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- [实用新型]一种12吋晶圆片摆臂固晶装置-CN202120520164.2有效
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陈能强
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无锡昌鼎电子有限公司
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2021-03-11
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2021-09-28
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H01L21/677
- 本实用新型公开一种12吋晶圆片摆臂固晶装置，包括晶圆平台(7)、蓝膜放置及旋转机构、顶针平台、旋转支撑座，所述晶圆平台(7)、蓝膜放置及旋转机构下方设置有顶针平台，所述晶圆平台(7)上固定安装有位于晶环主座(1)的晶环臂(2)，所述晶环臂(2)与第一晶环座(8)通过螺钉固定连接，所述晶环臂(2)下方安装有步进电机(5)，所述步进电机(5)输出轴穿过晶环臂(2)，所述步进电机输出轴上传动连接有皮带轮(10)，所述皮带轮(10)通过皮带(11)与晶环座齿轮传动连接，所述晶环座齿轮上安装有第二晶环座(3)，第二晶环座(3)上内套接有晶圆环(4)。
- 一种12吋晶圆片摆臂固晶装置
- [发明专利]陶瓷晶圆测试座及晶圆测试机-CN202210493190.X在审
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顾培东;张彤
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上海捷策创电子科技有限公司
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2022-05-07
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2022-08-16
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G01R1/04
- 本发明属于芯片测试技术领域，公开了一种陶瓷晶圆测试座及晶圆测试机，陶瓷晶圆测试座包括：测试座主体和弹簧探针。测试座主体由陶瓷材料制成，测试座主体包括上测试座、下测试座以及夹设在上测试座和下测试座之间的中测试座，测试座主体上还设置有安装孔；弹簧探针设置于安装孔内，弹簧探针被用于与晶圆引脚对接。通过将测试座主体分设成上测试座、中测试座和下测试座三层，分别打孔加工，以减小单次钻孔深度，降低加工难度。缓解了现有技术中晶圆测试座使用硬塑材料平整度不高、绝缘性差，而陶瓷材料加工测试座难度高的技术问题，提供了一种高平整度的陶瓷晶圆测试座，降低探针与晶圆对接时损坏晶圆的风险，提高晶圆测试的效率。
- 陶瓷测试
- [实用新型]新型笼式悬臂桨装置-CN202221992376.1有效
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王强;周勇;王毅
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扬州扬杰电子科技股份有限公司
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2022-07-29
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2022-10-18
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C30B31/14
- 包括：悬臂座，所述悬臂座通过旋转电机驱动旋转；晶圆座，所述晶圆座的一端与悬臂座的端部固定连接，并设有晶圆放置口；所述晶圆座内设有若干与晶圆适配的放置位；和限位杆，所述限位杆与晶圆座相适配，形成与晶圆适配的限位腔；所述限位杆与悬臂座可拆卸固定连接。具体的，还包括封板；所述封板固定设置在所述晶圆座的另一端。具体的，所述晶圆座至少包括两个定位杆；所述定位杆呈杆状，固定设置在所述悬臂座的端部；所述定位杆上设有若干均布设置的放置槽。本实用新型具有结构紧凑、提高晶圆沉积均匀性等特点。
- 新型悬臂装置
- [实用新型]一种晶圆强度测试机-CN202223514189.5有效
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贾怀宇;司建立;辛宝川;张爱国
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北京三禾泰达技术有限公司;贾怀宇
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2022-12-28
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2023-05-02
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G01N3/04
- 本实用新型公开了一种晶圆强度测试机，包括底座、晶圆放置座、晶圆固定组件、移动组件、支架、位置调节组件、固定架、气缸、安装座和晶圆强度检测探针，所述移动组件设于底座上，所述晶圆放置座设于移动组件上，所述晶圆固定组件设于晶圆放置座上，所述支架设于底座上，所述位置调节组件设于支架上，所述固定架设于位置调节组件上，所述气缸设于固定架上，所述安装座设于气缸的输出轴上，所述晶圆强度检测探针设于安装座上。本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体是提供了一种便于对晶圆进行固定，能满足不同规格晶圆的固定需求，便于对晶圆的不同位置进行固定的晶圆强度测试机。
- 一种强度测试
- [实用新型]一种晶舟转换装置-CN201921144099.7有效
