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[发明专利]一种晶圆镀液搅拌机构-CN202210611606.3在审
发明人：吴娖;刘盈楹;陈苏伟;高津平;康国雨 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C25D21/10 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆生产加工技术领域，具体而言，涉及一种晶圆镀液搅拌机构，包括驱动机构和搅拌组件，所述驱动机构与所述搅拌组件连接；所述搅拌组件包括连接件和搅拌盘，所述搅拌盘通过所述连接件与所述驱动机构连接，所述搅拌盘位于电镀腔内的镀液中，所述驱动机构用于驱动所述搅拌盘对电镀腔内的镀液进行搅拌以提高晶圆上硅穿孔的镀液填充良率；本申请的晶圆位于电镀腔的镀液中，搅拌组件的搅拌盘也位于电镀腔的镀液中，通过驱动机构驱动搅拌盘移动，对镀液进行搅拌，能够有效提高镀液的搅拌均匀性和晶圆硅通孔内的镀液交换速率，从而有效提高硅通孔镀制的填充良率和镀层厚度均匀性。
一种晶圆镀液搅拌机构

[发明专利]镀覆装置-CN201010144713.7有效
发明人：栗山文夫;竹村隆;斋藤信利;木村诚章;黄海冷 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2004-03-09 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种镀覆装置，其包括：用于保持镀液的镀槽；和具有搅拌叶片的搅拌机构，所述搅拌叶片浸在镀槽的镀液中并且布置在面对工件的待镀表面的位置，所述搅拌叶片可平行于工件的待镀表面往复运动以搅拌镀液；其中所述搅拌叶片具有相对于工件的待镀表面的一个角度，当所述搅拌叶片的运动方向变化时该角度可变，从而使与待镀表面接触的镀液的流动更加均匀和有效，在待镀表面上形成膜厚一致性更好的镀膜。
镀覆装置

[发明专利]一种铜包钨钨铜复合粉的制备方法-CN201010607044.2无效
发明人：林涛;史萍萍;邵慧萍;王楠;郭志猛 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2010-12-27 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： B22F1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种铜包钨钨铜复合粉的制备方法，包括：配制镀液并将装镀液容器采用恒温水浴加热，将钨粉酸洗、碱洗，将钨粉加入镀液中，对镀液采用机械搅拌加空气搅拌的复合搅拌，将镀好的复合粉清洗、干燥、退火。本发明的制备方法的优势在于采用机械搅拌和空气搅拌的复合搅拌，从而在工业化大量生产过程中能使镀速增快、镀层加厚、铜含量调节范围宽，并能使镀液保持稳定。
一种铜包钨钨铜复合制备方法

[实用新型]一种在线连续补加镀液化工原料及温控装置-CN202222893251.X有效
发明人：郭有宏;陈玉宝;陶冉;于胜;舒秀萍;方珊珊;邓建明;张金兰 -专利权人：安徽奋进环保科技有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C25D21/14 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种在线连续补加镀液化工原料及温控装置，多个镀槽的镀液通过溢流管溢流循环到线外加药搅拌槽，其中可向加药搅拌槽添加化工原材料，电动搅拌机搅拌溶解化工原材料，加药搅拌槽镀液通过溢流管溢流到温控槽内部，温控槽镀液通过溢流管溢流到补液槽内部，补液槽镀液通过溢流管溢流到蓄水槽，补液槽和蓄水槽内的镀液通过循环泵返回到多个镀槽内，实现了在线连续补加镀液化工原料；电动搅拌机搅拌溶解化工材料，使化工材料均匀溶解于水中，避免了零件表面电镀不均匀的问题；通过冷却水进口和冷却水出口对冷却钛管内循环输入冷却水或蒸汽，实现镀液冷却和加热，实现了镀液的控温。
一种在线连续补加镀液化料及温控装置

[实用新型]一种助镀液循环再生配置机构-CN202220545231.0有效
发明人：韩雷洋 -专利权人：诺恩（天津）照明科技有限公司
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：本实用新型的目的是提供一种助镀液循环再生配置机构，其特征在于：包括助镀装置、助镀液提取管、助镀液提取泵、搅拌过滤罐、沉淀池、纯化过滤提取管、纯化过滤提取泵、膜过滤装置、回流导管和回流抽送泵，搅拌过滤罐设有沉积筛滤层、滤网和多个引流柱，沉淀池设有磁力板和液位计，膜过滤装置设有止回阀；整套设施利用搅拌操作来对使用过后的助镀液进行搅拌，让助镀液中的细微杂质颗粒进行悬浮，再通过多层间隙结构的石墨板进行渗透，能够过滤掉助镀液中的大量细微杂质颗粒，并通过磁力沉淀能够吸附掉助镀液中的金属杂质，再利用膜过滤设备使得助镀液达到彻底净化的目的，最后经过管路回流到助镀设备中，实现循环利用，削减了助镀液的成本消耗。
一种助镀液循环再生配置机构

