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[实用新型]多面转镜扫描系统-CN201821931921.X有效
发明人：靳世伟 -专利权人：北京金橙子科技股份有限公司
申请日： 2018-11-22 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多面转镜扫描系统，包括外壳、振镜机构、F‑Theta透镜、扫描检测卡、转镜机构、反射镜和激光发生器，且振镜机构、F‑Theta透镜、扫描检测卡、转镜机构、反射镜和激光发生器均内置于外壳的内腔，外壳的前侧壁自上而下依次设置有马达驱动接口、电源接口和扫描数据接口，外壳的内腔底部设置有F‑Theta透镜，振镜机构位于F‑Theta透镜的上方，振镜机构包括驱动电机和振镜，驱动电机的下方动力输出端与振镜相连接，转镜机构位于F‑Theta透镜的上方左侧，转镜机构包括运转电机和多面棱镜，运转电机的前侧动力输出端与多面棱镜相连接，运转电机的后侧设置有反射镜，本实用新型结构设计合理，提供高速一维扫描(扫描速度达300m/s)，可满足高速激光扫描的需要。
透镜振镜转镜机构运转电机反射镜本实用新型动力输出端激光发生器多面棱镜多面转镜驱动电机扫描检测扫描系统内腔扫描电源接口高速激光马达驱动扫描数据一维扫描依次设置前侧壁

[发明专利]一种提高共聚焦扫描光学成像图像分辨率的方法-CN202110798399.2在审
发明人：李超宏 -专利权人：苏州微清医疗器械有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： A61B3/14 文献下载
摘要：本发明涉及光学成像系统领域，具体涉及一种提高共聚焦扫描光学成像图像分辨率的方法，包括：共聚焦扫描光学成像通过扫描振镜的快轴和扫描振镜的慢轴进行扫描；从待测物的第一端至第二端的扫描过程中，扫描振镜的快轴的扫描电压为先上升后下降的扫描方式
一种提高聚焦扫描光学成像图像分辨率方法

[实用新型]基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置-CN201922351744.9有效
发明人：王东;马建立 -专利权人：深圳光韵达光电科技股份有限公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本申请公开一种基于飞秒激光的SMT激光钢网切割装置，包括：飞秒激光器、光整形单元、分束器、第一光路转折单元、第二光路转折单元、第一扫描振镜系统、第二扫描振镜系统、第一加工运动平台和第二加工运动平台；所述分束器可将所述飞秒激光器产生的飞秒激光束分成功率相等的第一飞秒激光束和第二飞秒激光束；所述第一光路转折单元和所述第二光路转折单元均包括一个或多个反射镜，分别用于将所述第一飞秒激光束传播至所述第一扫描振镜系统和所述第二扫描振镜系统；所述第一扫描振镜系统和所述第二扫描振镜系统可分别通过所述第一飞秒激光束和所述第二飞秒激光束同步对同一产品进行加工
基于激光 smt 切割装置

[发明专利]一种多光束同光轴加工光路系统及其方法-CN201810765646.7在审
发明人：李鹏;王旭琴;王飞;杨洋;乔凤斌;郭立杰 -专利权人：上海航天设备制造总厂有限公司
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种多光束同光轴加工光路系统，其特征在于，包括：激光发射单元，包括至少一个激光器，至少一个合束器，合束器用于将激光器发射的激光光束合并成同一个光轴光束并进行传输至一个激光扫描单元；激光扫描单元，用于接收激光发射单元的激光光束，并且通过激光扫描单元中的振镜组件，将激光光束反射至加工平面对工件进行扫描加工；振镜组件包括多组XY扫描振镜，多组XY扫描振镜采用独立扫描或协作扫描，用于增大扫描幅面，实现大幅面激光加工工艺；在激光光束传输的过程中，合束器与振镜组件间还设置有聚焦镜；控制单元，包括IPC工控机、激光器的控制卡以及振镜组件的控制卡；用于控制振镜和/或激光器的分时、分工工作。
振镜组件激光扫描单元激光器合束器激光发射单元光路系统激光光束扫描振镜多光束控制卡同光轴扫描激光光束传输激光光束反射激光加工工艺激光器发射加工平面控制振镜扫描幅面扫描加工大幅面聚焦镜分时光轴加工传输分工合并协作

