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[发明专利]一种微机械谐振器-CN201910467829.5有效
发明人：吴国强;陈文;吴忠烨 -专利权人：武汉大学
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H03H3/007 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机械谐振器。通过对微机械谐振器几何尺寸优化设计，减小微机械谐振器谐振振子与支撑梁边界处的机械振动，从而减小微机械谐振器的能量损耗；通过在谐振器结构层设计隔离框架结构，以及在谐振器的衬底硅片底部刻蚀出凹槽或凹腔结构，减小封装应力对谐振器性能的影响，提高微机械谐振器的长期稳定性。对特定材料、特定频率和特定模态的微机械谐振器，其谐振振子长度在某一特定值时，谐振振子与支撑梁边界处的机械振动最小。当改变谐振振子中的某层材料的厚度，谐振振子长度为另一优化值。
一种微机谐振器

[发明专利]双谐振传感器装置和方法-CN202311046154.X在审
发明人：尹永刚;任丹阳;施钧辉;王钰琪;王少博;高大;王铉皓 -专利权人：之江实验室
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本申请涉及一种双谐振传感器装置和方法。包括声学谐振器和机械谐振器，声学谐振器包括绝缘层、声学基底层和电路板层；机械谐振器包括机械谐振膜和检测电极；声学谐振腔获取声波信号并对声波信号进行增强，得到声波增强信号，声学谐振腔是由绝缘层、声学基底层和电路板层中设置的通孔构成的；机械谐振膜设置在声学谐振腔上，响应于声波增强信号上下振动，生成振动结果；检测电极设置在机械谐振膜外侧，将振动结果转换为电信号结果，机械谐振膜的尺寸与检测电极的尺寸组成第一尺寸；声学谐振腔的尺寸与第一尺寸吻合，轴线重合；声学谐振器的声学谐振频率，与机械谐振器的机械谐振频率相等。
谐振传感器装置方法

[发明专利]具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计-CN201911378596.8有效
发明人：陈方;李昕欣;周伟 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G01R33/028 文献下载
摘要：本发明提供一种具有接口检测电路的双谐振结构微机械洛伦兹力磁强计，包括：双谐振结构的微机械洛伦兹力磁强计，包括第一微机械谐振结构及第二微机械谐振结构，所述第一微机械谐振结构与所述第二微机械谐振结构相同，二者间隔分布于同一磁场内，且所述第一微机械谐振结构的表面及所述第二微机械谐振结构的表面与所述磁场相垂直；检测电路，与所述第一微机械谐振结构及所述第二微机械谐振结构电连接，所述接口检测电路包括全差分开环检测电路或静电力平衡闭环检测电路
具有接口检测电路谐振结构微机械洛伦兹力磁强计

[发明专利]一种微机械谐振器及其制备方法、微机械振荡器-CN202310335087.7在审
发明人：吴国强;肖宇豪;韩金钊;朱科文;华兆敏;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法、微机械振荡器。本发明中谐振振子包括主谐振结构和机械耦合结构，主谐振结构采用方板结构，机械耦合结构采用圆环板或圆板结构，机械耦合结构与主谐振结构连接，且机械耦合结构位于主谐振结构的四角。微机械谐振器对应的频率温度曲线的温度拐点基于主谐振结构与机械耦合结构的质量占比进行调控。通过对谐振振子的几何尺寸进行设计，可以实现频率温度曲线的温度拐点的调控，能够满足多种不同场合的应用需求。
一种微机谐振器及其制备方法振荡器

[发明专利]一种机械谐振子的制备方法及装置-CN202110341638.1有效
发明人：周雅红;李启琪;王里 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2021-03-30 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明提供了一种机械谐振子的制备方法及装置，涉及机械制造领域。方法包括：构建机械谐振子初始模型；初始模型包括谐振质量及均匀包覆在谐振质量外表面的弹性包覆层；基于虚位移原理及能量守恒定理确定弹性包覆层的轴向等效刚度；根据弹性包覆层的轴向等效刚度确定频率与机械谐振子几何参数的计算关系式；在预设频率下，根据机械谐振子几何参数的计算关系式确定机械谐振子中谐振质量的几何参数和弹性包覆层的几何参数；根据谐振质量的几何参数和弹性包覆层的几何参数制备机械谐振子。本发明中的方法及装置具有机械谐振子的制备灵活性，可针对性且高效地吸收各种低频噪声，相比现有技术具有更好的隔声效果。
一种机械谐振子制备方法装置

