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[发明专利]一种蓝宝石晶棒粘棒工艺及其装置-CN201410360414.5在审
发明人：秦光临;王禄宝 -专利权人：江苏吉星新材料有限公司
申请日： 2014-07-28 - 公布日： 2014-11-05 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种蓝宝石晶棒粘接工艺，包括如下步骤：（1）用无水酒精清洁蓝宝石晶棒基准面和粘棒凸台；（2）在粘棒凸台端面涂胶，放入粘棒定位筒；（3）蓝宝石晶棒基准面向下，放入粘棒定位筒；（4）将粘棒定位筒和蓝宝石晶棒放置在气动压力机底座上；（5）启动气动压力机，调节气缸行程；纯铝压头向下运动；纯铝压头接触到蓝宝石晶棒端面后停止向下运动，进入保压；（6）保压完成，取下粘棒定位筒和蓝宝石晶棒即可；其粘接装置，包括粘棒凸台和粘棒定位筒、纯铝压头，通过控制粘棒凸台和粘棒定位筒同心度误差及粘棒定位筒与蓝宝石晶棒同心度误差，来保证蓝宝石晶棒与粘棒凸台粘接后同心度误差≤0.040mm。
一种蓝宝石晶棒粘棒工艺及其装置

[实用新型]偏晶向晶棒粘接装置-CN201220747487.6有效
发明人：于新现 -专利权人：西安神光安瑞光电科技有限公司;西安神光皓瑞光电科技有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： C30B33/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种偏晶向晶棒粘接装置，所述偏晶向晶棒粘接装置包括：平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；多个固定所述晶棒的固定夹，多个所述固定夹均能够沿着导向台运动；及检测晶棒偏置的二维倾角仪；当进行晶棒粘接时，所述二维倾角仪置于待粘接的晶棒一端。在此，利用二维倾角仪对晶棒进行偏置、利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现对晶棒进行一定的偏置后粘接，得到偏晶向晶棒，即简化了晶棒粘接工艺，提高了晶棒粘接效率，从而降低了生产成本。
晶棒粘接装置

[发明专利]一种适用于8吋半导体晶棒的粘接方法-CN202310222555.X在审
发明人：张亮;邢胜昌;张倩;王一鸣;邵奇;张昊 -专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：一种适用于8吋半导体晶棒的粘接方法，S1、采用晶体定向设备依据晶向偏离度确定8吋晶棒粘接需要偏转的角度α和β，然后8吋晶棒绕其轴线旋转使其Notch旋转β角，并将其水平放置在粘棒装置上；S2、设置有树脂板的晶托放置在粘棒装置上，并旋转晶托使其旋转角度为α后将其固定在粘棒装置上；S3、升高晶托使晶棒与树脂板的圆弧顶面贴合并压紧，直至树脂板与晶棒之间的胶水初步固化；S4、取出初步固化后的晶棒进行复检，若晶棒粘接合格，继续固化晶棒与树脂板的胶水直至粘接完成，否则，调整晶棒和晶托的偏转角度直至晶棒粘接合格；S4中，使用晶棒晶向复检仪检测初步固化的晶棒得到Z，计算得到晶棒实际水平晶向X实和实际垂直晶向Y
一种适用于半导体方法

[发明专利]一种多个晶棒的粘棒方法-CN202310639334.2在审
发明人：周虹;林明献 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种多个晶棒的粘棒方法，包括以下步骤：提供多个晶棒，多个所述晶棒均具有第一端面；分别对多个所述晶棒的第一端面进行磨面，以优化多个所述晶棒自转角度，并使得磨面后的所述第一端面的晶向取值为目标晶向值；将多个所述晶棒沿长度方向间隔粘设在粘棒治具台上，多个所述晶棒的第一端面与所述粘棒治具台垂直设置，且相邻两个所述晶棒之间的间隔为预设取值，可以降低粘棒难度，且使得切割时线网张力损失尽可能小。
一种多个晶棒方法

[发明专利]晶棒粘接装置及晶棒粘接方法-CN201210403075.5无效
发明人：于新现;李斗;张杰 -专利权人：西安神光安瑞光电科技有限公司
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶体加工过程晶棒粘接装置及晶棒粘接方法，其中，所述晶棒粘接装置包括：平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；以及多个固定夹，所述多个固定夹能够沿着导向台运动。在此，利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现多根晶棒的粘接，即简化了晶棒粘接工艺，提高了对晶体加工中晶向要求的准确性以及晶棒粘接效率
晶棒粘接装置方法