[发明专利]人脸识别系统及其扫描装置-CN201811118902.X有效
发明人：沈文江;周鹏;黄艳飞 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2018-09-25 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： G06V40/16 文献下载
摘要：本发明公开了人脸识别系统及其扫描装置，所述扫描装置包括红外激光器、透镜以及扫描振镜。所述红外激光器用于发出红外激光；所述透镜用于将所述红外激光汇聚于所述扫描振镜上，使所述红外激光经过所述扫描振镜的反射后在被扫描对象的表面上形成光强分布均匀的扫描线；所述扫描振镜用于通过转动控制所述扫描线在被扫描对象的表面上进行移动，以生成用于检测被扫描对象的红外图像。所述扫描装置仅需设置所述透镜和扫描振镜，便可将所述红外激光器的红外激光投影到被扫描对象的表面上形成扫描线，相比于现有技术，其有着结构简易，体积较小，功耗较低以及检测精度较高等优点。
识别系统及其扫描装置

[发明专利]一种多MEMS振镜结构光三维扫描系统-CN202110171609.5有效
发明人：周翔;彭磊;杨涛;杨彪;王丛华;周少玮;雷洁 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种多MEMS振镜结构光三维扫描系统，将2个或更多个MEMS振镜排列成阵列进行结构光三维扫描的方法，该扫描系统采用的投射器包含了2个或更多个MEMS微振镜激光投射单元。具有投射光强比单个MEMS振镜投射方案大数倍的优点，得到了大景深高亮度的投影图案，可以为大于1米的中远距离三维扫描提供低成本的解决方案。
一种 mems 结构三维扫描系统

[发明专利]一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法-CN201710439347.X有效
发明人：倪赫;郭清源;严情;邹丽敏;张鹏 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2017-06-12 - 公布日： 2019-02-01 - 主分类号： G02B21/00 文献下载
摘要：一种基于扫描振镜与半导体激光器的共聚焦显微镜并行扫描装置及扫描方法，属于共焦显微成像领域。解决了现有CCD相机受到曝光速度影响，图片采集速率较低的问题。本发明包括半导体激光器、衰减片、偏振片、准直扩束系统、第一偏振分光棱镜、扫描振镜系统、远心扫描透镜、管镜、第二偏振分光棱镜、1/4波片、物镜、第一收集透镜、光电探测器、第二收集透镜、CCD相机和控制器；通过调制共焦光路中的CCD相机曝光时间，扫描振镜系统及半导体激光器触发信号，在CCD相机的一帧图像上获取多个振镜偏转角度对应的激光光斑，实现并行扫描。本发明主要用于对样品进行扫描。
一种基于扫描半导体激光器聚焦显微镜并行装置方法

[发明专利]一种多层复合薄膜的激光刻蚀系统及方法-CN202310252086.6在审
发明人：张骆;王子文;金聪 -专利权人：武汉金顿激光科技有限公司
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-05-19 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明涉及一种多层复合薄膜的激光刻蚀系统及方法，其系统包括激光器、扩束镜、波片、分束镜、扫描振镜和移动平台，激光器、扩束镜、波片、分束镜和扫描振镜顺次光路连接，移动平台位于扫描振镜的下方，且扫描振镜出射的激光可对移动平台上的待加工样品进行扫描本发明中激光束通过激光器、扩束镜、波片、分束镜和扫描振镜形成的光路照射至移动平台上的待加工样品表面，从而对待加工样品表面的多层复合薄膜的表面介质膜层刻蚀，并且不会造成多层复合薄膜的底层介质膜层损伤，去除过程简单方便
一种多层复合薄膜激光刻蚀系统方法

