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[发明专利]一种掩膜板盒-CN201410206149.5有效
发明人：钱宏伟;金基用;许朝钦;李向峰;孙增标;蔡春月 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2014-05-15 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板盒，包括用于容置掩膜板的盒体结构；及，能够吸附所述盒体结构内的掩膜板表面上的污染颗粒，以清洁掩膜板的清洁机构，所述清洁机构设置于所述盒体结构上。本发明所提供的掩膜板盒上设置有清洁机构，可以不必开启掩膜板盒的盒盖，直接利用其清洁机构进行掩膜板的清洁工作，具有操作简便、清除污染颗粒效率高等优点，同时，可节省大量的人力成本。
一种掩膜板盒

[实用新型]掩膜板包装盒-CN201120363211.3有效
发明人：王玲杰;郭建;史大为;王德帅;沈奇雨 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2011-09-26 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种掩膜板包装盒，为解决现有立式掩膜板包装盒易于造成掩膜板及其表面膜层损伤的缺陷而设计。本实用新型掩膜板包装盒包括相适配的盒盖和盒体，盒体内设置至少三个能共同支撑掩膜板的支撑部。盒体内还设置有限位部，限位部位于支撑部和盒体侧壁之间形成L形结构。盒盖内对应支架的位置设有压块。盒体内设有至少一个固定用凹部；盒盖内对应凹部的位置设有凸块；凸块与凹部相适配；盒体外侧底部边缘设有凸出部。本实用新型掩膜板包装盒方便于工作人员用手或设备抓握、夹持掩膜板，避免掩膜板及其表面膜层的损伤。本实用新型掩膜板包装盒外侧为盒体，有利于保证掩膜板的洁净。
掩膜板包装

[实用新型]掩膜板储存搬送装置-CN201720523676.8有效
发明人：张晨;胡超;詹敏;薛栋 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2017-05-11 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： B65D61/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜板储存搬送装置，其包括掩膜盒，其底面、左右两侧面及后端面均具有可以与磁性元件相互作用的结构件；储存架，具有一个或多个放置空间，掩膜盒放于放置空间内；第一磁性元件，设于放置空间的底部；成对设置的第二磁性元件，分别设于放置空间的左右两侧；以及第三磁性元件，设于放置空间的后端；其中，掩膜盒的底面和左右两侧面分别与第一磁性元件和第二磁性元件保持间隔，与第三磁性元件抵接。上述掩膜板储存搬送装置通过磁力作用，使掩膜盒分别与第一磁性元件和第二磁性元件保持间隔，与第三磁性元件抵接，从而使掩膜盒不会因掩膜板储存搬送装置的震动而抖动或产生摩擦，降低了掩膜盒及掩膜板受损伤的风险。
掩膜板储存装置

[发明专利]掩膜板、构图工艺系统及方法-CN201510703580.5在审
发明人：马国靖;徐长健;王丹;任锦宇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2015-12-23 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板、构图工艺系统及方法，所述掩膜板，包括控制单元和液晶盒。所述控制单元用于根据控制指令控制所述液晶盒呈现预设的掩膜图案；所述控制指令为根据所述预设的掩膜图案确定的控制指令。本发明提供的掩膜板可以根据需要呈现不同的掩膜图案，因此本发明提供的掩膜板实现了一张掩膜板对应需要不同掩膜图案的产品的作用，不但省去了不同掩膜板的设计工作，而且由于不再使用多个掩膜板，因此也节省了掩膜板成本，最重要的是，需要不同掩膜图案的产品型号变更时不需更换掩膜板即可进行紫外光照射，使得掩膜板在其正常使用寿命范围之内不需卸载，工艺操作简单，节省能耗。
掩膜板构图工艺系统方法

[实用新型]掩膜板及构图工艺系统-CN201520835309.2有效
发明人：马国靖;徐长健;王丹;任锦宇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2015-10-26 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩膜板及构图工艺系统，所述掩膜板，包括控制单元和液晶盒。所述控制单元用于根据控制指令控制所述液晶盒呈现预设的掩膜图案；所述控制指令为根据所述预设的掩膜图案确定的控制指令。本实用新型提供的掩膜板可以根据需要呈现不同的掩膜图案，因此本实用新型提供的掩膜板实现了一张掩膜板对应需要不同掩膜图案的产品的作用，不但省去了不同掩膜板的设计工作，而且由于不再使用多个掩膜板，因此也节省了掩膜板成本，最重要的是，需要不同掩膜图案的产品型号变更时不需更换掩膜板即可进行紫外光照射，使得掩膜板在其正常使用寿命范围之内不需卸载，工艺操作简单，节省能耗。
掩膜板构图工艺系统

