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[实用新型]一种石英晶体振荡器掩膜板的校准装置-CN202020514830.7有效
发明人：黄先日;崔保春;黄唯星 -专利权人：青岛柯锐思德电子科技有限公司
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英晶体振荡器掩膜板的校准装置，包括底板，所述底板顶部一侧设置有定位板，定位板一侧外壁设置有等间距分布的四个限位柱，限位柱截面设置成矩形，限位柱设置有上下分布的上掩膜板和下掩膜板，上掩膜板和下掩膜板与限位柱接触位置开设有卡槽，卡槽的宽度大于限位柱宽度，底板顶部开设有两个限位槽，两个限位槽均设置于下掩膜板的下方，上掩膜板和下掩膜板上均开设有对应的两个通孔，通孔内插接有定位杆。本实用新型将上掩膜板和下掩膜板上的卡槽与限位柱卡和，将待校准上掩膜板和下掩膜板上的卡槽和限位柱卡和，将上掩膜板和下掩膜板向后端推动，使得待校准上掩膜板和下掩膜板与定位柱贴合，从而达到校准的效果。
一种石英晶体振荡器掩膜板校准装置

[发明专利]掩膜装置及其控制方法、镀膜设备-CN202211324750.5在审
发明人：尚鲲鹏;雷克武;伍平生;薛颜同;王岳利 -专利权人：宁德时代新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜装置及其控制方法、镀膜设备，能够解决在基材上镀膜不均匀的问题。本申请实施方式的掩膜装置包括：基座；掩膜板，掩膜板活动地设置在基座上；驱动组件，驱动组件与掩膜板连接，用于驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸。本申请实施方式的掩膜装置中，驱动组件驱动掩膜板运动以调整掩膜板伸出基座的尺寸，从而可以调整掩膜板遮盖镀膜材料的面积，以控制镀膜材料镀在基材上的量，使得在基材上形成的镀膜厚度较均匀。
装置及其控制方法镀膜设备

[发明专利]掩膜板组件、检测膜厚的设备及方法-CN201710232406.6有效
发明人：孙中元;薛金祥 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-04-11 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板组件，所述掩膜板组件包括掩膜板，所述掩膜板包括用于朝向蒸发源的第一表面和用于朝向待沉积件的第二表面，所述掩膜板上形成有图形通孔，其特征在于，所述掩膜板组件还包括可拆卸地设置在所述掩膜板上的测试片，所述测试片避开所述图形通孔，所述测试片设置为当利用所述掩膜板组件进行蒸镀时，蒸镀材料能够沉积在所述测试片上。本发明还提供检测掩膜板组件上蒸镀材料的膜厚的设备及方法。利用所述设备可以方便地检测出掩膜板组件上沉积的蒸镀材料的膜厚，从而可以有效防止沉积在掩膜板组件上的蒸镀材料从掩膜板组件上剥落而对工艺腔室造成污染。
掩膜板蒸镀材料测试片沉积膜厚通孔第二表面第一表面工艺腔室组件包括沉积件检测膜可拆卸蒸发源检测剥落蒸镀避开污染

[发明专利]掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板-CN201711006716.2在审
发明人：苏君海;龚建国;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2017-10-25 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板，掩膜装置包括掩膜组件和掩膜框架，所述掩膜组件包括一掩膜板和一遮挡件；所述掩膜板的边沿与所述掩膜框架连接；所述掩膜板上均匀开设有若干通孔所述遮挡件开设有若干通口；所述遮挡件抵接于所述掩膜板，各所述通口分别对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。掩膜板无需根据不同显示区设置不同的预留区，只需整体进行蚀刻，减少了蚀刻工序，降低了工艺复杂度，掩膜板整体均匀开设通孔，使得掩膜板的各部分的力学性能趋于一致，有效减少形变，能够同时蒸镀不同形状的显示区，提高玻璃基板的利用率
装置及其组件掩膜板

[发明专利]利用功能掩膜板制造封接胶固化用掩膜基板的方法-CN201010241111.3有效
发明人：马群刚 -专利权人：南京中电熊猫液晶显示科技有限公司
申请日： 2010-07-30 - 公布日： 2011-03-16 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：一种利用功能掩膜板制造封接胶固化用掩膜基板的方法，其特征是它包括以下步骤：首先，选择与掩膜基板上的掩膜板尺寸相配的功能掩膜板作为模板；其次，在所述模板的空白处形成与掩膜板一边截图相配的拼接用图案；第三，将带有拼接用图案的功能掩膜板放在拟制备掩膜基板的底板上，采用挡光板将不需要的图案挡住，将功能掩膜板上暴露的图案转移到底板上，再反复通过移动功能掩膜板在底板上的位置和挡光板的位置将暴露的图案转移到底板上，直至拼接形成一个完整的掩膜板；重复第三步的动作，即可在底板上形成所需数量的掩膜板，实现利用功能掩膜板制作整张掩膜基板的目的。本发明可以保证在制成紫外固化封接胶用掩膜基板的同时，节省一张紫外固化封接胶用掩膜板的费用。同时也节省了另外制作这张掩膜板所需要的时间。
利用功能掩膜板制造封接胶固化用掩膜基板方法