[实用新型]一种机械式遥控器及遥控系统-CN201922486528.5有效
发明人：徐海淇 -专利权人：惠州视维新技术有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G08C23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种机械式遥控器及遥控系统，其中，机械式遥控器包括：遥控壳体以及若干设置在所述遥控壳体上的遥控组件，所述遥控组件包括设置在所述遥控壳体内部的谐振梁结构以及活动连接于所述遥控壳体的遥控按键，所述遥控按键与所述谐振梁结构对应设置；每个所述谐振梁结构在所述遥控按键的作用下可产生谐振，每个所述谐振梁结构在谐振时发出频率各不相同谐振机械波；本申请通过遥控组件的遥控按键驱动谐振梁结构发出谐振机械波，每个谐振梁结构在谐振时发出频率各不相同谐振机械波，利用谐振机械波代替传统遥控器的红外信号，对待遥控设备进行控制，无需电池即可实现遥控功能，在节约能源的同时保护了环境。
一种机械式遥控器遥控系统

[发明专利]微机械谐振器-CN202210981335.0在审
发明人：雷永庆;李明 -专利权人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了微机械谐振器。微机械谐振器包括第一谐振单元和第二谐振单元，第二谐振单元的一端为与第一谐振单元连接的连接端，第二谐振单元另一端为与衬底连接的锚固端，锚固端附近的刚度大于连接端附近的刚度。通过上述方式，本申请微机械谐振器在第二谐振单元振动的过程中，第二谐振单元的锚固端的刚度大于连接端的刚度，锚固端处的位移被抑制，从而减小了锚点损耗，提高了微机械谐振器的品质因数。
微机谐振器

[实用新型]微机械谐振器-CN202222159697.X有效
发明人：雷永庆;李明 -专利权人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了微机械谐振器。微机械谐振器包括第一谐振单元和第二谐振单元，第二谐振单元的一端为与第一谐振单元连接的连接端，第二谐振单元另一端为与衬底连接的锚固端，锚固端附近的刚度大于连接端附近的刚度。通过上述方式，本申请微机械谐振器在第二谐振单元振动的过程中，第二谐振单元的锚固端的刚度大于连接端的刚度，锚固端处的位移被抑制，从而减小了锚点损耗，提高了微机械谐振器的品质因数。
微机谐振器

[发明专利]一种具有对称式谐振振子结构的微机械谐振器及调节方法-CN202310517385.8在审
发明人：吴国强;华兆敏;肖宇豪;朱科文;韩金钊;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种具有对称式谐振振子结构的微机械谐振器及调节方法，该微机械谐振器包括衬底硅片、谐振器结构；衬底硅片正面具有空腔结构；谐振器结构包含谐振振子、支撑梁结构和锚点结构；谐振振子通过支撑梁结构与锚点结构连接，锚点结构与衬底硅片连接，且谐振振子、支撑梁结构和锚点结构均悬空于衬底空腔上方；衬底硅片正面的空腔结构位置分别与谐振器谐振振子、支撑梁结构和锚点结构相对应；谐振振子位于支撑梁两侧，以支撑梁为中心，形成轴对称式的一组或多组该微机械谐振器优化了微机械谐振器的结构，减小了微机械谐振器的锚点损耗，提高了器件的Q值；同时通过设计电极布局实现可调的激励和检测方式。
一种具有对称谐振结构微机谐振器调节方法

[发明专利]超精密运动平台机械谐振的抑制方法-CN201410448517.7有效
发明人：陈兴林;刘法志;刘帅;刘启循;魏凯;范文超;张之万;杨旭东 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2014-09-04 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制它用于抑制运动平台机械谐振。
精密运动平台机械谐振抑制方法