[发明专利]晶棒粘接方法及晶棒粘接装置-CN202010299611.6有效
发明人：令狐嵘凯;杨西龙;姜镕;郑秉冑 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2020-04-16 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶棒粘接方法，包括：对晶棒的第一粘接面进行加热至预设温度；在连接板组件的第二粘接面上涂覆粘合剂后，停止对所述晶棒的第一粘接面加热，并将涂覆粘合剂的所述连接板移动至所述晶棒的下方、以使得所述第一粘接面和所述第二粘接面相对；移动所述晶棒和/或所述连接板组件、使得所述晶棒和所述连接板组件相向运动以将所述晶棒粘接于所述连接板组件上。本发明还涉及一种晶棒粘接装置。
晶棒粘接方法装置

[实用新型]一种待切割的硅棒-CN201220234332.2有效
发明人：余志刚;程佑富 -专利权人：浙江锦锋光伏科技有限公司
申请日： 2012-05-23 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种待切割的硅棒，该硅棒包括晶棒、粘棒玻璃、粘棒铁板，晶棒、粘棒玻璃、粘棒铁板依次从上至下设置且中间的粘棒玻璃呈最小状，在晶棒的圆弧面、粘棒玻璃的侧面和粘棒铁板的外露表平面均设置有胶带。采用本实用新型，在送入多线切割机切割前将胶带连同粘棒胶撕下，就能确保待切割的硅棒无粘棒胶，从而防止了多线切割硅片时产生出刀口线痕。
一种切割

[实用新型]晶棒粘接装置-CN201220539741.3有效
发明人：于新现;李斗;张杰 -专利权人：西安神光安瑞光电科技有限公司
申请日： 2012-10-19 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶体加工过程晶棒粘接装置，所述晶棒粘接装置包括：平台；设置于所述平台上的粘接台；设置于所述平台上的导向台；以及多个固定夹，所述多个固定夹能够沿着导向台运动。在此，利用多个固定夹固定多根晶棒，其中，每个固定夹固定一根晶棒；每个固定夹沿着导向台运动到一定位置后停止；粘接台粘接多个固定夹中的多根晶棒，由此，可方便地实现多根晶棒的粘接，即简化了晶棒粘接工艺，提高了对晶体加工中晶向要求的准确性以及晶棒粘接效率
晶棒粘接装置

[发明专利]晶棒定角粘接机的定位机构-CN202010603334.3在审
发明人：周晋羽;李聪聪;周巍 -专利权人：台州市博信电子有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶棒定角粘接机的定位机构，属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒定角粘接机粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机的定位机构，包括用于水平定位料板的夹具和竖直设置在夹具上方并能够相对夹具转动的矫正基准立板，矫正基准立板上连接有能够沿垂直于矫正基准立板板面方向滑动的定位架，定位架上连接有能够吸附住晶棒的柔性吸盘，且当柔性吸盘吸附住晶棒时定位架能够缩回并使晶棒压靠在矫正基准立板上，矫正基准立板上还设有压块，当柔性吸盘吸附在晶棒上且晶棒压靠在矫正基准立板上时压块能够下降并将晶棒压紧在料板上。本晶棒定角粘接机粘接精度更高。
晶棒定角粘接机定位机构

[实用新型]晶棒定角粘接机的定位机构-CN202021229783.8有效
发明人：周晋羽;李聪聪;周巍 -专利权人：台州市博信电子有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶棒定角粘接机的定位机构，属于半导体设备技术领域。它解决了现有晶棒定角粘接机粘接精度不高的问题。本晶棒定角粘接机的定位机构，包括用于水平定位料板的夹具和竖直设置在夹具上方并能够相对夹具转动的矫正基准立板，矫正基准立板上连接有能够沿垂直于矫正基准立板板面方向滑动的定位架，定位架上连接有能够吸附住晶棒的柔性吸盘，且当柔性吸盘吸附住晶棒时定位架能够缩回并使晶棒压靠在矫正基准立板上，矫正基准立板上还设有压块，当柔性吸盘吸附在晶棒上且晶棒压靠在矫正基准立板上时压块能够下降并将晶棒压紧在料板上。本晶棒定角粘接机粘接精度更高。
晶棒定角粘接机定位机构