[发明专利]一种掩膜装置及掩膜装置与基板的贴合方法-CN202010356403.5在审
发明人：段廷原 -专利权人： TCL华星光电技术有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供一种掩膜装置及掩膜装置与基板的贴合方法，掩膜装置包括掩膜板，掩膜板包括掩膜板框架以及所述掩膜板框架环绕的掩膜区域；掩膜条，围绕掩膜区域设置于掩膜框架上，掩膜条在掩膜板上的投影与掩膜区域不重叠；掩膜板框架对应掩膜条的端部设有通孔；升降机构，设置于掩模版框架上的通孔内；其中，掩膜条的端部焊接在升降机构上。本申请通过在掩膜条的端部焊接升降机构，升降机构位于掩膜板框架通孔内，当掩模版与基板贴合时，升降机构带动掩膜条的端部沿垂直于掩模板框架所在平面朝向远离掩模板框架的方向移动预设距离，使基板与掩膜条紧密贴合。
一种装置贴合方法

[实用新型]一种掩膜组件及应用其的蒸镀装置-CN202120886673.7有效
发明人：徐蒙蒙;王江南;史晓波;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种掩膜组件及蒸镀装置，掩膜组件包括掩膜遮挡板和掩膜板，所述掩膜遮挡板位于所述掩膜板远离所述基片的一侧；所述掩膜遮挡板与所述掩膜板之间分离间隔设置；所述掩膜板上镂空设置有第一蒸镀图案，所述掩膜遮挡板上镂空设置有第二蒸镀图案，所述第二蒸镀图案在所述基片上的垂直投影覆盖所述第一蒸镀图案在所述基片上的垂直投影。其能够减弱蒸镀过程中所述掩膜板受到的热辐射，避免掩膜板受热膨胀产生形变。
一种组件应用装置

[发明专利]掩膜板的检测方法-CN200910195217.1无效
发明人：朱瑜杰;陈宏璘;孙强;施春山 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-09-04 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩膜板的检测方法，包括步骤：预先根据在掩膜层中形成的光掩膜图形的目标特征尺寸计算目标曝光能量；提供掩膜板和半导体基底，在所述掩膜板上具有开口图形，在所述半导体基底上具有光掩膜层；利用小于目标曝光能量的测试曝光能量，透过掩膜板对所述半导体基底上的部分区域光掩膜层曝光；进行显影，形成光掩膜图形；对所述光掩膜图形进行检测。本发明可以对掩膜板上的缺陷进行检测。
掩膜板检测方法

[发明专利]一种两段式吸附光罩及其吸附方法-CN202110108450.2在审
发明人：金华君;吴聪原 -专利权人：福建华佳彩有限公司
申请日： 2021-01-27 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种两段式吸附光罩及其吸附方法，包括掩膜框、第一掩膜板、第二掩膜板、基板和磁板，其中，第一掩膜板的受磁性大于第二掩膜板，第二掩膜板和第一掩膜板先后依次重叠且相互紧贴地固定在掩膜框的一面上，第一掩膜板远离第二掩膜板的一面设有基板，基板远离第一掩膜板的一侧设有磁板。第一掩膜板上的面板区域和第二掩膜板上的开口数量相同且位置一一对应重叠，面板区域能完全覆盖对应的开口且只与一个开口发生重叠。使用时，磁板先后吸附第一掩膜板和第二掩膜板，使二者贴附在基板上，消除掩膜板在贴附基板过程中由于自身的下垂和贴附压力等因素对贴附效果的影响，实现掩膜板在蒸镀过程与基板紧密平坦贴合，保证成膜的精准性。
一种段式吸附及其方法

[实用新型]一种石英晶体掩膜电极工装夹具-CN201920535542.7有效
发明人：张斌 -专利权人：浙江蓝晶芯微电子有限公司
申请日： 2019-04-19 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英晶体掩膜电极工装夹具，包括下掩膜板，所述下掩膜板的顶部外壁靠接有上掩膜板，且下掩膜板的顶部外壁开设有等距离分布的放置槽，所述上掩膜板底部外壁与放置槽对应的位置开设有卡槽，且卡槽与放置槽相匹配下掩膜板和上掩膜板均设置成圆盘状结构，下掩膜板和上掩膜板之间的外围利用限位环和环状的限位槽连接，从而增加下掩膜板和上掩膜板之间的密封性，避免镀膜电极用的浆液从下掩膜板和上掩膜板之间的空隙进入，防止影响晶体片镀膜电极的质量
掩膜板放置槽卡槽顶部外壁镀膜电极弹簧滑槽夹具本实用新型等距离分布圆盘状结构底部外壁电极工装两侧内壁螺栓安装内壁焊接石英晶体影响晶体密封性限位槽限位环靠接外壁压板掩膜匹配外围

