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[发明专利]一种通用掩模版盒-CN201811041483.4在审
发明人：朱希进;尤春;刘维维;季书凤;杨长华;薛文卿;张月圆;刘浩;陈青;刘孝君 -专利权人：无锡中微掩模电子有限公司
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖，掩模版盒上合盖一侧设有掩模版存放盒，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒之间通过两个软铰链连接，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒上均设有5009掩模版限板，5009掩模版限板分别设置于掩模版盒上合盖和掩模版存放盒的四边中心位置，每个设有两个限位杆，上的限位板之间设有5009掩模版限位槽，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒四周均设有6025掩模版限位板，5009掩模版限板内侧设有互为直角的倾斜面
掩模版掩模版盒合盖存放盒限板通用掩模版限位板四边中心位置绿色环保防尘防水雾倾斜面软铰链限位槽限位杆加工

[实用新型]一种通用掩模版盒-CN201821461009.2有效
发明人：朱希进;尤春;刘维维;季书凤;杨长华;薛文卿;张月圆;刘浩;陈青;刘孝君 -专利权人：无锡中微掩模电子有限公司
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种通用掩模版盒，包括掩模版盒上合盖，掩模版盒上合盖一侧设有掩模版存放盒，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒之间通过两个软铰链连接，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒上均设有5009掩模版限板，5009掩模版限板分别设置于掩模版盒上合盖和掩模版存放盒的四边中心位置，每个设有两个限位杆，上的限位板之间设有5009掩模版限位槽，掩模版盒上合盖和掩模版存放盒四周均设有6025掩模版限位板，5009掩模版限板内侧设有互为直角的倾斜面
掩模版掩模版盒合盖存放盒本实用新型限板通用掩模版限位板四边中心位置绿色环保防尘防水雾倾斜面软铰链限位槽限位杆加工

[发明专利]用于光刻设备的掩模版库及其掩模版盒存取方法-CN201110353733.X有效
发明人：程吉水;单世宝;江旭初 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-11-10 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明公开一种用于光刻设备的掩模版库及其掩模版盒存取方法，所述掩模版库的外形呈一圆柱体，所述圆柱体的其中一个端面与侧面的交汇处设置有若干版盒槽，所述版盒槽容纳掩模版盒并提供一掩模版盒存取装置存入或取出掩模版盒
用于光刻设备模版及其存取方法

[发明专利]用于与工具对接的掩模版盒转换板-CN202110654328.5在审
发明人： M·拉加-巴龙 -专利权人：格芯（美国）集成电路科技有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明涉及用于与工具对接的掩模版盒转换板。本文公开的示例性装置包括板和位于板的正表面上的掩模版盒接纳结构，掩模版盒接纳结构至少部分地界定正表面上的掩模版盒接纳区域。在该示例中，板的背表面具有适于与多个销钉接合的销钉接合结构，以及适于在掩模版盒被定位在掩模版盒接纳区域中时允许与掩模版盒的内部区域流体连通的流体流动通道。
用于工具对接模版转换

[实用新型]刻蚀设备-CN202122155687.4有效
发明人：诸嘉豪 -专利权人：无锡迪思微电子有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种刻蚀设备，其包括：装配盒，装配盒包括相互连接且沿装配盒的高度方向分布的第一盒体部和第二盒体部，第二盒体部的底部用于支撑掩模版；检测部，检测部用于设置在第一盒体部的一侧，以检测第一盒体部处是否有掩模版；承载台，承载台可拆卸地设置在装配盒内，通过使预设尺寸的掩模版设置在承载台上，以使预设尺寸的掩模版的顶端位于第一盒体部内；其中，预设尺寸的掩模版的厚度小于第二盒体部的高度，装配盒的高度方向与装配盒内的掩模版的厚度方向相同
刻蚀设备

