布拉格光纤光栅上以形成非湿敏材料涂覆层，湿敏材料全涂覆在布拉格光纤光栅上以形成湿敏材料涂覆层；非湿敏材料叠加湿敏材料涂覆的第一光栅和湿敏材料涂覆的第二光栅用于传感温湿度信号；网状铠装保护层套在非湿敏材料涂覆层和湿敏材料涂覆层上，用于保护非湿敏材料、湿敏材料及布拉格光纤光栅阵列。本发明通过将湿敏材料涂层与非湿敏敏材料涂层交替周期涂覆在布拉格光纤光栅上表面，可实现在单根光纤光栅阵列上对温湿度的多参量测量，安装和维护简洁方便。
光纤光栅温湿度体式传感器阵列测量方法

[发明专利]一种快速响应的油中水分湿敏电容-CN202010539308.9在审
发明人：侯智昊 -专利权人：沈阳航空航天大学
申请日： 2020-06-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速响应的油中水分湿敏电容，包括：透气上电极、湿敏材料、下电极、衬底和加热单元，其中，所述加热单元设置于湿敏材料的下方，用于对湿敏材料加热，以提高湿敏材料的吸湿脱湿速度。该快速响应的油中水分湿敏电容通过引入加热单元，可以提高湿敏材料的吸湿脱湿速度，进而达到提高湿敏电容在油液等复杂环境下的响应速度的效果。
一种快速响应水分电容

[实用新型]一种带有可视窗不可逆湿敏变色的口罩-CN202222969071.5有效
发明人：崔君拴;向欣;曾茜;徐卡娅;陈光唐;宋文学;王星松;廖益东;王梓力;肖卓;魏邑宸;翁升权;陈柱;何龙才;冯小云 -专利权人：贵州医科大学附属医院
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： A41D13/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有可视窗不可逆湿敏变色的口罩，包括：口罩主体；可透视观测的口罩观察体，口罩观察体安装在口罩主体外，口罩观察体构成可视窗，所述口罩观察体内容纳有不可逆湿敏变色材料，口罩观察体上设有气孔供水汽进入与不可逆湿敏变色材料接触发生湿敏变色湿气通过口罩观察体的气孔进入与口罩观察体内的不可逆湿敏变色材料接触发生湿敏变色，湿敏变色可通过透明的口罩观察体更加有效直观观测到，解决了湿敏变色材料涂覆口罩主体的中层发生变色时，湿敏变色材料吸湿变色不处在透明材质观察体处的问题，提高了对湿敏变色直观观测的有效性。
一种带有视窗可逆变色口罩

[发明专利]一种湿度传感器及其制备方法-CN201410849515.9有效
发明人：左青云;康晓旭;李铭 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种湿度传感器及其制备方法，包括表面绝缘的衬底，位于绝缘表面的湿敏材料和叉指电极薄膜层，湿敏材料分布于叉指电极之间，且与叉指电极相键联；湿敏材料为叉指电极材料的氧化态。还提供了湿度传感器的制备方法，包括提供一表面绝缘的衬底；在绝缘表面形成一层氧化态湿敏材料；在湿敏材料表面形成叉指电极图案掩膜；在叉指电极图案掩膜的保护下，对湿敏材料进行还原工艺，在湿敏材料间形成叉指电极；叉指电极图案掩膜遮挡住的湿敏材料部分未被还原，叉指电极图案掩膜暴露的湿敏材料部分被还原成叉指电极材料；去除叉指电极图案掩膜。
一种湿度传感器及其制备方法

[发明专利]一种可控构筑高性能气敏/湿敏传感器的方法-CN202010005390.7在审
发明人：苏言杰;马德福;尹欢;霍婷婷 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种可控构筑高性能气敏/湿敏传感器的方法，该方法为：以磁性亚微米材料为支撑体，将功能化的敏感纳米材料包覆在所述磁性亚微米材料的表面，之后分散于溶剂中制得敏感纳米材料溶液。构筑气敏或湿敏传感器过程中，利用磁场操控所述敏感材料在插指电极之间定向排列，待溶剂蒸发后，得到气敏或湿敏传感器。本发明利用气敏/湿敏材料与磁性支撑材料的有效组合，并在磁场操控下，使气敏/湿敏纳米材料可控地排布在插指电极间形成导电通道，显著提高了气敏/湿敏器件响应灵敏度，而且均匀排布的多导电通道可实现同批次器件性能均一的效果
一种可控构筑性能传感器方法