[实用新型]一种掩膜板框架及掩膜板组件-CN202022623233.0有效
发明人：高崇;梁舰;史晓波;冯敏强 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型属于掩膜板技术领域，公开了一种掩膜板框架，用于支撑掩膜板，掩膜板框架包括基座和至少一组调整机构，基座上设置有窗口，掩膜板支撑于窗口处，调整机构滑动设置于基座上，并与掩膜板相连，每组调整机构均包括两组拉伸组件，两组拉伸组件均滑动设置于基座上并位于窗口的相对两侧，拉伸组件与掩膜板的对应侧相连，两组拉伸组件能够沿第一方向靠近或远离窗口，以将掩膜板拉紧或放松，通过两组拉伸组件将掩膜板拉紧，以对掩膜板的下垂形变进行拉伸调整，以提升蒸镀图形的精度，本实用新型还提供了一种掩膜板组件包括掩膜板框架以及支撑于掩膜板框架上的掩膜板，该掩膜板组件能够调整掩膜板的下垂形变，以提升蒸镀图形的精度。
一种掩膜板框架组件

[发明专利]一种掩膜板图形的制备方法及掩膜板-CN201710876522.1有效
发明人：李洁;卢冠宇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开一种掩膜板图形的制备方法及掩膜板。掩膜板图形的制备方法包括：使用密封剂封堵掩膜板上的一部分蒸镀孔，使掩膜板上未被封堵的一部分蒸镀孔形成所需的掩膜板图形。采用密封剂将掩膜板上的一部分蒸镀孔进行封堵，以使掩膜板上未被封堵的一部分蒸镀孔形成所需的掩膜板图形，该方法未改变掩膜板的原有结构，且通过封堵蒸镀孔或将已封堵的蒸镀孔内的密封剂去除，即可改变已有的掩膜板图形，无需重新设计和加工掩膜板，与现有技术中在改变掩膜板图形时需要重新设计加工掩膜板的方式相比，本发明提供的掩膜板图形的制备方法可提高掩膜板图形的更换效率，进而提高了有机电致发光显示面板产品的研发和生产效率
一种掩膜板图形制备方法

[发明专利]掩膜板和掩膜板的制造方法-CN201810548269.1有效
发明人：熊腾青;李如;乔永康;潘晟恺;刘杰;杨凯;于剑伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板和掩膜板的制造方法，属于蒸镀技术领域。掩膜板包括：掩膜，掩膜包括掩膜基底以及设置在掩膜基底上的镀层，镀层的热膨胀系数大于掩膜基底的热膨胀系数；其中，掩膜在蒸镀温度下为平整状态，掩膜中的镀层在蒸镀温度下由凸起状态膨胀为平整状态。本发明通过在掩膜上形成热膨胀系数较大的镀层，且使掩膜在蒸镀温度下为平整状态，这样在常温下掩膜就会因为镀层的收缩而呈弯曲状态，将包括该掩膜的掩膜板设置在在蒸镀基板上时，掩膜的边缘不会与待蒸镀基板接触，避免了对待蒸镀基板的损伤解决了相关技术中掩膜板可能损伤待蒸镀基板的问题。达到了能够避免掩膜板损伤待蒸镀基板的效果。
掩膜板制造方法

[发明专利]一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具-CN201710462556.6有效
发明人：李东滨;吴疆;秦正春;王德苗;金浩;冯斌 -专利权人：杭州比凡科电子科技有限公司
申请日： 2017-06-19 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；下掩膜开孔与定位槽连通；弹性片和掩膜片顺次设于定位槽内；样品定位板上设有样品固定孔、第三紧固孔；样品固定孔设于对应的上掩膜开孔下方，且设于对应的定位槽的上方；第三紧固孔与上掩膜板上对应的第一紧固孔和下掩膜板上对应的第二紧固孔同轴设置本发明能实现所有样品的上下两个需镀膜表面分别与上掩膜开孔边缘和掩膜片上第二通孔的边缘紧贴，以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。
一种用于双面沉积镀膜夹具

[实用新型]一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具-CN201720709556.7有效
发明人：李东滨;吴疆;秦正春;王德苗;金浩;冯斌 -专利权人：苏州求是真空电子有限公司
申请日： 2017-06-19 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，包括上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；下掩膜开孔与定位槽连通；弹性片和掩膜片顺次设于定位槽内；样品定位板上设有样品固定孔、第三紧固孔；样品固定孔设于对应的上掩膜开孔下方，且设于对应的定位槽的上方；第三紧固孔与上掩膜板上对应的第一紧固孔和下掩膜板上对应的第二紧固孔同轴设置本实用新型能实现所有样品的上下两个需镀膜表面分别与上掩膜开孔边缘和掩膜片上第二通孔的边缘紧贴，以防止气相沉积过程中沉积粒子进入不需要镀膜的遮掩部分，从而提高镀膜产品的品质。
一种用于双面沉积镀膜夹具

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