[实用新型]一种镀液添加剂混合装置-CN202120608287.1有效
发明人：杨德高 -专利权人：重庆佰思特表面处理有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B01F7/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀液添加剂混合装置，包括镀液容器和搅拌机构；所述镀液容器上设有多个进料管；所述搅拌机构包括电机、连接盘和搅拌轴，所述电机设置在镀液容器的上方，且输出轴与连接盘相连接，所述搅拌轴设置在镀液容器内上述一种镀液添加剂混合装置，能够一边加入添加剂，一边进行搅拌，既减轻了人工的负担，又加速了混合溶解的速度，提升了生产效率。
一种添加剂混合装置

[发明专利]晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构-CN202011546086.X在审
发明人：王殿;魏宇祥;孟超;杜斌;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌
水平镀膜喷杯中搅拌旋转剪切机构

[发明专利]晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构工作方法-CN202011541032.4在审
发明人：王殿;孟超;常志;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构工作方法，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌
水平镀膜喷杯中搅拌旋转剪切机构工作方法

[实用新型]晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构-CN202023136137.X有效
发明人：王殿;魏宇祥;孟超;杜斌;郝鹏飞 -专利权人：西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所）
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆水平镀膜喷杯中搅拌镀液的旋转剪切机构，解决了现有镀槽结构不合理容易导致晶圆镀膜质量不高的问题。将传统的焊接结构的喷杯的杯体结构，改变为块式组装式结构，通过对块式结构的精准加工，提高了关键配合面的安装精度，将各杯体块，通过密封垫及连接销连接在一起，组成密闭杯体，即减小了杯腔的体积，又提高了阴极与阳极的平行度；在杯腔中设置镀液搅拌从动齿圈，在镀液搅拌从动齿圈的内圆上对称设置两个径向凸块，在径向凸块上分别设置可自转的镀液剪切齿轮，在镀液剪切齿轮上设置镀液剪切叶，通过两个镀液剪切叶的自转，以及两个镀液剪切叶随镀液搅拌从动齿圈的公转，实现对镀液的充分搅拌
水平镀膜喷杯中搅拌旋转剪切机构

[发明专利]一种在吸波材料表面包覆磁性金属薄膜的方法-CN201910855961.3在审
发明人：李茸;李广德;胡宇;贾瑛;刘渊 -专利权人：中国人民解放军火箭军工程大学
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C23C18/36 文献下载
摘要：本发明申请属于材料改性技术领域，具体公开了一种在吸波材料表面包覆磁性金属薄膜的方法，通过镀液A和镀液B完成包覆过程，通过化学镀的方式包覆磁性金属薄膜，所述化学镀包括以下步骤：(1)调节镀液B的pH值至10～12，将镀液B加热至75～95℃；(2)将待包覆材料加入镀液B中，加入过程中对镀液B搅拌，搅拌速度为150～250r/min；(3)保持搅拌，将镀液A滴加入镀液B中，镀液A的滴加速度为20～45d/min
镀液磁性金属薄膜表面包覆吸波材料化学镀包覆包覆材料材料改性均匀性致密性抽滤滴加改性湿粉加热申请

[发明专利]一种胎圈钢丝化学镀液搅拌装置-CN202111244072.7有效
发明人：窦勇;王金武;窦万明;窦衍君;韩晓萍;管玉红;庄春玲;窦燕霞 -专利权人：山东大业股份有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B01F27/90 文献下载
摘要：一种胎圈钢丝化学镀液搅拌装置，本发明属于搅拌装置领域，包括罐体，罐体的顶部开设投料口，罐体的底部开设出料口，罐体内转动安装搅拌管，罐体上设有能够驱动搅拌管转动的驱动电机，搅拌管的外周均匀设有数列搅拌杆，搅拌杆转动安装在搅拌管的外周，搅拌管与搅拌杆之间设有传动装置，被镀液没过的搅拌杆与搅拌管通过传动装置传动连接，搅拌杆能够展开，未被镀液没过的搅拌杆与搅拌管无法通过传动装置传动连接。本发明结构简单，构思巧妙，能够根据被搅拌镀液的多少选择对应数量的搅拌杆随搅拌管转动，且不转动的搅拌杆能够合拢收起，减少对添加物料的阻挡，便于物料顺利进入镀液。
一种钢丝化学搅拌装置

