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- [发明专利]形状测定装置及形状测定方法-CN201180024732.9无效
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青木洋
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株式会社尼康
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2011-05-16
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2013-01-30
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G01B11/25
- 以切实地抑制不适合的数据对测定结果造成影响为目的,形状测定装置包含:投影部,将具有共通的重复构造、且相位不同的图案依次投影至测定对象物上;摄像部,在每次将所述图案的各个投影至所述测定对象物时以不同的曝光量拍摄所述测定对象物并取得多个图像数据组;选出部,在所述测定对象物的各区域从所述多个图像数据组之中选出所述摄像部的输入输出特性成为线性的组内的全部数据在有效亮度范围内的数据组作为适当数据组;及形状算出部,根据所述选出的适当数据组对每个所述区域求出形状
- 形状测定装置方法
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