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[发明专利]晶圆架-CN201810869004.1在审
发明人：卢芳万 -专利权人：奇景光电股份有限公司
申请日： 2018-08-02 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种晶圆架，包括一对支撑板、多个支架以及多个支撑件。支撑板彼此对向设置。支架设置于支撑板之间，并连接支撑板，以在支撑板之间构成容置空间。本发明提供的晶圆架藉由复合材料的组合同时兼具实用性与保护性。
支撑板支撑件支架连接支撑板对向设置聚合材料容置空间支架设置复合材料晶圆圆架种晶

[实用新型]晶圆存储盒-CN202320620790.8有效
发明人：邱摩西;何江波;谭文明 -专利权人：义柏应用技术（深圳）有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型属于晶圆片存储及运输技术领域，具体涉及一种晶圆存储盒。晶圆存储盒包括：顶盖，可拆卸连接有弹片架；底盖，能够容置有多种型号的晶圆片架；锁紧组件，设置于晶圆存储盒；当锁紧组件处于锁紧状态时，弹片架抵接于晶圆片架内的晶圆，以实现晶圆片架内的晶圆固定；当锁紧组件处于解锁状态时，弹片架解除抵接于晶圆片架，以实现晶圆片架内的晶圆解除固定；本实用新型实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置，也就是说，晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片，从而增大了晶圆存储盒的使用范围
存储

[发明专利]晶圆盒放置架及晶圆存储柜-CN201811518717.X有效
发明人：权林;林威斌;吴恬辛;陈晓春;祝杰 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2018-12-12 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B65G1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆盒放置架及晶圆存储柜。所述晶圆盒放置架包括固定架和用于放置晶圆盒的防摩擦导轨，所述固定架上设置有至少一个晶圆盒放置区域；所述防摩擦导轨设置于所述晶圆盒放置区域上。本发明的晶圆盒放置架和晶圆存储柜可以有效防止因晶圆盒和放置架之间发生摩擦而产生不锈钢粉末等颗粒污染，可以有效避免晶圆盒的污染，由此可以避免晶圆的污染，提高晶圆的洁净度。
晶圆盒放置存储

[发明专利]晶圆传输装置、设备平台系统及其晶圆传输方法-CN202210944471.2有效
发明人：杨晓晅;叶莹 -专利权人：上海果纳半导体技术有限公司武汉分公司;杨晓晅;上海果纳半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了晶圆传输装置、设备平台系统及其晶圆传输方法，其中晶圆传输装置包括输送机械手、放置架、对准装置和对准机械手。输送机械手位于晶圆装载盒、放置架和晶圆加工设备之间，输送机械手用于将晶圆装载盒内的晶圆搬运至放置架上，并将放置架上对准后的晶圆搬运至晶圆加工设备内。对准机械手位于放置架和对准装置之间，用于在放置架和对准装置之间搬运晶圆。放置架缓存晶圆，各个机械手无需等待，提高了晶圆的传输速度，进而提高了晶圆的生产产能。
传输装置设备平台系统及其方法

[发明专利]一种新型晶圆缺陷检测装置-CN202210347764.2在审
发明人：韩志刚;陈伟 -专利权人：无锡光诺自动化科技有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种新型晶圆缺陷检测装置，包括底座及依次设置在底座上料架、取料装置、晶圆旋转定位装置、晶圆架移动装置、晶圆翻转装置、晶圆缺陷检测装置、打点装置、烘干装置和放料装置；在晶圆架移动装置上设置晶圆架，晶圆放置在晶圆架上。本发明具有方便检测晶圆双面缺陷及对检测缺陷打点标记，同时可对打点标记进行烘干，防止墨迹二次污染晶圆，提高生产效率等优点。
一种新型缺陷检测装置