[发明专利]一种用于提高镀层性能的复合镀装置-CN202211214871.4在审
发明人：周海飞;李凤瑞;周正强;王河;谢惠芬;李鹏;张新房;黄世晅;周琼;缪姚军;张利敏;王帅星;李自源;汤翰博;李延伟;周宇通 -专利权人：国网浙江省电力有限公司电力科学研究院;杭州意能电力技术有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于提高镀层性能的复合镀装置。本发明包括镀槽；所述的镀槽包括槽体、镀液、搅拌装置和绝缘球，槽体用于盛放镀液及放置搅拌装置，所述的绝缘球置于镀液中，通过搅拌装置实现间隙搅拌；所述的搅拌装置包括搅拌器和用于控制搅拌器工作的控制系统；所述槽体转角处内壁的横截面呈弧形，可有效缓解复合沉积时微粒在转角处的沉淀，也使得镀液的搅拌更加均匀，从而也有利于微粒在镀层中的均匀分布。
一种用于提高镀层性能复合装置

[发明专利]一种无渣热镀锌或锌铝合金的镀炉及使用方法-CN201910307657.5在审
发明人：徐德贵;章兆俭 -专利权人：安徽省力通稀土钢缆有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： C23C2/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种无渣热镀锌或锌铝合金的镀炉及使用方法，属于无渣镀炉的技术领域。设有镀锅、镀渣搅拌装置、镀前热处理装置和张紧装置，镀锅的内部设有带有镀液回流孔的隔离墙，将镀锅的分隔成热镀区和镀渣熔解区，镀渣熔解区的底面设置有镀渣沟槽，热镀区的底面与镀渣沟槽的夹角设置成10～30度。镀锅的顶面上设有气体保护罩，且与镀液液面之间充有惰性气体保护镀液不被氧化，镀渣搅拌装置设置在镀渣熔解区的顶部气体保护罩上，用于搅拌镀渣沟槽内的镀渣使其镀液主材料回熔至镀液中再次热镀利用。本发明可以有效控制镀渣生成量，同时大大降低镀渣在镀锅底面的堆积量，使热镀材料得到最大利用化，节约镀液的使用成本。
镀液镀锅熔解无渣气体保护罩搅拌装置锌铝合金热镀锌底面惰性气体保护热处理装置夹角设置有效控制张紧装置镀材料堆积量隔离墙回流孔生成量主材料回熔液面分隔节约

[实用新型]一种无渣热镀锌或锌铝合金的镀炉-CN201920519688.2有效
发明人：徐德贵;章兆俭 -专利权人：安徽省力通稀土钢缆有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： C23C2/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种无渣热镀锌或锌铝合金的镀炉，属于无渣镀炉的技术领域。设有镀锅、镀渣搅拌装置、镀前热处理装置和张紧装置，镀锅的内部设有带有镀液回流孔的隔离墙，将镀锅的分隔成热镀区和镀渣熔解区，镀渣熔解区的底面设置有镀渣沟槽，热镀区的底面与镀渣沟槽的夹角设置成10～30度。镀锅的顶面上设有气体保护罩，且与镀液液面之间充有惰性气体保护镀液不被氧化，镀渣搅拌装置设置在镀渣熔解区的顶部气体保护罩上，用于搅拌镀渣沟槽内的镀渣使其镀液主材料回熔至镀液中再次热镀利用。本实用新型可以有效控制镀渣生成量，同时大大降低镀渣在镀锅底面的堆积量，使热镀材料得到最大利用化，节约镀液的使用成本。
镀液镀锅熔解本实用新型气体保护罩搅拌装置底面无渣惰性气体保护热处理装置夹角设置锌铝合金有效控制张紧装置镀材料堆积量隔离墙回流孔热镀锌生成量主材料回熔液面分隔节约

[实用新型]一种镀液搅拌装置-CN202122021190.3有效
发明人：李万鹏;于景南;潘玉和;牛建超 -专利权人：天津沃尔斯科技有限公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B01F27/72 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀液搅拌装置，属于电镀厂配置镀液槽技术领域。一种镀液搅拌装置，包括镀液池，还包括：第一螺旋推进杆、第二螺旋推进杆，转动连接在所述镀液池内，其中，所述第一螺旋推进杆、第二螺旋推进杆之间固定连接，且推进方向相反，用于将两侧的镀液向中间推动；搅拌杆，固定连接在所述第一螺旋推进杆、第二螺旋推进杆上；电机，通过支架安装在所述镀液池的一侧，其中，所述第一螺旋推进杆靠近电机的一端贯穿于镀液池，本实用新型可以对镀液原液与辅料进行充分均匀的混合，解决了现有技术中，通过人工进行搅拌时搅拌不均匀的现象发生
一种搅拌装置

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