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[发明专利]光学量测方法-CN201410505496.8有效
发明人：蔡博修;黄怡 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种光学量测方法，包括：获得待测光学散射光谱；获得与待测光学散射光谱匹配的多个标准光学散射光谱；提供对空白晶圆进行光斑照射所得到的空白光学散射光谱，将每个标准光学散射光谱与空白光学散射光谱进行叠加，对应每个标准光学散射光谱得到多个叠加光学散射光谱；将待测光学散射光谱与所有的叠加光学散射光谱进行第二次匹配，获得多个第二匹配度；若所有第二匹配度均小于所有第一匹配度，输出匹配度最高的标准光学散射光谱对应的标准结构参数；若至少一第二匹配度大于第一匹配度
光学方法

[发明专利]基于背散射光谱技术在线检测牛奶脂肪浓度的方法及系统-CN202210436601.1在审
发明人：武志翔;孔锤锐;邓琥;屈薇薇;刘泉澄;熊亮;尚丽平 -专利权人：西南科技大学
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于背散射光谱技术在线检测牛奶脂肪浓度的方法及系统，属于光电检测技术领域。在检测时，利用搭建的系统获取待检测牛奶对应的背散射光谱，并根据背散射光谱确定背散射光强度，以背散射光强度作为输入，利用浓度模型得到待检测牛奶的脂肪浓度，从而能够基于背散射光谱技术对牛奶中的脂肪浓度进行直接
基于散射光谱技术在线检测牛奶脂肪浓度方法系统

[发明专利]一种用于样品组分定量分析的装置及方法-CN201410707332.3有效
发明人：沈嘉祺;孙文剑 -专利权人：岛津分析技术研发(上海)有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明提供用于获取喇曼散射光谱的装置及方法，装置包括：产生激发光束的激发光源；激发光光路，将激发光束导向待分析样品以产生喇曼散射光；收集喇曼散射光的散射光收集光路；检测装置，用于接收对应各检测频率或子频段的喇曼散射光信号并转换成电信号以分析；连接散射光收集光路和检测装置的一个或多个色散装置，用于导入散射光收集光路收集的喇曼散射光形成喇曼散射光谱；至少一个色散装置配有空间光调制器，空间光调制器在所在色散装置形成的喇曼散射光谱中选择对应不同的检测频率或子频段的空间部分并逐次导向检测装置检测，其中，喇曼散射光谱的部分或全部为反斯托克斯光谱。采用本发明可以检测反斯托克斯喇曼光谱用于样品组分定量分析。
一种用于获取散射光谱装置方法

[发明专利]一种高分辨率散射光谱颗粒粒径测量方法和系统-CN202210897444.4在审
发明人：黄梅珍;王志辉;刘天元;于新娜 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本发明提供一种高分辨率散射光谱颗粒粒径测量方法和系统，该方法包括：基于Mie散射理论，引入角散射效率因子对待测颗粒的散射光谱进行模拟，根据散射光谱中谱峰位移与颗粒粒径和散射角的关系，选取所要观测的散射谱峰和散射角度；根据散射光谱中谱峰位移与颗粒粒径和散射角的关系，建立谱峰峰值波长与颗粒粒径的关系作为定标模型；测量待测颗粒的散射光谱，并利用所述定标模型确定待测颗粒粒径。本发明只需对测量的散射光谱进行谱峰定位即可实现粒径测量，数据处理简便，且具有极高的测量分辨率。
一种高分辨率散射光谱颗粒粒径测量方法系统

[发明专利]实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法-CN201910374496.1有效
发明人：丁洪斌;王勇;李聪;冯春雷;石劼霖 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-05-07 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及低温等离子体诊断技术领域，提供一种实时自动分析低温等离子体激光汤姆逊散射诊断光谱方法，包括：步骤1，采集并获取光谱数据，所述光谱数据包括汤姆逊散射光谱、转动拉曼散射光谱、等离子体辐射背景光谱和强度校准系数；步骤2，对获取的光谱数据进行预处理；步骤3，基于最小二乘法，采用高斯函数对激光汤姆逊散射光谱进行理论拟合；步骤4，对激光汤姆逊散射光谱强度进行绝对校准；步骤5，基于最小二乘法，采用转动拉曼散射公式对转动拉曼散射光谱进行理论拟合本发明能够快速地获取低温等离子体电子温度和电子密度，有效地提高激光汤姆逊散射光谱数据分析的准确性和效率。
实时自动分析低温等离子体激光汤姆散射诊断光谱方法

[实用新型]一种红外散射光谱传感器监测装置-CN202020052500.0有效
发明人：李智强 -专利权人：深圳一目科技有限公司
申请日： 2020-01-10 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： G01N21/49 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种红外散射光谱传感器监测装置，包括石英比色皿(1)、光源接收器(2)、红外散射光谱传感器(4)、主控制单元(5)以及待检水区域(6)，所述光源接收器(2)、红外散射光谱传感器(4)分别与主控制单元(5)连接，所述红外散射光谱传感器(4)与光源接收器(2)呈垂直设置，所述红外散射光谱传感器(4)产生的红外光线在待检水区域(6)散射后进入光源接收器(2)内，本实用新型采用红外散射光谱传感器(4)照射在待检测水体上，通过水体中的颗粒物散射红外光进入到光源接收器(2)中，其采集的数据精确。
一种红外散射光谱传感器监测装置