[实用新型]一种晶棒粘接固定整形装置及设有该整形装置的生产线-CN202023030909.1有效
发明人：李大伟;危晨;武瑞;高小兵;刘涛;李斌;贾瑞波;袁家骏;顾海军;金鑫 -专利权人：无锡中环应用材料有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：一种晶棒粘接固定整形装置及设有该整形装置的生产线，用于调整、固定已粘接在料板上的晶棒的位置，包括：架体；用于支撑并固定承载晶棒和料板的工件的放置单元；用于调整晶棒位置的调整单元；用于压固晶棒与料板粘接的下压单元；其中，放置单元带动工件沿架体上下移动；调整单元置于放置单元上方，并沿晶棒长度对晶棒的双侧进行调整，以使晶棒与料板对中设置；下压单元位于架体上端部与晶棒上端面接触，并使晶棒与料板固化粘接。本实用新型能使晶棒与料板快速且精准地对中位置调整，并使晶棒与料板完全固化粘接，安全可控，定位配合精准，结构设计合理，空间利用率高，与料座和料板的尺寸和形状无关，适普性广，粘接效果好，工作效率高。
一种晶棒粘接固定整形装置设有生产线

[实用新型]一种晶棒定向粘棒装置-CN202221297105.4有效
发明人：徐永亮;钱超;姜恒;周波 -专利权人：苏州恒嘉晶体材料有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本申请涉及定向粘棒技术领域，具体而言，涉及一种晶棒定向粘棒装置，一定程度上可以解决晶棒水平位晶向角度和垂直位晶向角度的调节需要在两个不同部件上完成，并且需要加工树脂板补偿垂直位晶向角度的问题。晶棒定向粘棒装置包括晶棒、树脂板、晶托、角度测量机构、显示机构、测量平台；晶棒与树脂板连接；树脂板与晶托连接；晶托与测量平台连接；角度测量机构设置在晶棒的一端，角度测量机构用于测量晶棒的晶向角度，显示机构与角度测量机构连接，显示机构用于显示晶棒的晶向角度。
一种定向装置

[发明专利]晶棒粘接定位夹具及晶棒粘接方法-CN201710427168.4有效
发明人：董国樑;卓珍珍;邢建龙;张治国;平洛 -专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明公开的晶棒粘接定位夹具，用于定位晶托和晶棒，包括第一定位组件和连接于第一定位组件的第二定位组件，第一定位组件包括两个用于定位晶托两端的定位臂，第二定位组件包括一个定位杆和连接于定位杆两端的两个夹持臂，定位杆用于从晶棒的侧面支撑晶棒，两个夹持臂与两个定位臂相对应，夹持臂夹持所述晶棒的两端。本发明公开的晶棒粘胶方法，包括步骤：提供待粘接的晶托和晶棒；利用定位臂对晶托进行定位；利用定位杆对晶棒的侧面进行定位，利用夹持臂对晶棒的端面进行夹持。本发明的晶棒粘接定位夹具及晶棒粘胶方法解决了现有的晶棒粘接定位器不具有流动性，粘胶过程，作业效率低下、粘接精度不稳定的问题。
晶棒粘接定位夹具方法

[实用新型]一种用于粘接晶棒的装置-CN202221521345.8有效
发明人：陈光林 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一用于粘接晶棒的装置，所述装置包括：用于粘接所述晶棒的粘接板；支撑在所述粘接板底面的支撑台；用于驱动所述支撑台在水平面内旋转的旋转轴；位于所述粘接板上方的两根滚轴，所述两根滚轴平行设置，所述晶棒以与所述两根滚轴平行的方式支承在所述两根滚轴上并且借助于所述两根滚轴的转动而绕自身的纵向轴线相对于所述粘接板转动；用于获取所述晶棒的实际几何轴心的感应器单元，基于所述实际几何轴心补偿因所述晶棒的几何形状差异引起的晶棒粘接偏差通过感应器单元获取晶棒的实际几何轴心的位置，并以此为依据调整所述晶棒的晶向，补偿因晶棒的几何形状差异引起的粘接偏差。
一种用于粘接晶棒装置

[实用新型]一种智能单多晶硅棒检配粘系统-CN202020084053.7有效
发明人：张顼;朱佰庆;仇健;李璐;邢旭;王鹏;李贤东 -专利权人：长治高测新材料科技有限公司
申请日： 2020-01-15 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种智能单多晶硅棒检配粘系统，包括自动粘棒模块、自动配棒截断模块、晶棒自动检验模块以及自动仓储模块；在所述自动粘棒模块、自动配棒截断模块、晶棒自动检验模块和自动仓储模块之间设有辅助输送模块本实用新型解决晶棒自动检验、配棒自动化、粘棒自动化、上下棒自动化，实现粘棒车间全流程自动化，减少人为因素造成的损耗，降低企业生产成本。
一种智能多晶硅棒检配粘系统

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