专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆的处理方法-CN202111481507.X在审
  • 石峰;万远涛;廖世容 - 浙江光特科技有限公司
  • 2021-12-06 - 2022-03-22 - H01L21/027
  • 本发明公开了一种晶圆的处理方法,属于晶圆处理技术领域,包括:提供一晶圆;在所述晶圆的上表面涂覆光刻胶;所述晶圆上表面边缘具有至少一个胶区域,去除位于所述胶区域的所述光刻胶;让与所述晶圆贴合;光刻处理;让所述晶圆与所述分离。通过去除胶区域的光刻胶,这样就会在晶圆表面形成台阶差,晶圆边缘与之间就会存在间隙。在光刻后,在晶圆与脱离过程中,外部空气较容易从间隙处进入到贴合的界面处,让晶圆与界面处负压能够正常释放,晶圆与可以很顺利脱离。
  • 一种处理方法
  • [实用新型]一种用于的放装置-CN202122613292.4有效
  • 张伟明;李胜;卢东辉;谭超华 - 合肥清溢光电有限公司
  • 2021-10-28 - 2022-03-22 - G03F1/82
  • 本实用新型涉及半导体光刻制造技术领域,具体涉及一种用于的放装置,包括承重框架,所述承重框架呈凹型结构,其侧边以及中部均设置有导轨,所述导轨上滑动设置有支撑件,多个所述支撑件根据所处位置的不同其形状结构也有相应的变化本实用新型中,本装置为一种电动气动的机械化装置,结构简单实用,旨在以低成本、易操作的方法实现用于不同尺寸的放功能,固定轨道能支撑的四个端角,滑动轨道能支撑的中部,这样放上去后更稳定,减少晃动以及偏移,且使得撬和擦胶时不会松动,降低损坏的风险,提高撬的效率和品质。
  • 一种用于掩膜版撬膜装置
  • [发明专利]巨型版图拆分边界二次曝光模拟及光学近邻修正方法-CN202010213105.0有效
  • 李葆轩;于世瑞 - 上海华力集成电路制造有限公司
  • 2020-03-24 - 2022-08-09 - G03F7/20
  • 本发明提供一种巨型版图拆分边界二次曝光模拟及光学近邻修正方法,提供多个选项进行二次曝光的模型设置,每个选项包含两个层及背景层选项,该两个层分别定义为版图层和除该版图层以及背景层以外的区域;在OPC脚本中进行对应指定;将相邻两个的交叠区域中的亚分辨辅助图形退回至非交叠状态;进行OPC预处理,设置相邻的两个中版图层相互交叠区域的宽度;将导致不收敛的分段进行冻结。采用本发明的巨型版图拆分边界二次曝光模拟及光学近邻修正方法,经OPC修正过后模拟成像验证交叠区域板尺寸变小,修正方法可行。OPC修正后的板尺寸对模型友好且修正过后工艺窗口模拟恶化。
  • 巨型版图拆分边界二次曝光模拟光学近邻修正方法
  • [实用新型]一种双层组件和蒸镀装置-CN201720578925.3有效
  • 赵蓉;金龙 - 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
  • 2017-05-23 - 2018-03-16 - C23C14/04
  • 本实用新型提供一种双层组件和蒸镀装置,涉及显示技术领域,用于使第一和第二之间可以紧密贴合。该组件包括第一、第一框架、第二和第二框架;其中,第一固定在所述第一框架上,在第一框架固定第一的表面上、且未被第一覆盖的区域内设置有第一卡接部;第二固定在第二框架上,在第二框架固定第二的表面上、且未被第二覆盖的区域内设置有第二卡接部;第一框架固定第一的表面与第二框架固定第二的表面相对设置,且第一卡接部与第二卡接部卡合,以便第一和第二相贴合本实用新型用于组件的制造。
  • 一种双层掩膜版组件装置
  • [实用新型]框架,框架和组件-CN201721221479.7有效
  • 李雪萍;黄立为;杨凡;辛燕霞 - 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
  • 2017-09-21 - 2018-03-20 - G03F1/64
