专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果1386909个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]一种制备金属与石墨烯欧姆接触的方法-CN201210093144.7无效
  • 金智;潘洪亮;麻芃;郭建楠;彭松昂;陈娇;王显泰 - 中国科学院微电子研究所
  • 2012-03-31 - 2012-08-01 - H01L21/04
  • 本发明公开了一种制备金属与石墨烯欧姆接触的方法,包括:在衬底上用微机械剥离法或CVD转移法制备单层和少数层石墨烯材料;在该石墨烯材料上旋涂光刻胶;采用光学光刻或者电子束直写的方法刻蚀石墨烯材料上的光刻胶,并用显影液显影,形成由光刻胶构成的源漏图形;用除胶仪器去除残胶,然后对源漏区的石墨烯材料进行刻蚀,同时破坏石墨烯材料的晶格结构,形成缺陷;采用电子束蒸发或者溅射在形成缺陷的样品表面淀积金属;剥离样品表面源漏极之间有源区上的光刻胶及金属,形成金属与石墨烯欧姆接触。与传统的金属石墨烯欧姆接触相比,本方法由于克服了石墨烯费米能级附近态密度较小的劣势,能得到接触电阻很小的金属石墨烯欧姆接触。
  • 一种制备金属石墨欧姆接触方法
  • [发明专利]GaN基器件欧姆接触电极的制备方法-CN201810166841.8有效
  • 谭永亮;吕鑫;赵红刚;胡泽先;崔玉兴;付兴昌 - 中国电子科技集团公司第十三研究所
  • 2018-02-28 - 2021-03-23 - H01L21/285
  • 本发明适用于半导体技术领域,提供了一种GaN基器件欧姆接触电极的制备方法,该方法包括以下步骤:在器件的上表面生长第一介质层;在所述第一介质层与欧姆接触电极区对应的区域和所述器件的所述欧姆接触电极区注入硅离子和/或铟离子;在所述第一介质层的上表面生长第二介质层;通过高温退火工艺激活所述硅离子和/或所述铟离子,形成N型重掺杂;分别去除所述第一介质层和所述第二介质层与所述欧姆接触电极区对应的部分;在所述器件的所述欧姆接触电极区的上表面生长金属层,形成欧姆接触电极。本发明制备的欧姆接触电极能够保证金属层表面平整、边缘光滑整齐,器件击穿电压稳定、可靠性和寿命长。
  • gan器件欧姆接触电极制备方法
  • [发明专利]一种光通信芯片欧姆接触电极的制作方法-CN202110121320.2有效
  • 赵亮;葛婷;尹建峰 - 湖北光安伦芯片有限公司
  • 2021-01-28 - 2022-08-19 - H01L31/0224
  • 本发明涉及一种光通信芯片欧姆接触电极的制作方法,包括如下步骤:在光通信芯片P面制作依次为Ti/Pt/Au单质金属的叠层欧姆接触电极;对上述P面Ti/Pt/Au欧姆接触电极进行P面合金化退火,P面合金化退火温度为T1;在光通信芯片N面制作依次为Ti/Pt/Au单质金属的叠层欧姆接触电极;对上述N面Ti/Pt/Au欧姆接触电极进行N面合金化退火,N面合金化退火温度为T2;上述P面合金化退火温度T1高于上述N面合金化退火温度采用本发明的欧姆接触电极制作工艺可以得到工艺稳定、接触电阻低的欧姆接触电极,且匹配了解理切割工艺,最终获得了性能稳定、芯片外观优良、成品率高的光通信芯片。
  • 一种光通信芯片欧姆接触电极制作方法
  • [发明专利]LED反射电极及其制作方法-CN201710104135.6有效
  • 何鹏 - 湘能华磊光电股份有限公司
  • 2017-02-24 - 2019-05-31 - H01L33/40
  • 反射电极及其制作方法,方法依次包括:采用负性光刻胶做出电极图形并显影,负性光刻胶呈现倒梯形;保持蒸镀腔的压力为105torr至106torr,温度为10℃至30℃,依次蒸镀欧姆接触金属层、反射金属层、连接金属层和隔离金属层;保持蒸镀腔的压力为105torr至106torr,将蒸镀腔的温度升高到100℃‑150℃,在隔离金属层上方蒸镀焊接金属层,负性光刻胶产生玻璃化,倒梯形状的负性光刻胶向欧姆接触层、反射金属层、连接金属层和隔离金属层的方向回缩,使得焊接金属层将欧姆接触层、反射金属层、连接金属层和隔离金属层包覆起来。如此,将反射金属层与外界隔绝,有利于提高反射电极的可靠性。
  • led反射电极及其制作方法
  • [发明专利]一种选区刻蚀再生长4H-SiC雪崩光电探测器-CN202310949932.X在审
  • 周东;陆海 - 苏州镓敏光电科技有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-13 - H01L31/107
  • 本发明公开了一种新型选区刻蚀再生长4H‑SiC雪崩光电探测器,通过选区刻蚀再生长方式,使雪崩区的本征层厚度小于欧姆接触区的本征层厚度,有效分离欧姆接触金属电极与感光区的本征层电场强度,使感光区的本征层电场强度达到临界电场时,欧姆接触金属电极下方的电场强度依然处于较低的电场强度,且欧姆电极位于低场区,对高场区的感光面积无遮挡。解决了SiC APD现有技术中小角度倾斜台面制备工艺窗口小、可靠性差的缺点,有效降低了欧姆电极下方的电场强度,可靠性好,且器件填充因子高。
  • 一种选区刻蚀再生sic雪崩光电探测器
  • [发明专利]二维电子材料单臂梁器件及其制备方法-CN201210331607.9有效
  • 肖柯;吕宏鸣;伍晓明;钱鹤;吴华强 - 清华大学
  • 2012-09-07 - 2013-02-20 - B81B3/00
  • 本发明提供一种二维电子材料单臂梁器件及其制备方法,器件包括:衬底;衬底上形成有第一金属电极图形;衬底和第一金属电极图形上形成有介质层,介质层形成有第一通孔图形;介质层上形成有第二金属电极图形,第二金属电极图形中的第二金属电极未覆盖第一通孔图形中的第一通孔;第二金属电极图形上形成有二维电子材料图形,二维电子材料图形中的二维电子材料层部分覆盖位于第一通孔一侧的第二金属电极上、且部分悬空于该第一通孔中;二维电子材料图形和第二金属电极图形上还形成有欧姆接触层图形,欧姆接触层图形中的欧姆接触层覆盖在二维电子材料层与第二金属电极重叠部位的上方、且该欧姆接触层与该第二金属电极接触。
  • 二维电子材料单臂梁器件及其制备方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top