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凌永康;张勇;孙国标
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江苏壹度科技股份有限公司
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2019-07-21
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2020-03-17
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H01L21/677
- 本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶舟转换装置，包括底板，底板的顶面上设置有若干限位座，限位座的一侧端面呈弧面状，限位座的弧形面上设有凸条，其中位于前端的限位座固定在底板上，位于后端的限位座固定在滑动板上，滑动板与底板滑动连接，底板的前端滑动连接有用于推动晶圆的转移装置，晶舟的侧表面处设有与凸条位置相对应的凹槽。该晶舟转换装置，通过设置在底板上的限位座，使装有晶圆的晶舟插接到被固定的一对限位座上、空置的晶舟插接到能够跟随滑动板进行移动的限位座上，使得晶舟上的晶圆在转换时，限位座对晶舟的侧向移动进行限位，防止晶舟在转换晶圆时出现偏移
- 一种转换装置
- [实用新型]一种纳米压印机基片定位装置-CN202121016555.7有效
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不公告发明人
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常熟埃眸科技有限公司
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2021-05-13
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2021-11-26
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G03F7/00
- 本实用新型公开了一种纳米压印机基片定位装置，包括底板、环形晶圆座和丝杆座，还包括螺纹杆、弧形托块和光刻镜头座，所述底板顶部设有环形晶圆座，所述光刻镜头座设置于环形晶圆座顶部，所述环形晶圆座内设有圆形支撑块，所述环形晶圆座与圆形支撑块之间底部通过螺栓安装有圆形玻璃片，所述圆形玻璃片顶部两侧且位于环形晶圆座与圆形支撑块之间设有丝杆座，所述丝杆座两端分别通过螺栓与环形晶圆座和圆形支撑块安装连接，所述丝杆座顶部均设有弧形托块整体纳米压印机基片定位装置使用稳定高效，可助于人员对多种规格的晶圆基片进行支撑定位，具有良好的位置校正部件，助于晶圆基片加工品质更高，具有较高的实用性。
- 一种纳米压印机基片定位装置
- [实用新型]直驱固晶焊头机构-CN201120469687.5有效
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梁国康;梁国城;唐军成;卢炳昌;王燕
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先进光电器材（深圳）有限公司
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2011-11-23
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2012-07-11
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H01L21/00
- 本实用新型公开一种直驱固晶焊头机构，包括固晶臂及用于驱动所述固晶臂的驱动机构，所述驱动机构包括旋转电机、基板、Z向电机、Z向电机座、偏心轴、连杆、直线导轨、交叉滚子导轨、Z向连接轴、轴座、交叉滚子导轨座、固晶臂座；固晶臂固定安装于固晶臂座上，固晶臂座通过交叉滚子导轨安装于交叉滚子导轨座上，固晶臂座还与Z向连接轴固定连接；旋转电机带动交叉滚子导轨座旋转从而驱动固晶臂旋转，Z向电机的旋转运动经偏心轴和连杆带动Z向连接轴上下运动从而实现固晶臂的上下运动。本实用新型采用直接驱动的方式，电机负载小，可以实现固晶臂的高速度、高精度位置控制，并且该直驱固晶焊头机构的结构件少，组装简单。
- 直驱固晶焊头机构
- [发明专利]一种管座芯片共晶装置-CN202111336080.4在审
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俞韶军;范思雨;步晨嘉;付昭辉
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浙江辛帝亚自动化科技有限公司
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2021-11-12
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2022-01-28
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H01L21/68
- 本发明公开了一种管座芯片共晶装置，包括底座、共晶台和控制系统，所述共晶台下方设有加热座，加热座内设有加热棒，用于加热共晶台，还包括氮气加热装置、TO管座定位夹取装置和顶杆定位装置；所述TO管座定位夹取装置包括管座吸嘴、手指夹片、导轨滑块和气缸，所述手指夹片固定在导轨滑块两侧，通过气缸实现水平移动，所述管座吸嘴设置于手指夹片中间，通过吸嘴安装座固定，并连接气管接头，外接气源；所述氮气加热装置设置于共晶台一侧，包括氮气加热组件和共晶台罩本发明解决了现有多次夹取造成管座表面划痕多而深的问题。且在共晶台上方设置氮气加热装置，保证共晶温度的稳定性，共晶效果好，管座芯片共晶成品达到品质要求。
- 一种芯片装置
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