[发明专利]一种掩膜版-CN201810994585.1有效
发明人：杜建华;强朝辉;王治;关峰;高宇鹏;吕杨;任庆荣;李超;王鑫 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2018-08-27 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜版，涉及加工工艺技术领域。其中，所述掩膜版包括掩膜版盒，以及嵌套在掩膜版盒中的准直透镜组合板。其中，掩膜版盒包括对盒设置的掩膜图案板和第一准直透镜板，第一准直透镜板上的光线准直区域与掩膜图案板上的透光区域位置对应；准直透镜组合板上的光线准直区域可以大于掩膜图案板上的透光区域。在本发明实施例中，掩膜图案板上的透光区域与特定薄膜晶体管的图案对应，准直透镜组合板上的光线准直区域大于掩膜图案板上的透光区域，从而准直透镜组合板可以与不同掩膜图案的掩膜版盒嵌套组合，形成不同的掩膜版，进而能够对不同图案的薄膜晶体管的a‑Si进行区域化激光退火处理，提高了区域化激光退火掩膜版的通用性。
一种掩膜版

[实用新型]掩膜板用运输装置-CN201420143390.3有效
发明人：黎午升 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： B65D85/30 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种掩膜板用运输装置，涉及显示技术领域，该运输装置可较为便捷的打开/闭合，从而较为便于掩膜板的存储、运输、使用。本实用新型实施例提供的一种掩膜板用运输装置，运输装置包括：盒盖、盒体，盒盖与盒体通过枢接件枢接组合；盒体内部底面上设置有用于放置掩膜板的凸台，盒盖内部顶面上设置多个对位突起，对位突起用于在盒盖与盒体对位闭合时将掩膜板固定在凸台上
掩膜板用运输装置

[发明专利]掩膜壳体、掩膜盒、图案转录方法及显示装置的制造方法-CN200710163007.5有效
发明人：井村和久 -专利权人： HOYA株式会社
申请日： 2007-09-28 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： B65D85/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜壳体，该掩膜壳体(1)是一种可运送地收置光掩膜(10)和掩膜盒(100)的掩膜壳体，具备掩膜保持部件(4)和盒保持部件(5)，当从掩膜盒(100)中取出光掩膜(10)时，以光掩膜(10)被设置于掩膜盒(100)的状态取出。
壳体掩膜盒图案转录方法显示装置制造

[发明专利]一种显示面板对盒方法-CN201910258751.6在审
发明人：王金良;王文超;徐旭;宋文亮;唐金波;陈丽雯 -专利权人：福州京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G02F1/1339 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种显示面板对盒方法，该显示面板对盒方法包括：采用UV掩膜板以及遮光带依次对各子曝光区域进行紫外光照射，具体包括：将UV掩膜板与子曝光区域进行对位，使进行紫外光照射时UV掩膜板的遮光区域对子曝光区域的有效显示区域进行遮挡，且UV掩膜板的漏光区域穿过的紫外光对该子曝光区域的封框胶粘结区域进行照射；且采用遮光带对剩余子曝光区域进行遮挡；对UV掩膜板对应的子曝光区域进行紫外光照射至该子曝光区域的封框胶粘结区域的封框胶固化完成该对盒方法并不限定UV掩膜板与显示面板尺寸的对应关系，可采用同一UV掩膜板实现不同尺寸的显示面板的对盒操作，节约了成本。
曝光区域掩膜板显示面板对盒紫外光照射封框胶粘结区域遮光带遮挡有效显示区域漏光区域遮光区域紫外光对位固化照射穿过节约