[发明专利]振镜扫描系统中振镜电机偏转到位的检测方法和装置-CN201710107529.7有效
发明人：冯伟;李言 -专利权人：北京市汉华环球科技发展有限责任公司
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G01B21/22 文献下载
摘要：本申请提供了一种振镜扫描系统中振镜电机偏转到位的检测方法和装置，其中所述检测方法包括：当应用控制器向电机驱动器发送电机偏转指令后，振镜电机偏转到位检测装置实时采集电机驱动器的内环控制信号，其中电机偏转指令用于控制电机驱动器驱动振镜电机偏转预设角度，内环控制信号反映振镜电机的当前运动状态；振镜电机偏转到位检测装置根据内环控制信号判断振镜电机是否偏转到位，若振镜电机偏转到位，则振镜电机偏转到位检测装置向应用控制器发送到位反馈信号；应用控制器根据到位反馈信号向激光器发送开关控制信号本申请的技术方案能够提高振镜扫描系统的扫描速度。
扫描系统中振镜电机偏转到位检测方法装置

[实用新型]一种基于振镜的三维扫描仪-CN201620894297.5有效
发明人： -专利权人：
申请日： 2016-08-17 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及三维测量领域，特别涉及一种基于振镜的三维扫描仪，包括振镜、振镜驱动电路、系统控制电路及相机；所述振镜与所述振镜驱动电路连接，接收并响应所述振镜驱动电路发出的振镜驱动信号；所述振镜驱动电路与所述系统控制电路连接，接收并响应所述系统控制电路发出的振镜控制信号；所述相机与所述系统控制电路连接，接收并响应所述系统控制电路发出的外触发信号；所述系统控制电路接收外部控制命令。该实用新型提供的基于振镜的三维扫描仪，兼具体积小、成本低和功耗低的特点，能够有效完成多帧结构光模式投影与同步拍照。
一种基于三维扫描仪

[发明专利]一种双波长复合光束整形的手持式自适应激光清洗装置-CN201710673687.9有效
发明人：曹宇;孙轲;于艳玲;魏鑫磊;周宏明 -专利权人：温州大学激光与光电智能制造研究院
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种能双波长复合光束整形的手持式自适应激光清洗装置，包括激光器、传输光纤、升降对焦组件、激光测距传感器、振镜扫描系统、升降导向电驱组件和双波长复合整形系统；所述振镜扫描系统用于实现将入射的激光束聚焦于工件表面，并使激光束按设定轨迹在工件表面进行扫描运动；在振镜扫描系统的激光束出射端下方设置有升降对焦组件，在振镜扫描系统的侧面固定安装有激光测距传感器，双波长复合整形系统的输入端与激光器之间通过传输光纤相连，经过内部光学变换后输出双波长复合整形光束，其输出端与振镜扫描系统的激光束入射端固定连接。
振镜扫描系统双波长激光束激光测距传感器传输光纤工件表面整形系统激光器复合对焦升降清洗激光清洗装置激光束聚焦侧面固定复合光束光学变换扫描运动升降导向整形光束出射端均匀性入射端输出端输入端自适应整形入射精细输出

[实用新型]激光超声检测系统以及振镜扫描装置-CN201720390393.0有效
发明人：马健;陈建伟;赵扬;刘帅;南钢洋;宋江峰;郭锐;王启武;张振振;孙继华;周英丽;巨阳 -专利权人：山东省科学院激光研究所
申请日： 2017-04-13 - 公布日： 2017-12-15 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种激光超声检测系统以及振镜扫描装置，涉及激光超声无损检测技术领域。所述系统包括位置调节装置、激光产生装置、振镜扫描装置、超声波探测装置以及工控机。激光产生装置、振镜扫描装置分别安装于位置调节装置上。超声波探测装置与位置调节装置连接。工控机分别与激光产生装置、振镜扫描装置、所述超声波探测装置电连接。工控机用于向激光产生装置发送激光触发信号，使得激光产生装置输出激光，以及向振镜扫描装置发送控制信号，使得振镜扫描装置接收激光并控制激光的运动轨迹以此实现在所述待检测工件表面上激励超声波。
激光超声检测系统以及扫描装置