  • 本实用新型公开了一种框架,框架和组件。所述框架用于与焊接的位置具有凹陷部,所述凹陷部用于在所述框架和焊接时堆放焊接熔融物。框架和组件,包括框架和;所述框架用于与焊接的位置具有凹陷部,所述凹陷部用于在所述框架和焊接时堆放焊接熔融物;所述与所述框架紧贴,且所述的焊接位置与所述框架的凹陷部至少部分重合;在所述的焊接位置处焊接,所述焊接熔融物形成的焊点位于所述凹陷部及所述焊接形成的孔内,且所述和所述焊接在一起。本实用新型解决了现有的框架无法控制焊接熔融物流动方向的技术问题。
  • 框架掩膜版组件
  • [发明专利]-CN201911290041.8在审
  • 曹杰 - 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
  • 2019-12-16 - 2020-04-07 - G03F1/00
  • 本发明提供一种,其包括至少一组组,组包括第一边缘子、第二边缘子和至少一个中间子;第一边缘子、第二边缘子和中间子的长相同,存在至少两组不同的倍数,使得中间子的宽与之相乘后,与第一边缘子的宽和第二边缘子的宽相加之和,分别与两个不同尺寸的显示面板的长度相同;中间子的长所对应的两条边上均设置有半区,第一边缘子、第二边缘子的长所对应的一条边上设置有半区,半区的尺寸相同。本发明将版设置为多个小尺寸的子,通过子平移,实现大尺寸显示面板的图案化,缓解了现有技术存在制作高成本大尺寸的问题。
  • 掩膜版
  • [发明专利]的处理系统-CN201811321294.2有效
  • 陈林 - 成都中电熊猫显示科技有限公司
  • 2018-11-07 - 2021-03-05 - G02F1/13
  • 本发明提供一种的处理系统,该系统包括:紫外线垂直配向UV2A露光装置、检查装置、处理装置;检查装置分别与UV2A露光装置、处理装置连接;UV2A露光装置,用于获取待选检查装置,用于对待选进行检查,获取多个目标;处理装置,获取每个目标的划痕检查结果,并根据每个目标的划痕检查结果,对每个目标进行处理。本发明提供的的处理系统能够主动获取具有划痕的多个目标,并根据目标的划痕检查结果对进行处理,提高了处理效率。
  • 掩膜版处理系统
  • [发明专利]的射频识别管理系统及方法-CN201910227024.3在审
  • 游聪敏;高丁山 - 芯恩(青岛)集成电路有限公司
  • 2019-03-22 - 2020-10-20 - G06K7/14
  • 本发明提供一种光的射频识别管理系统及方法,所述系统包括:光,在其上设置有光信息标记;光传送盒,在其上设置有光传送盒信息标记;信息读取装置,用于读取光信息标记的信息和光传送盒信息标记的信息;以及处理装置,用于比较所述光信息标记所对应的型号和光传送盒信息标记所对应的型号是否相同;若相同,则对所述光继续执行后续操作,若不相同,则所述光不能执行所述后续操作。上述系统可以在出货前、上机时和制程加工程序中对光的型号进行验证,从而提高光的存取效率,避免光版型号错误带来的各种问题。
  • 光掩膜版射频识别管理系统方法
  • [发明专利]-CN201510014250.5有效
  • 张建国;夏静远 - 深圳清溢光电股份有限公司
  • 2015-01-12 - 2015-04-29 - B32B37/10
  • 本发明属于贴设备领域,尤其涉及一种贴机,旨在解决现有贴机中定位机构与夹具难以适应不同尺寸规格的的技术问题。将用于安装蒙的蒙夹具安装在平台上,框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂,竖直臂与水平臂可夹紧,蒙相面对设置,第一动力组件将安装有蒙的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果,两个压杆间距可调,适应不同尺寸规格的,克服了在对不同尺寸规格的进行贴付蒙时需要更换对应的定位机构与夹具的麻烦,节省了制作多套定位机构与夹具的成本。
  • 贴膜机

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