[发明专利]一种高压灭菌指示卡-CN202310759494.0在审
发明人：金慧;陈冰冰;王慧敏;冷坤坤;吴彦;王兵 -专利权人：杭州市疾病预防控制中心
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： A61L2/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种高压灭菌指示卡，包括基底层(1)，所述基底层(1)上设有温敏区(2)、扩散通道(21)、湿敏区(3)和标准色块(4)，所述温敏区(2)内填充有温敏变色材料，温敏变色材料在达到要求温度后沿着扩散通道(21)在基底层(1)上层析变色；所述湿敏区(3)位于温敏区(2)和扩散通道(21)之间，所述湿敏区(3)内填充有湿敏材料(31)，所述湿敏材料(31)在未达到灭菌要求的湿度时为固态，阻隔温敏区(2)与扩散通道(21)，湿敏材料(31)在达到灭菌要求的湿度后由固态变为液态，使得温敏区(2)与扩散通道(21)相连通。
一种高压灭菌指示

[实用新型]湿度传感器及湿敏材料-CN201822140580.0有效
发明人：冯雪;司俊杰;闫宇;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：一种湿度传感器及湿敏材料，该湿度传感器包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料，所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上，所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间，所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏材料
湿敏材料湿度传感器第二电极第一电极衬底层气凝胶结构填充响应

[发明专利]湿度传感器、湿敏材料及制作方法-CN201811557328.8在审
发明人：冯雪;司俊杰;闫宇;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院
申请日： 2018-12-19 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：一种湿度传感器、传感器制作方法以及湿敏材料的制备方法，该湿度传感器包括衬底层、第一电极、第二电极及湿敏材料，所述第一电极及所述第二电极间隔地设置于所述衬底层上，所述湿敏材料填充于所述第一电极与所述第二电极之间，所述湿敏材料为气凝胶结构的湿敏材料。
湿敏材料湿度传感器第二电极第一电极衬底层传感器制作气凝胶结构填充制备响应制作

[实用新型]湿敏开关-CN201520999994.2有效
发明人：吴进明;吴飞;江玉民;张建德;李晋玲 -专利权人：北京中建友建筑材料有限公司
申请日： 2015-12-04 - 公布日： 2016-05-11 - 主分类号： H01H35/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及开关技术领域，尤其是涉及一种湿敏开关，包括底筒、活动上塞和湿敏材料块；活动上塞的一端插设在底筒内，底筒内侧壁上设置有湿敏材料块，湿敏材料块用于挤压活动上塞，以将活动上塞向底筒外推送。本实用新型提供的一种湿敏开关，随着周围环境湿度的变化，湿敏材料块的体积发生变化，推动活动上塞在底筒内上下运动，进而控制开关的开启和闭合，不仅结构简单，成本低廉，而且填补了无动力、物理湿敏开关的空白。
开关

[发明专利]一种改性湿敏材料及其制备方法及应用、湿度传感器-CN202210338300.5有效
发明人：乔宝伟;陈行柱;罗刚 -专利权人：飞思仪表（深圳）有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C09D187/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种改性湿敏材料及其制备方法及应用、湿度传感器，涉及湿度测量的技术领域。一种改性湿敏材料包含以下重量份的组分：金属有机框架材料100份；溶剂20‑800份；有机粘合剂10‑50份；含硅化合物5‑40份。通过掺杂含硅化合物进行改性，提升湿敏材料的结构丰富性。将该改性湿敏材料应用于湿度检测领域中，即使用该改性湿敏材料制备的湿敏层设置在基于晶振微天平测量原理的湿度传感器的电极上。本申请具有减少MOF材料吸附‑脱附曲线的湿滞，提升湿度传感器的准确度的效果。
一种改性材料及其制备方法应用湿度传感器

[发明专利]一种快速响应的湿度传感器及其制造方法-CN201510854739.3有效
发明人：左青云;师兰芳 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明属于半导体集成电路制造工艺技术领域，公开了一种快速响应的湿度传感器及其制造方法，其包括衬底、金属叉指电极层以及湿敏材料层，湿敏材料层分布于金属叉指电极层之间以及上表面，湿敏材料层上具有至少一个用于增大湿敏材料层表面积的凹槽本发明通过在现有叉指电极型湿度传感器制造工艺中去除部分湿敏材料，在湿敏材料层中形成单个或多个凹槽，从而暴露更多的湿敏材料的表面积于待测环境中，可以有效缩短水分子的运动路径，进而提高湿度传感器响应速度；本发明无需额外增加传感器制造成本
一种快速响应湿度传感器及其制造方法