[发明专利]一种激光振镜装置校正系统和校正方法-CN201611006296.3有效
发明人：徐晓轩;王斌;赖翔 -专利权人：英塔赛利环保科技（天津）有限公司
申请日： 2016-11-16 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种激光振镜装置校正系统和校正方法，该校正系统包括有激光器(1)；一半透半反镜(5)，其用于将扫描振镜(3)反射的激光进行分光；有两个位置传感器(6a、6b)，分别用于测量扫描振镜(3)在两个轴向方向的转动引起的激光偏转的实际位置；有一中央控制器(4)，该中央控制器(4)接收测量的实际位置与预先设定位置之间的偏差；所述中央控制器(4)的校正信号输出单元根据实际位置与设定位置之间的偏差得出校正值，并且传输给与扫描振镜(3)相连的扫描振镜控制器(2)，以对扫描振镜(3)进行校正。在中央控制器(4)中有一存储器，其存储有各种激光振镜(3)的工作模式，以及各种工作模式所对应的误差经验值；此时只需将该误差经验值叠加在中央控制器(4)输出到扫描振镜控制器的输出信号上，便完成对该系统的第二次快速校正
一种激光装置校正系统方法

[发明专利]激光诱导向前转移制备结构色薄膜的装置和方法-CN201710193945.3有效
发明人：李修;徐艳芳;李路海;郭紫楠 -专利权人：北京印刷学院
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光诱导向前转移实现结构色薄膜制备的装置和方法，属于激光应用及结构色制备技术领域，该系统包括：激光光源、光路调节系统和精密移动系统，激光光源与所述光路调节系统相连接，精密移动系统位于所述光路调节系统的下面；光路调节系统包括准直扩束透镜组，与之相连接的扫描振镜系统，扫描振镜系统由两个互相垂直的平面反射镜、电机以及振镜控制器组成，平面反射镜连接振镜控制电机，振镜控制电机连接振镜控制器，扫描振镜系统连接f‑θ透镜；精密移动系统包括精密移动(Z轴方向)、运动控制器和计算机，计算机通过运动控制器和精密移动相连接，精密移动用于放置初始基片和接收基片。
激光诱导向前转移制备结构薄膜装置方法

[发明专利]一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达-CN201711248354.8在审
发明人：佟建;屈志巍;陈佳 -专利权人：北京万集科技股份有限公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： G02B27/30 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于MEMS振镜的准直系统及激光雷达，所述基于MEMS振镜的准直系统，包括：激光发射单元，用于发射调制激光光束；前置光束整形单元，用于对激光发射单元发射的激光进行整形；MEMS振镜扫描单元，用于利用MEMS振镜对所述前置光束整形单元整形后的光束进行谐振反射后对待测物平面进行视场扫描；后置准直单元，用于将经过所述MEMS振镜扫描单元反射后的光束进行二次整形，使经过MEMS振镜偏转后的边缘光束和中心光束在后置准直单元的入瞳处光程相等本发明提供的基于MEMS振镜的准直系统，能够提高系统的能量耦合效率，减小光束发散角和系统体积，同时使得中心视场和边缘视场的测距能力均匀一致。
准直系统光束整形单元激光发射单元激光雷达扫描单元准直单元整形后置前置反射能量耦合效率偏转光束发散角谐振边缘光束边缘视场测距能力调制激光二次整形均匀一致视场扫描中心光束中心视场发射物平面光程减小入瞳相等激光