“有机成膜”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2345671个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]有机薄膜的成膜装置以及有机材料成膜方法-CN201080055842.7有效
发明人：根岸敏夫;藤本弘;平岩秀行 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-12-08 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：逐次少量地向蒸发槽（41）内供给的有机材料与加热部（43）接触而被加热，成为蒸气并导入缓冲装置（50）中。在缓冲装置（50）中设有具有流路的缓冲部（52），在流路中流动的蒸气与缓冲部（52）碰撞，成为固体的有机材料而附着在缓冲部（52）上。当缓冲部（52）的表面被固体的有机材料覆盖时，蒸发槽（41）内的蒸气发生量的变动被缓冲部（52）抵消，蒸气从排放装置（12）的排放稳定。
有机薄膜装置以及材料方法

[发明专利]成膜装置、成膜头和成膜方法-CN201080044833.8有效
发明人：小野裕司;林辉幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-09-30 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：提供一种成膜装置，该成膜装置能够进行期望条件下的有机成膜材料和无机成膜材料的共蒸镀。该成膜装置具备：收纳被处理基板(G)的处理室；设置于处理室的外部的产生有机成膜材料的蒸气的蒸气产生部；有机成膜材料供给部(22)，其设置于处理室的内部，将在蒸气产生部产生的有机成膜材料的蒸气喷出；无机成膜材料供给部(24)，其设置于处理室的内部，喷出无机成膜材料的蒸气；和混合室(23)，其将从有机成膜材料供给部(22)喷出的有机成膜材料的蒸气与从无机成膜材料供给部(24)喷出的无机成膜材料的蒸气混合，混合室(23)具备使有机成膜材料和无机成膜材料的混合蒸气通过、向被处理基板(G)供给的开口部(23c)。
装置成膜头方法

[发明专利]成膜装置、成膜方法、有机发光元件的制造方法和有机发光元件-CN201280014151.1无效
发明人：小野裕司;林辉幸;桑田拓岳;森田治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明提供能够进行期望的共蒸镀的成膜装置、成膜方法、有机发光元件的制造方法和有机发光元件。成膜装置的成膜头包括将有机成膜材料的蒸气向被处理基板（G）喷出的有机成膜材料供给部（4）、和将无机成膜材料的蒸气向被处理基板（G）喷出的无机成膜材料供给部（5）。有机成膜材料供给部（4）、无机成膜材料供给部（5）构成为能够在水平方向和垂直方向上移动，且配置被控制使得以从喷出口（41a、51a）喷出的有机材料、无机材料的混合比例在厚度方向上不同的状态进行成膜。
装置方法有机发光元件制造

[发明专利]成膜装置、成膜方法和有机EL元件-CN201080014744.9无效
发明人：江面知彦;继田浩平;鳄渕美子 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2010-03-18 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜装置。其防止形成电子注入层的有机EL元件的金属层的劣化。成膜装置PM1具有：处理容器(100)，其于内部在基板上实施所需的处理；蒸镀源(200)(第一蒸镀源)，其收纳有机材料，将被收纳的有机材料加热并使其气化；第一喷出机构(120a)～(120f)，其内置于处理容器(100)并与蒸镀源(200)连结，将在蒸镀源(200)被气化的有机材料排向处理容器内的基板G；气化器(300)(第二蒸镀源)，其收纳锂等碱金属材料，将被收纳的碱金属材料加热并使其气化；第二喷出机构(130
装置方法有机 el 元件

[发明专利]形成有机薄膜的方法-CN03813163.3无效
发明人：簗嶋克典;成井启修;目目泽聪彦;佐佐木浩司 -专利权人：索尼株式会社
申请日： 2003-06-05 - 公布日： 2005-08-24 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：一种在没有加热成膜表面下在衬底表面形成性质均匀的有机薄膜的方法。蒸发单一的有机材料的成膜成分而产生气体(成膜成分气体)(g2)，并向放置衬底(W)的反应室(11)输送并供入，并在反应室(11)内的衬底(W)上淀积保持成膜成分的有机材料以形成有机薄膜。当有机材料淀积时，衬底(W)保持冷却。通过载气如惰性气体(g1)向反应室(11)输送并供入成膜成分气体(g2)。通过重复有机材料的这种淀积，可形成多层不同成膜材料的有机薄膜。
形成有机薄膜方法