[实用新型]晶圆转运机构及晶圆加工设备-CN202020890817.1有效
发明人：金浩天 -专利权人：上海众鸿电子科技有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆转运机构和晶圆加工设备，所述晶圆转运机构用于在晶圆传输机构与晶圆处理单元之间转运晶圆，包括，晶圆夹持机构，包括三个相互叠层设置的晶圆夹持组件；转运架体，包括转动调节架和高度调节架，所述高度调节架安装于所述转动调节架，所述晶圆夹持机构安装于所述高度调节架；驱动机构，包括高度驱动组件、转动驱动组件以及水平驱动组件，所述高度驱动组件用于驱动所述晶圆夹持机构沿着所述高度调节架的高度方向移动；所述转动驱动组件用于驱动所述高度调节架带动所述晶圆夹持机构转动；所述水平驱动组件用于驱动所述晶圆夹持机构的三个所述晶圆夹持组件移动。
转运机构加工设备

[发明专利]一种安装晶圆托架的专用工具及其安装方法-CN201210271694.3有效
发明人：姜崴;芦佳 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2012-08-01 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：一种安装晶圆托架专用工具及其安装方法，属于半导体薄膜沉积设备技术领域。主要解决现有的托架上晶圆交换的位置不能准确定位及效率低的技术问题。安装晶圆托架的专用工具，包括晶圆托架安装架，晶圆托架安装架的上面设有安装架把手，安装架把手是通过螺栓将其固定在晶圆托架安装架上的。上述晶圆托架安装架的中心设有定位销，螺栓与晶圆托架安装架螺纹联接。安装方法，先将定位销穿过晶圆安装盘定位保证同心，并固定晶圆安装盘和托架安装架。将托架安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，对准定位之后固定，最后将螺栓拧下来，将托架安装架取下来。使用这种工装安装的晶圆托架既省力方便又可以精确定位晶圆的位置。
一种安装托架专用工具及其方法

[实用新型]晶圆清洗装置-CN201920314257.2有效
发明人：张芳丕;许振洋 -专利权人：顶程国际股份有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆清洗装置，包含槽体、第一晶圆置放架、第二晶圆置放架以及升降装置。槽体具有容置空间。第一晶圆置放架设置在容置空间中，且第一晶圆置放架包含多个第一齿排。第二晶圆置放架设置在容置空间中，且第二晶圆置放架包含多个第二齿排。多个第二齿排与多个第一齿排互相对应且错位。每个第二齿排的位置低于其对应的第一齿排的位置。升降装置连接第二晶圆置放架，配置成驱动第二晶圆置放架相对第一晶圆置放架升降。借此，本实用新型的晶圆清洗装置，可解决晶圆放置在置放架上时，部分晶圆与置放架接触的部分无法清洗到的问题。
置放架晶圆齿排容置空间本实用新型升降装置槽体晶圆清洗装置清洗装置种晶清洗升降错位驱动配置

[实用新型]一种新型晶圆缺陷检测装置-CN202220757902.X有效
发明人：韩志刚;陈伟 -专利权人：无锡光诺自动化科技有限公司
申请日： 2022-04-01 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型晶圆缺陷检测装置，包括底座及依次设置在底座上料架、取料装置、晶圆旋转定位装置、晶圆架移动装置、晶圆翻转装置、晶圆缺陷检测装置、打点装置、烘干装置和放料装置；在晶圆架移动装置上设置晶圆架，晶圆放置在晶圆架上。本实用新型具有方便检测晶圆缺陷及对检测缺陷打点标记，同时可对打点标记进行烘干，防止墨迹二次污染晶圆，提高生产效率等优点。
一种新型缺陷检测装置

[发明专利]晶圆翻转机构和半导体工艺设备-CN202210126080.X在审
发明人：王琳;宋爱军;张朝轩 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆翻转机构，包括驱动模组和多对夹持架，夹持架具有晶圆接触面，且每对夹持架的两个晶圆接触面相对设置；驱动模组能够驱动每对夹持架相互靠近以夹持晶圆或相互远离以便向每对夹持架之间放入晶圆或由每对夹持架之间取出晶圆，驱动模组还能够驱动每对所述夹持架的上下位置关系对调，以使每对夹持架夹持的晶圆由一侧夹持架的晶圆接触面转移至另一侧夹持架的晶圆接触面上。在本发明中，晶圆翻转机构的驱动模组能够驱动多对夹持架夹持晶圆，并同时旋转至每对夹持架的上下位置关系对调，从而实现同时翻转多片晶圆，提高了向工艺腔室传输晶圆的传输效率，提高了半导体工艺设备的产能。
翻转机构半导体工艺设备