[实用新型]一种掩膜板存储盒-CN201620816437.7有效
发明人：李晓峰 -专利权人：昆山龙腾光电有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2017-03-08 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜板存储盒，包括盒本体，所述盒本体的顶部沿竖向开设有用于容置掩膜板的容置槽，所述容置槽的内部沿其宽度方向的两侧对称设置有两个竖向滑轨，所述竖向滑轨能够在所述容置槽中沿竖向滑动；两个所述竖向滑轨的相对的内侧分别连接有能够自动夹紧或松开的夹具条，一个所述夹具条对应掩膜板的一侧部边缘；所述夹具条的中部通过旋转机构与所述竖向滑轨的中部可转动连接。该掩膜板存储盒，便于掩膜板的取出，避免损坏其边缘，方便，可靠。
一种掩膜板存储

[发明专利]掩膜板装载系统-CN201810083826.7在审
发明人：陈世喜;王学雷;欧阳昊;仝建军;李伟界;黄伟东;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板装载系统，该方法包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。
掩膜板扫描模块存放盒控制模块存放架装载系统对齐产品良率活动设置曝光显影电连接曝光机识别码容置扫描反馈曝光

[发明专利]光掩膜版的射频识别管理系统及方法-CN201910227024.3在审
发明人：游聪敏;高丁山 -专利权人：芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G06K7/14 文献下载
摘要：本发明提供一种光掩膜版的射频识别管理系统及方法，所述系统包括：光掩膜版，在其上设置有光掩膜版信息标记；光掩膜版传送盒，在其上设置有光掩膜版传送盒信息标记；信息读取装置，用于读取光掩膜版信息标记的信息和光掩膜版传送盒信息标记的信息；以及处理装置，用于比较所述光掩膜版信息标记所对应的型号和光掩膜版传送盒信息标记所对应的型号是否相同；若相同，则对所述光掩膜版继续执行后续操作，若不相同，则所述光掩膜版不能执行所述后续操作。上述系统可以在出货前、上机时和制程加工程序中对光掩膜版的型号进行验证，从而提高光掩膜版的存取效率，避免光掩膜版型号错误带来的各种问题。
光掩膜版射频识别管理系统方法

[实用新型]掩膜版的自动搬送装置-CN201120501691.5有效
发明人：徐哲峰;薛俊 -专利权人：上海华虹NEC电子有限公司
申请日： 2011-12-06 - 公布日： 2012-08-08 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩膜版的自动搬送装置，包括箱体，箱体的平台上并排设置有主存储盒、子存储盒，主存储盒与子存储盒之间设置有检查台；主存储盒的上方活动设置有主存储盒抓手，主存储盒抓手通过其连接端活动设置于主存储盒抓手轨道内；子存储盒的一侧活动设置有子存储盒抓手，子存储盒抓手通过其连接端活动设置于子存储盒抓手轨道内。本实用新型不仅能够实现掩膜版在主存储盒与子存储盒之间的自动搬送，而且能够实现掩膜版在主存储盒或子存储盒与检查台之间的自动搬送；当掩膜版在检查台上时，还能够对检查台上的掩膜板进行颗粒目视检查和颗粒吹扫。
掩膜版自动装置

[实用新型]掩模盒-CN200720067461.6无效
发明人：王跃刚;章磊;周从树;张伟 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-02-13 - 公布日： 2008-03-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种掩模盒，用于放置掩模板，所述掩膜板上形成有图案，该掩膜盒包括盒体、盒盖和位于所述盒体上的用于支撑所述掩模板的支撑部，其中，所述支撑部具有与所述掩膜板接触的接触端，所述接触端与所述图案之间有距离。本实用新型的掩模盒能够减少支撑部对掩模板上图案的磨损，提高掩模板的使用寿命，减少曝光过程中的误差。
掩模盒

[发明专利]光掩膜盒-CN200610026248.0无效
发明人：周正;丁汉有 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-04-29 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光掩膜盒，包括将该光掩膜盒等分隔开的掩膜隔板，数个沿着掩膜排列方向依次连续排列的宽度等于两个掩膜隔板之间距离的相互独立的盖子。通过本发明的光掩膜盒，在进行光掩膜制作过程中，只需拿掉正在制作的光掩膜上面的盖子，不会使其他的光掩膜也同时暴露在空气中，减少了光掩膜制作过程中受尘粒的影响的可能性。可以增加产品的良率，提高生产效率。
光掩膜盒

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