[发明专利]掩模版及其制备方法-CN200910090519.2有效
发明人：郭建;周伟峰;明星;陈永 -专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日： 2009-08-19 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩模版及其制备方法。该掩模版包括基板，所述基板上形成有第一薄膜图形和部分透光薄膜图形，所述部分透光薄膜图形位于所述第一薄膜图形的上方或下方，且所述部分透光薄膜图形以外的区域为完全透光区域。本发明掩模版可在现有构图掩模版的基础上制得。通过调整曝光设备的实际曝光量，本发明掩模版即可实现原有构图掩模版的构图功能，也可实现现有UV掩模版的挡光和透光功能。采用本发明掩模版制备TFT-LCD过程中，可实现构图工艺和对盒工艺中所需使用掩模版的复用，因而有利于降低TFT-LCD的生成成本。
模版及其制备方法

[实用新型]一种掩模版存储定位装置-CN201521134418.8有效
发明人：刘凯;胡松立;姜杰 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2015-12-30 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种掩模版存储定位装置，包括版盒和与版盒相匹配的版盒盖，其中，所述版盒包括第一定位件组和导向件组，所述版盒盖中设置有与所述第一定位件组配合的第二定位件组，所述第一定位件组与第二定位件组共同配合形成横向和上下限位的限位槽本实用新型采用第一定位件组与第二定位件组通过限位槽将掩模版夹持固定在中间，实现对掩模版的六个空间方位的限位。掩模版在版盒内可以稳固可靠的定位和存储，盖上版盒盖后，操作人员取放掩模版的过程中，掩模版不会晃动，降低了取放本实用新型的掩模版存储定位装置的操作难度。
一种模版存储定位装置

[发明专利]掩模版定位存取机构-CN200910044990.8有效
发明人：马喜宝;李志龙 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2009-01-07 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻设备中的掩模版定位存取机构。公开了一种掩模版定位存取机构，包括带动掩模版版盒托板上下移动的升降机构和一用于对掩模版版盒托板位置进行定位的分度定位机构，所述掩模版版盒托板直接与所述分度定位机构连接，带动分度定位机构对其定位。由于分度定位机构不是由升降机构直接驱动，而改由版盒托板带动，因此，升降机构只负责承载版盒托板及其上版盒架的重力，而无需带动分度及定位机构，升降机构中同步齿形带不再受到两边力的作用，不易疲劳受损，提高了工作可靠性和定位的精度另外，升降机构的外力垂直作用于滚珠丝杠的中心轴线上，运动稳定可靠，能保证遮模版托板在垂直方向任意位置暂停时所需的制动力。
模版定位存取机构

[发明专利]掩模版传输系统及方法、光刻设备及方法-CN201710686899.0在审
发明人：王刚;张荣军;黄栋梁 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-08-11 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种掩模版传输系统，包括smif版架、版盒以及用于转移掩模版的版叉，smif版架包括有支撑限位部，版盒包括有版盒限位部；版叉包括版叉本体和对称连接在版叉本体上的两根叉杆，叉杆包括用于支撑掩模版的转移部和防撞部，防撞部包括水平结构的第一防撞部和竖直结构的第二防撞部，第一防撞部水平连接于转移部背离掩模版的一侧，第一防撞部连接于转移部和第二防撞部之间，并且第二防撞部、第一防撞部以及转移部的侧壁形成一凹槽结构；当版叉从smif版架或版盒中取出或放入掩模版的时候，支撑限位部或版盒限位部位于凹槽结构内。本发明提供的一种掩模版传输系统能够达到转移安全性高的效果。
防撞掩模版版盒传输系统支撑限位部凹槽结构叉杆对称连接光刻设备竖直结构水平结构水平连接限位部位限位部侧壁放入取出背离支撑