[发明专利]一种微机械谐振器及其制备方法-CN202211367814.X在审
发明人：吴国强;肖宇豪;韩金钊;朱科文;华兆敏;李灿 -专利权人：武汉大学
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于微电子技术领域，公开了一种微机械谐振器及其制备方法。本发明中谐振振子包括主谐振结构和机械耦合结构，主谐振结构采用矩形板结构，机械耦合结构采用一个或多个圆环板结构，微机械谐振器对应的频率温度曲线的温度拐点基于主谐振结构与机械耦合结构的质量占比进行调控。本发明通过添加机械耦合结构降低能量损耗，从而提高Q值；通过对谐振振子的几何尺寸进行设计，可以实现频率温度曲线的温度拐点的调控，能够满足多种不同场合的应用需求。
一种微机谐振器及其制备方法

[发明专利]基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法-CN202011420804.9有效
发明人：曹慧亮;刘丽;刘俊;石云波;申冲;崔让 -专利权人：中北大学;中国人民解放军陆军步兵学院石家庄校区
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明涉及谐振式微机械加速度计的标定补偿方法，具体是一种基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法。本发明解决了现有谐振式微机械加速度计标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限、容易导致系统的测量和控制精度降低的问题。基于虚拟惯性力的谐振式微机械加速度计自标定补偿方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）将谐振式微机械加速度计的工作模态设定为谐振模态；2）产生虚拟惯性力；3）对谐振式微机械加速度计进行自标定；4）对谐振式微机械加速度计进行自补偿本发明适用于谐振式微机械加速度计的标定补偿。
基于虚拟惯性力谐振式微机械加速度计标定补偿方法

[发明专利]一种毫米波雷达高精度伺服跟踪系统的机械谐振抑制方法-CN202211298801.1有效
发明人：陈松波;游志平;文航凌;徐小丽;姜伟;潘冬花;卢洲;郭珊;陈华飞 -专利权人：零八一电子集团有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H02P21/05 文献下载
摘要：本发明涉及一种毫米波雷达高精度伺服跟踪系统的机械谐振抑制方法，所述机械谐振抑制方法包括：S1、通过加速法测量负载转动惯量；S2、通过机构模型对负载转动惯量与俯仰角耦合函数关系进行分析；S3、获取随俯仰角变化的机械谐振频率值；S4、通过双T网络陷波滤波器对机械谐振频率进行补偿，实现机械谐波抑制。本发明跟踪精度高、稳定性好、抗干扰性强，能自动识别负载的机械谐振中心频率点，并能抑制机械谐振频率，提高了伺服跟踪系统的稳定性。
一种毫米波雷达高精度伺服跟踪系统机械谐振抑制方法

[发明专利]具有锚点辅助结构的微机械谐振器及其制备方法-CN202011540039.4在审
发明人：吴国强;陈文;贾文涵 -专利权人：武汉大学
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有锚点辅助结构的微机械谐振器及其制备方法，通过对微机械谐振器锚点结构的几何尺寸进行优化设计，并在锚点结构的末端添加锚点辅助结构来调整谐振振子振动节点位置，从而约束锚点的振动来减小微机械谐振器的锚点损耗，提高微机械谐振器的Q值。锚点辅助结构的长度优选为具有特定的几何尺寸，即对于特定频率、特定厚度、特定锚点结构、特定材料和特定尺寸的微机械谐振器，锚点辅助结构的长度为一优化值。在锚点辅助结构的长度为优选值时，谐振振子与锚点结构边界处的机械振幅最小，谐振器向衬底传播的能量消耗最小。
具有辅助结构微机谐振器及其制备方法

[发明专利]一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置-CN201010529243.6无效
发明人：崔健;闫桂珍;郭中洋;杨振川;郝一龙 -专利权人：北京大学
申请日： 2010-10-28 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械谐振式器件闭环驱动用的PID控制装置，其与一乘法器、一微机械谐振式器件、一前置读出电路、一滤波器和一幅度提取器构成一微机械谐振式器件闭环系统，其特征在于：所述PID控制装置由两个PID本发明能够使微机械谐振式器件的闭环系统同时满足跟踪性能和抗干扰性能，适用于谐振式微悬臂梁、微谐振器、微机械陀螺和谐振式微加速度计等微机械谐振式器件的闭环驱动控制。
一种微机谐振器件闭环驱动 pid 控制装置

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