[发明专利]基于时间域频率域压制杂散光的太赫兹拉曼光谱检测方法-CN201910274695.5在审
发明人：丁洪斌;赵亚锐;冯春雷;石劼霖;吴鼎 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明涉及光谱检测技术领域，提供一种基于时间域和频率域压制杂散光的太赫兹拉曼光谱检测方法，包括：步骤1，运行太赫兹拉曼光谱系统，利用激发光源产生的激光与样品相互作用激发产生散射光，并收集部分散射光；步骤2，滤除散射光中与激发激光相同频率的瑞利散射成分，保留与激发激光不同频率的太赫兹拉曼散射成分；步骤3，探测滤除瑞利杂散光后的散射光，并基于门开关技术压制散射光信号的时域噪声；步骤4，将散射光信号进行分光，并探测分光后的散射光信号，得到能够同时探测斯托克斯光谱线和反斯托克斯光谱线的高信噪比太赫兹拉曼光谱。本发明分别从时间域和频率域压制杂散光，得到可用的高信噪比太赫兹拉曼光谱。
散射光杂散光散射光信号压制频率域时间域光谱线拉曼光谱检测激光探测拉曼光谱分光高信滤除激发光谱检测技术拉曼光谱系统激发光源拉曼散射瑞利散射时域噪声门开关可用瑞利保留

[发明专利]基于贝叶斯神经网络的偏振散射光谱细胞核尺寸预测方法-CN202210913693.8在审
发明人：穆廷魁;阿卜杜萨拉木·图尼亚孜 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明涉及基于偏振散射光谱技术与贝叶斯深度学习技术相结合的细胞核尺寸预测方法，通过测量病变组织单次散射光谱，利用训练好的贝叶斯神经网络就对输入的单次散射光谱进行预测，可以获取组织的细胞核大小。本发明包括以下步骤：单次散射光谱物理模型的建立，单次散射光谱训练集的生成，构建贝叶斯神经网络，用生成的单次散射光谱训练集对神经网络进行训练，评估模型；用训练好的贝叶斯网络模型对待测样品的单次散射光谱进行预测
基于贝叶斯神经网络偏振散射光谱细胞核尺寸预测方法

[发明专利]激光光散射-拉曼光谱联用装置-CN201110420755.3无效
发明人：黄笃之 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光光散射-拉曼光谱联用装置。它包括在激光激发样品的测试激发光路中设置90度、180度和小角度光散射光路，90、180和小角度激发样品的散射光经成像透镜和瑞利光滤光片入光谱仪，光谱仪扫描纪录光谱得到拉曼光谱；90、180和小角度激发样品的散射光经过光阑，再经成像透镜入光谱仪，控制光谱仪扫描到激光激发波长处，调节狭缝宽度只让波长为激光激发波长的散射光通过，进行光子计数测量和光子相关散射测量，进行激光光散射-拉曼光谱联用；实现光散射光子相关谱和拉曼光谱联合测量分析物质结构和特性本发明克服了传统拉曼光谱仪测试方法单一性，拓展了激光拉曼光谱仪的使用范围。
激光散射光谱联用装置

[发明专利]一种线形聚焦拉曼散射探测头-CN201410776558.9在审
发明人：汤冬云;刘玉龙;张炜;陈昭明;方绍熙;张华;谢婉谊;何石轩;王雅冠;刘崇武 -专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明公开了一种线形聚焦拉曼散射探测头，包括激光传导光纤2、线形柱面镜透镜组3、散射光收集透镜组5、窄带阻高通滤光片6、平行光会聚透镜组7和散射光传导光纤8，激光传导光纤2将激光耦合到线形柱面镜透镜组3经线形柱面镜透镜组形成平行线形激光，线形激光经反射或会聚到样品上后产生拉曼散射光，散射光收集透镜组5收集来自样品表面的散射光，散射光经窄带阻高通滤光片6进入到平行光会聚透镜组7耦合到散射光传导光纤中。本发明将拉曼光谱导入到光谱仪狭缝前，形成线状散射光照射到光谱仪的入射狭缝上并与入射狭缝重合，大大地增加了拉曼光谱的入射效率，提高了便携式拉曼光谱仪的灵敏度。
一种线形聚焦散射探测