[实用新型]掩模传输版库设备-CN201320891197.3有效
发明人：邹钱生;马喜宝 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2013-12-31 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种掩模传输版库设备，包括：解锁机构、升降机构和版盒以及在所述解锁机构下方的掩模版保护机构，其中，解锁机构包括驱动电机、连杆机构以及偏心轮，驱动电机驱动偏心轮旋转，然后偏心轮驱动连杆机构同步运动，实现版盒解锁和锁定，结构简单、成本低、同步和重复性好且易维护；所述升降机构中，驱动电机通过同步带轮和同步齿形带，驱动升降台沿竖直轨道运动，并在传动轴和从动轴各上设置有背靠背轴承，加大运动轴径向受力，提高掩模版升降机构运动平稳性和可靠性，实现高精度升降；所述掩膜版保护机构用于在所述版盒未运行到位时，机械锁死，保护掩模版不被非法取出或者放回；并且掩模传输版库设备可以适应单层、多层和不同尺寸掩模版盒，并实现精确定位每一个掩模版。
传输设备

[发明专利]掩模版夹具-CN200810040365.1有效
发明人：徐晓敏;吴凌辉;金志锐 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2008-07-08 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种生产线上半导体器件的制造工艺过程中的操作掩模版的装置和方法。所述装置包括用于固定掩模版的固定架，所述固定架被配置成安全地固定掩模版、且水平指示器连接至固定架以指示固定架的水平状态；所述装置还包括连接至固定架的轴以便固定以及连接至轴的开关。所述方法包括提供掩模版；使用掩模版固定架夹住掩模版，所述固定架包括开关、水平指示器，所述水平指示器与固定架一起工作，用于指示固定架的水平状态；所述方法进一步包括装载掩模版入掩模版盒，同时使用水平指示器保持固定架水平
模版夹具

[发明专利]去除掩模版上颗粒的装置和方法-CN201711234834.9在审
发明人：何洪波;戴韫青;王剑;赵彬 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： G03F1/82 文献下载
摘要：本发明公开了一种去除掩模版上颗粒的装置，包括一透明的玻璃箱体，位于该玻璃箱体内的一自动开盒器，该自动开盒器的上端具有与其成一体的掩模版装载架，且掩模版装载架固定连接在玻璃箱体的上端，位于该玻璃箱体一侧且与其密封连接的手套本发明还公开了一种采用所述装置去除掩模版上颗粒的方法。本发明能够有效提高去除掩模版上颗粒缺陷的效率。
去除模版颗粒装置方法

[发明专利]掩模版的制作方法及曲面液晶面板的制作方法-CN201611235139.X有效
发明人：林碧芬 -专利权人：深圳市华星光电技术有限公司
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明公开一种掩模版的制作方法，包括：对盒阵列基板和彩膜基板以形成液晶盒，所述液晶盒包括用于形成黑色矩阵的制备表面，所述制备表面位于所述阵列基板远离所述彩膜基板的一侧或所述彩膜基板远离所述阵列基板的一侧；弯曲所述液晶盒至预定形状；点亮所述液晶盒；在所述制备表面上量测漏光区域的尺寸；以及依据所述漏光区域的尺寸形成对应的掩模版。通过所述掩模版的制作方法所形成的掩模版能够用于形成高质量的曲面液晶面板的黑色矩阵。
模版制作方法曲面液晶面板

[发明专利]一种掩模版版盒-CN201611061938.X有效
发明人：王刚;张荣军;黄栋梁 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩模版版盒，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口处设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙通过在掩模版支座与中框之间设置空隙，使版盒可同时适应于真空吸附式版叉和物理夹持式版叉取版，同时将中框的纵截面设置为H型结构，且H型结构的横档以及第一竖边的下表面与底板之间设置空隙，使版盒可同时适应于无掩模版保护的版叉和自带掩模版保护的版叉取版
一种模版

[外观设计]光罩盒（新型）-CN202330310390.2有效
发明人：潘国军 -专利权人：常州兰利电器科技有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： 09-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光罩盒（新型）。2.本外观设计产品的用途：用于储存掩模版，对掩模版进行定位和支撑，避免外力冲击对掩模版造成伤害。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。5.组件1为光罩盒，组件2为集成定位支撑。
光罩盒新型

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