[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN200680011225.0有效
发明人：大见忠弘;松冈孝明;中山尚三;伊藤日艺 -专利权人：国立大学法人东北大学;东京毅力科创株式会社;株式会社丰田自动织机
申请日： 2006-03-28 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种成膜装置及成膜方法。成膜装置具有向喷出容器内喷出有机EL分子气体的结构，具有多个有机EL原料容器、连接多个有机EL原料容器和喷出容器的配管系，多个有机EL原料容器有选择地成为有机EL分子供给状态，该配管系供给输送气体，使得在各有机EL原料容器内，在成膜时和非成膜时成为相同的压力。在非成膜时，输送气体从有机EL原料容器之一流向其它原料容器。
装置方法

[发明专利]有机材料蒸气产生装置、成膜源、成膜装置-CN200880107220.7有效
发明人：根岸敏夫 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2008-09-08 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：即使不加快成膜速度，也形成均匀膜厚的薄膜。当从供给装置(40)将有机材料(48)供给至蒸发室(20a)，并使其在蒸发装置(24)的蒸发面(28)上时，加热预先设置的加热过滤器(32)，在其中使运载气体流动并进行加热，导入至蒸发室(20a)内。所生成的有机材料蒸气和运载气体混合，混合气体被导入至放出装置(70)内。在仅将有机材料蒸气导入至放出装置(70)内的情况下，在放出装置(70)内形成分子流，但运载气体使放出装置(70)内的压力上升，因而形成粘性流，混合气体充满于放出装置(70)内，均匀地放出。每次少量地供给有机材料，使成膜速度不过快即可。
有机材料蒸气产生装置成膜源

[发明专利]有机膜形成装置以及有机膜形成方法-CN201180050603.7有效
发明人：内田一也;大森大辅;宫内淳 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2011-10-19 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：本发明提供一种使有机材料附着之后，使成膜对象物静止，固化有机材料，能将有机膜成膜的有机膜形成装置以及有机膜形成方法。在真空槽（11）内配置的基板台（14）上配置成膜对象物（5），在成膜对象物（5）的表面接触配置掩模（31），冷却成膜对象物（5），将真空槽（11）内进行真空排气的同时，从掩模（31）上喷出当照射光时进行固化的光反应性材料，并使其附着于在掩模（31）的开口（34）底面露出的成膜对象物（5）的表面，在附着的部分形成光反应性材料的液状膜，在停止了真空槽（11）内的真空排气的状态下，在放射光的光照射装置（24）中，使光放射的同时，在掩模上移动，使液状膜固化，形成光反应性材料的有机膜。
有机形成装置以及方法

[发明专利]有机EL元件的制造方法及制造装置-CN200510063508.7有效
发明人：丹博树 -专利权人：日本东北先锋公司
申请日： 2005-04-08 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： H05B33/10 文献下载
摘要：一种有机EL元件的制造方法及制造装置，具有：成膜基板上的下部电极等的前处理工序(S1)；在该前处理工序(S1)之后，在下部电极上至少成膜具有有机发光功能层的有机层和上部电极的成膜工序(S2)；在成膜工序(S2)之后，密封有机层和上部电极的密封工序(S3)，在从前处理工序(S1)之后到上部电极形成之前进行检查工序(SS)。由此，消除有机EL元件因有机层的成膜不良造成的色度偏差，改善成品率。
有机 el 元件制造方法装置

[发明专利]成膜系统、成膜方法和计算机存储介质-CN201880009405.8有效
发明人：志村悟;榎本正志 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-01-04 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01L21/312 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜系统，在表面形成有图案的基片上形成有机膜，包括：对基片进行有机膜形成处理来在基片上形成有机膜的有机膜形成部；测量基片上的有机膜的膜厚的膜厚测量部；和对基片上的有机膜进行紫外线照射处理来除去该有机膜的表面的紫外线处理部在成膜系统中，有机膜形成部、膜厚测量部和紫外线处理部是沿基片的输送方向依次排列地设置。
系统方法计算机存储介质