[发明专利]大气气溶胶颗粒物探测激光雷达及反演方法-CN201610968340.2有效
发明人：林鑫;李发泉;李亚娟;程学武;杨勇;刘林美;陈振威;宋沙磊;夏媛;武魁军;龚顺生 -专利权人：中国科学院武汉物理与数学研究所
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： G01S17/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种大气气溶胶颗粒物探测激光雷达及反演方法，该激光雷达由发射激光单元（1）、接收望远镜（2）、接收光纤（3）、信号检测单元（4）和信号处理单元（5）组成；采用高分辨光谱检测方法，测得激光激发大气分子产生的拉曼散射光谱信号，以及激发大气气溶胶颗粒物和大气分子上产生的米‑瑞利散射光谱信号，利用拉曼散射光谱与瑞利散射光谱在回波强度上成正比的特点，从米‑瑞利散射光谱信号中定量扣除由大气分子产生的瑞利散射光谱，获得只有大气气溶胶颗粒物的信号由于本发明增加了拉曼散射通道对低空回波信号的校正，消除低空米散射中瑞利散射造成的影响，具有提高大气气溶胶颗粒物探测精度的优点。
大气气溶胶颗粒物瑞利散射大气分子光谱信号拉曼散射反演光谱探测激光雷达信号处理单元信号检测单元高分辨光谱接收望远镜回波信号激光单元激光激发激光雷达接收光纤散射回波校正探测扣除发射激发检测

[发明专利]可编程太阳前向消光和小角散射光谱探测系统及探测方法-CN202210342208.6有效
发明人：段民征;毕永恒;王一楠 -专利权人：中国科学院大气物理研究所
申请日： 2022-03-31 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明提供一种可编程太阳前向消光和小角散射光谱探测系统及探测方法，前向消光‑小角散射光谱仪系统安装在二维跟踪转台上，前向消光‑小角散射光谱仪系统、二维跟踪转台通过电源和数据线与计算机相连；计算机根据站点位置和时间计算太阳方位角和仰角，并传递给二维跟踪转台，使前向消光‑小角散射光谱仪系统对准太阳，并采集太阳前向消光光谱数据，小角散射光谱数据，并将所采集的数据、时间和姿态信息存储于计算机内。本发明可同时实现太阳前向消光和高分辨小角散射光谱的探测技术，光谱范围和分辨率可通过编程实现程序控制和调整。利用这一设计可同时实现前向消光、小角散射的光谱探测。
可编程太阳光和小角散射光谱探测系统方法

[实用新型]激光光散射—拉曼光谱联用装置-CN201120526103.3有效
发明人：黄笃之 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2012-10-31 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光光散射-拉曼光谱联用装置。它包括在激光激发样品的测试激发光路中设置90度、180度和小角度光散射光路，90、180和小角度激发样品的散射光经成像透镜和瑞利光滤光片入光谱仪，光谱仪扫描纪录光谱得到拉曼光谱；90、180和小角度激发样品的散射光经过光阑，再经成像透镜入光谱仪，控制光谱仪扫描到激光激发波长处，调节狭缝宽度只让波长为激光激发波长的散射光通过，进行光子计数测量和光子相关散射测量，进行激光光散射-拉曼光谱联用；实现光散射光子相关谱和拉曼光谱联合测量分析物质结构和特性本实用新型克服了传统拉曼光谱仪测试方法单一性，拓展了激光拉曼光谱仪的使用范围。
激光散射光谱联用装置

[发明专利]拉曼光谱装置-CN202011431398.6在审
发明人：缪同群 -专利权人：上海新产业光电技术有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明提供了一种结构简单、设计合理、使用方便的拉曼光谱装置。一种拉曼光谱装置，包括激光器、扩束准直镜头、第一带通滤光片、汇聚镜头、第二带通滤光片以及光谱仪，所述激光器发出激光，所述扩束准直镜头对所述激光进行准直，所述第一带通滤光片位于所述激光的光路上，纯化所述激光，所述汇聚镜头将激光聚焦到待测样品激发拉曼散射光，并将所述拉曼散射光进行准直，所述第一带通滤光片对所述汇聚镜头准直后的所述拉曼散射光进行过滤，去除所述拉曼散射光中的瑞利散射光，所述第二带通滤光片对所述拉曼散射光中的瑞利散射光进行二次去除，并将所述拉曼散射光汇聚入所述光谱仪的入口处，所述光谱仪收集拉曼散射光，生成拉曼信号。
光谱装置

[发明专利]拉曼散射光谱的测量装置及拉曼散射光谱仪-CN201510394150.X有效
发明人：韩德俊;王慎远;苗泉龙 -专利权人：北京师范大学
申请日： 2015-07-07 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G01J3/44 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种拉曼散射光谱的测量装置及拉曼散射光谱仪，其中，该装置包括：脉冲激光器发射出的一路激光激发样品产生拉曼散射光信号；拉曼散射光路将拉曼散射光信号传输到光栅单色仪；光栅单色仪将拉曼散射光信号传输给信号光探测器；脉冲激光器发射另一路激光至参考光探测器，参考光探测器根据激光输出拉曼散射事件的计时开始信号；信号光探测器在以计时开始信号为起始的预设时间段内，对拉曼散射光信号的每个光脉冲所包含的光子数进行精确计数测量，光探测器为硅光电倍增器；光谱生成装置根据拉曼散射光信号所有光脉冲的光子数生成拉曼散射光谱。
拉曼散射拉曼散射光光谱参考光探测器计时开始信号光栅单色仪脉冲激光器光谱仪测量装置信号传输光脉冲光子数信号光探测器激光硅光电倍增器激光激发样品拉曼散射光路散射光信号时间分辨率预设时间段光探测器计数效率生成装置发射信噪比对拉光子测量输出检测

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