[实用新型]一种晶圆片架及晶圆包装-CN202221470353.4有效
发明人：雷艳 -专利权人：天通瑞宏科技有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆包装技术领域，公开了一种晶圆片架及晶圆包装。所述一种晶圆片架包括片架主体，片架主体上设置有多个沿预设方向排布的容置槽和若干凸点组件，每个凸点组件与一个容置槽对应设置。而凸点组件可以对容置槽更精细化标记，使使用者更高效、准确地将晶圆放置在晶圆片架内，减少了晶圆磨损，降低了晶圆破碎的概率。所述一种晶圆包装通过设置上述的晶圆片架使晶圆能更准确地放置在容置槽内，故在将晶圆片架放置在晶圆盒体内时不易挤压晶圆，降低了晶圆破碎的概率。
一种晶圆片架包装

[发明专利]一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法-CN202210824430.X在审
发明人：何永平;杨金;陈若愚;曾桂辉;刘港 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于立式SiC高温炉管设备的晶圆自动传输方法，包括以下步骤：S1、在控制系统中设置参数，以指定晶圆缓存架、舟架中存入的晶圆类型；S2、在片盒中放入晶圆，将片盒放到料台上；S3、根据预设的晶圆类型，通过机械手把晶圆传入对应的晶圆缓存架中；S4、重复步骤S2和S3，将所有晶圆传入到晶圆缓存架中；S5、根据舟架上预设的放片类型，通过机械手依次从晶圆缓存架把晶圆传入舟架；S6、开始工艺，并等待工艺结束；S7、把舟架上的晶圆按先进后出的方式传回到晶圆缓存架；S8、在控制系统中选择需要下料的晶圆，通过机械手从对应的晶圆缓存架上把晶圆传入片盒中，完成下料。
一种用于立式 sic 高温炉管设备自动传输方法

[实用新型]一种安装晶圆托架的专用工具-CN201220376621.6有效
发明人：姜崴;芦佳 -专利权人：沈阳拓荆科技有限公司
申请日： 2012-08-01 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种安装晶圆托架的专用工具，属于半导体薄膜沉积设备技术领域。主要解决现有的托架上晶圆交换的位置不能准确定位及效率低的技术问题。它包括晶圆托架安装架，晶圆托架安装架的上面设有安装架把手，安装架把手是通过螺栓将其固定在晶圆托架安装架上的。上述晶圆托架安装架的中心设有定位销，螺栓与晶圆托架安装架螺纹联接。安装方法，先将定位销穿过晶圆安装盘定位保证同心，并固定晶圆安装盘和托架安装架。将托架安装架放入到真空装载腔的圆形凹槽之中，对准定位之后固定，最后将螺栓拧下来，将托架安装架取下来。该产品结构简单、晶元定位准确及工作效率高。
一种安装托架专用工具

[发明专利]半自动晶圆植球设备-CN201310661568.3有效
发明人：刘劲松;毕秋吉;钟亮 -专利权人：上海微松工业自动化有限公司
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：一种半自动晶圆植球设备，包括底部架台，在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统；晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端，晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上，其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置，晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置本发明采用CCD自动对位，保证了对位的准确性和快速性，可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆，对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。
半自动晶圆植球设备

[实用新型]半自动晶圆植球设备-CN201320804537.4有效
发明人：刘劲松;毕秋吉;钟亮 -专利权人：上海微松工业自动化有限公司
申请日： 2013-12-09 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：一种半自动晶圆植球设备，包括底部架台，在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统；晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端，晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上，其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置，晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置本实用新型采用CCD自动对位，保证了对位的准确性和快速性，可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆，对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。
半自动晶圆植球设备

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