[发明专利]一种成膜设备及有机膜层的制备方法-CN202111191081.4有效
发明人：曾苏伟 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10K71/10 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜设备及有机膜层的制备方法，成膜设备包括：恒温室，包括第一反应釜，第一反应釜包括第一气体输入端、有机材料输入端和第一超临界流体输出端；成膜室，包括喷嘴及承载台，喷嘴与第一超临界流体输出端相连通；第一气体输入端为气体进入第一反应釜的通道，有机材料输入端为有机材料进入第一反应釜的通道，第一反应釜具有恒定的温度和压强并用于将气体转换为超临界流体，超临界流体用于溶解有机材料，第一超临界流体输出端用于将溶解有有机材料的超临界流体输送至喷嘴，喷嘴用于将溶解有有机材料的超临界流体喷出，以在承载台上形成有机膜层。该成膜设备及有机膜层的制备方法能够避免使用大量有机溶剂，成膜工艺更为简单。
一种设备有机制备方法

[实用新型]一种高压电容器的电介质薄膜加工装置-CN201821115945.8有效
发明人：熊仕平;殷国富;陈珂 -专利权人：四川达优机械有限公司
申请日： 2018-07-16 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01G13/00 文献下载
摘要：一种高压电容器的电介质薄膜加工装置，其特征在于，其包括成膜单元、抽真空单元、氧化性气体供给单元、反应气体供给单元以及MCU控制单元，成膜单元包括成膜室、成膜台、电加热器、温度传感器，气体喷盘、压力传感器以及微波生成器；反应气体供给单元包括三条气体支路，有机钡盐气体支路，有机锶盐气体支路，有机钛盐气体支路，其中，有机钡盐气体、有机锶盐气体以及有机钛盐气体均是通过固体原料加热升华得到，通过单片机控制单元连接压力传感器和温度传感器监测成膜单元内的压力和温度，并且通过控制电加热单元和真空泵自动维持成膜单元内的压力和温度恒定。
成膜单元气体支路反应气体供给单元电介质薄膜高压电容器温度传感器加工装置有机钡盐有机钛盐有机锶单片机控制单元连接压力传感器抽真空单元电加热单元微波生成器压力传感器氧化性气体电加热器供给单元固体原料加热升华温度恒定成膜室真空泵成膜喷盘监测

[发明专利]有机半导体膜的成膜方法-CN202080012322.1在审
发明人：岩濑英二郎 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2020-01-16 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H01L29/786 文献下载
摘要：课题在于提供一种有机半导体膜的成膜方法，其能够以良好的生产率制造均匀性良好且具有高迁移率的有机半导体膜。本发明通过如下来解决课题，即，通过将有机半导体材料溶解在溶剂中来制备涂布液，利用喷雾单元对涂布液进行喷雾，对由喷雾单元喷雾的飞翔中的涂布液进行加热且将涂布液涂布于温度调节后的基板。
有机半导体方法

[发明专利]均热装置和有机膜成膜装置-CN200880128669.1有效
发明人：大见忠弘;北野真史;山荫久明;山田义人 -专利权人：国立大学法人东北大学;东芝三菱电机产业系统株式会社
申请日： 2008-04-11 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：一种均热装置，包括：容器构造体，该容器构造体具有在内部填充有工作流体、且对被加热材料加热以使被加热材料汽化的加热块(1)；加热单元(6)，该加热单元(6)配置在容器构造体的底部；以及材料供应管(11)，该材料供应管(11)将容器构造体的外侧与内侧连通。在加热块(1)上形成有作为供被加热材料流动的流路的、与材料供应管(11)相连接并朝水平方向延伸的总集气管(12)以及从总集气管(12)分岔并向上下方向延伸的竖管(14)，此外，还形成有作为对工作流体进行冷却冷凝的冷凝路的、形成于竖管(14)两侧并朝水平方向延伸的冷凝孔(10)以及形成于竖管(14)下侧的冷凝槽(16)。在冷凝孔(10)与冷凝槽(16)之间配置有总集气管(12)。
均热装置有机膜成膜

[发明专利]一种有机-无机复合膜及其制备方法-CN201810730828.0有效
发明人：智锁红;耿啸天;丁超;李刚 -专利权人：绍兴齐英膜科技有限公司
申请日： 2018-07-05 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： B01D71/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机‑无机复合膜及其制备方法。该有机‑无机复合膜通过以下步骤制备得到：(1)将有机成膜聚合物、极性共聚物和溶剂配置成制膜液；(2)将制膜液转入成膜凝固浴中，制备得到有机超滤膜；(3)通过交替浸渍法对步骤(2)制得的有机超滤膜的表面和内部负载无机粒子，得到所述的有机‑无机复合分离膜。本发明的复合膜具有高亲水性、高通量和对染料高截留率的特点；且制备方法，简单易行，适用于连续稳定生产。
一种有机无机复合及其制备方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条