[发明专利]基于活性炭结合无机材料掺杂聚酰亚胺的多层湿敏薄膜以及复合湿敏元件-CN202010038701.X在审
发明人：杨明红;孙藤鹏;吴恒;代吉祥 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2020-01-14 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明属于敏感材料与光纤传感交叉领域,提供了一种基于无机材料掺杂聚酰亚胺的多层湿敏薄膜以及复合湿敏元件。所述复合湿敏元件由波导光栅和多层湿敏薄膜两部分组成；其中，湿敏薄膜是由活性炭、湿敏无机盐以及聚酰亚胺三者复合而成。本发明还公开了湿敏薄膜的制备方法，以聚酰亚胺为主体，加入湿敏无机盐复合得到初步复合薄膜，并在薄膜表面涂覆活性炭粉末，获得最终的湿敏薄膜。本发明所制备的复合湿敏元件具有响应线性好、灵敏度高、湿滞小、响应时间短、重复性好等优点，相对于基于纯聚酰亚胺的湿敏元件，灵敏度低，湿滞大和长期稳定性差等缺陷得到了改善，可广泛应用于湿度的精确测量。
基于活性炭结合无机材料掺杂聚酰亚胺多层薄膜以及复合元件

[发明专利]一种具有温漂补偿的电容湿度传感器及其制作方法-CN201110456757.8有效
发明人：秦明;周永丽;黄见秋 -专利权人：东南大学
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本发明公开一种具有温漂补偿的电容式湿度传感器及其制作方法，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成，上电极覆盖第一湿敏材料层的下表面，并与下电极形成敏感电容。当环境湿度变化时，第一湿敏材料层和第二湿敏材料层体积变化不同，即引起感湿悬臂的变形，进而带动上电极的变形，使得上电极于下电极之间的电容改变，利用电容值的变化可表征环境湿度的变化。而当环境温度变化时，感湿悬臂的两层湿敏材料层体积变化相同，即达到了温漂补偿的效果，使得本发明具有低温漂的优异性能。
一种具有补偿电容湿度传感器及其制作方法

[实用新型]一种具有温漂补偿的电容湿度传感器-CN201120570163.5有效
发明人：秦明;周永丽;黄见秋 -专利权人：东南大学
申请日： 2011-12-31 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： G01N27/22 文献下载
摘要：本实用新型公开一种具有温漂补偿的电容湿度传感器，传感器本体采用表面微机械加工技术在半导体衬底上形成隔离层，以及隔离层上的感湿悬臂和上、下电极。其中感湿悬臂由从下到上叠置的第一湿敏材料层、隔湿层、第二湿敏材料层组成，上电极覆盖第一湿敏材料层的下表面，并与下电极形成敏感电容。当环境湿度变化时，第一湿敏材料层和第二湿敏材料层体积变化不同，即引起感湿悬臂的变形，进而带动上电极的变形，使得上电极于下电极之间的电容改变，利用电容值的变化可表征环境湿度的变化。而当环境温度变化时，感湿悬臂的两层湿敏材料层体积变化相同，即达到了温漂补偿的效果，使得本实用新型具有低温漂的优异性能。
一种具有补偿电容湿度传感器

[发明专利]一种高分子聚合物基电阻型湿度传感器及其制备和测试方法-CN201210434129.4有效
发明人：熊克;卞侃;吴佳俊;潘潇;陈宏 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2012-11-05 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种高分子聚合物基电阻型湿度传感器及其制备和测试方法，包括湿敏材料层、金属电阻层和引线端子，为圆柱状结构，中间为湿敏材料层，湿敏材料层的截面为圆形并带有一个凸起部，所述的湿敏材料层为Nafion溶液固化而成，在湿敏材料层的侧面化学镀Pt膜，除去凸起部的Pt膜，得到金属电阻层，在金属电阻层的两端靠近接头处的表面采用真空镀2~3mm2的钛膜，作为引线端子。制备以Nafion溶液固化制备湿敏材料层，湿敏材料层的上下表面采用聚氨酯保护，侧面经过粗化、活化、酸浸后，再镀内外层电极；内外层电极镀好后，除去凸起部表面的金属层，再采用真空蒸发镀膜法在金属电阻层靠近接头处镀钛膜制备引线端子
一种高分子聚合物电阻湿度传感器及其制备测试方法

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