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- [发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法-CN202110346113.7在审
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及川纯史;小仓荣二;那须俊文;植田稔彦;林辉幸
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东京毅力科创株式会社
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2021-03-31
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2021-10-19
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H01L51/56
- 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，使基片上的溶液中的溶剂在短时间干燥。在减压状态下使基片上的溶液干燥的该减压干燥装置包括：载置基片的载置台；溶剂收集部件，具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于载置台的基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的溶液中的溶剂；处理容器，其可减压且在内部设置上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从厚度方向观察围绕载置台的侧壁；和围绕部件，其从厚度方向观察时以能够将处理容器内的侧壁与溶剂收集部件之间封闭的方式围绕溶剂收集部件，并与溶剂收集部件设置于同一平面上，围绕部件使处理容器内的气体通过从厚度方向观察比溶剂收集部件靠外侧的部分时的压力损失增加。
- 减压干燥装置方法
- [发明专利]干燥装置和干燥处理方法-CN201910012458.1有效
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岛村明典;林辉幸
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东京毅力科创株式会社
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2016-09-26
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2021-09-28
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H01L51/56
- 本发明提供在对基板上的有机材料膜进行干燥处理时尽量地降低混入到处理容器内的水分的影响的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置(100)包括能够抽成真空的处理容器(1)和用于在处理容器(1)内支承基板(S)的作为基板支承部的基板支承部(3)，在干燥处理期间，在处理容器(1)内的压力为大气压～500Pa的范围内，将基板(S)保持在第1高度位置，在处理容器(1)内的压力为3Pa以下时，使基板(S)下降到比第1高度位置低的第2高度位置。通过在将基板(S)保持在第1高度位置的状态下进行减压排气，能够使处理容器(1)内的水分自底壁(11)的排气口(11a)快速地排出。
- 干燥装置处理方法
- [发明专利]液滴排出装置和排出检查方法-CN201710573623.1有效
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今田雄;林辉幸;大岛澄美
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东京毅力科创株式会社
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2017-07-14
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2021-05-28
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B41J2/07
- 本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。
- 排出装置检查方法
- [发明专利]减压干燥装置-CN202010390887.5在审
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及川纯史;林辉幸;成本洋介
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东京毅力科创株式会社
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2020-05-11
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2020-11-24
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H01L51/56
- 本发明提供一种减压干燥装置，其使基片上的溶液在减压状态下干燥，溶液包含沸点相互不同的多种溶剂，减压干燥装置具有收纳基片的容器，在容器内具有：用于载置基片的载置台；溶剂收集部，其暂时收集从载置于载置台上的基片气化了的溶液中的溶剂；和使溶剂收集部在上下方向上移动的移动机构，容器在载置台的周边的比该载置台靠下侧的位置设置有排气口，该排气口与用于对该容器的内部进行排气的排气装置连接，溶剂收集部设置在俯视时比载置于载置台上的基片靠外侧的位置，且在比基片靠外侧的位置通过移动机构而在上下方向上移动。根据本发明，能够使包含沸点相互不同的多种溶剂的溶液的干燥时间在基片的面内均匀。
- 减压干燥装置
- [发明专利]减压干燥装置-CN201710899704.0有效
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岛村名典;林辉幸
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东京毅力科创株式会社
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2017-09-28
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2020-04-07
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B41J11/00
- 在既进行基板上的溶剂的减压干燥处理又进行溶剂捕获部上的溶剂的脱离处理的减压干燥装置中，以简单的装置结构缩短上述减压干燥处理的时间和上述脱离处理的时间。减压干燥装置(1)使收纳在腔室(10)内的基板(W)上的溶液在减压状态下干燥，包括由网状板构成的、暂时地捕获从基板(W)汽化的溶液中的溶剂的溶剂捕获部(30)，溶剂捕获部(30)以与基板(W)相对的方式设置在腔室(10)内，构成溶剂捕获部(30)的网状板的开口率为60％以上80％以下，单位面积的热容为850J/K·m2以下。
- 减压干燥装置
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