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[发明专利]一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统-CN202210616839.2在审
发明人：褚文学;温在兴;李文勇;龙永涛;黄民源;李泽;马冬林 -专利权人：武汉欧毅光学有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种具备双维扫描功能的激光振镜扫描系统，其特征在于，由依次设置的激光光源、光束整形镜、一维振镜、“4f系统”模块A透镜、“4f系统”模块B透镜、二维振镜A反射镜、二维振镜B反射镜、远心光路模块组成；激光振镜扫描系统用于实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步运行功能；本发明将一维振镜加“4f系统“的组合引入到传统的二维振镜扫描系统中实现全域二维扫描和局域一维精密扫描的同步高速运行，在引入局域一维扫描后可以极大地丰富检测的扫描模式，为多参数同时检测提供了可能，扩大了振镜系统的应用场景。
一种具备扫描功能激光系统

[实用新型]一种外置反馈控制的3D激光扫描装置-CN201620436961.1有效
发明人：杜先鹏;谢创 -专利权人：青岛小优智能科技有限公司
申请日： 2016-05-12 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：一种外置反馈控制的3D激光扫描装置，包括激光器，汇聚透镜，散射透镜，扫描振镜，遮挡窗控制系统，反馈系统，激光器出光后投射在汇聚透镜上，汇聚透镜出光后投射在散射透镜上，散射透镜出光后投射在扫描振镜上，控制系统用于控制激光器和扫描振镜，所述扫描振镜位于散射透镜出光线激光束腰处，反馈系统设置在扫描振镜的斜上方，接收扫描振镜的反射光线，与控制系统相连反馈控制振镜工作。本实用新型由于接收光信号进行调制，所设反馈系统可以监测超过10M/S的震动，完全覆盖3D激光扫描装置10K/S的工作频率，彻底实现了对扫面振镜工作状态的实时监控，从而大大提高了激光扫描模组的精度。
一种外置反馈控制激光扫描装置

[发明专利]振镜式快扫描电光取样的THz检测系统和方法-CN200610057110.7无效
发明人：赵国忠 -专利权人：首都师范大学
申请日： 2006-03-09 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： G01N21/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种振镜式快扫描电光取样的THz检测系统和检测方法，该检测系统包括THz波的扫描延迟系统、THz波时域电光取样系统、信号检测与数据处理系统，其特征在于THz波的扫描延迟系统由现有的电动平移台扫描延迟系统替换成振镜式快扫描延迟系统，振镜式快扫描延迟系统包括两块振镜、振镜底座、扬声器、支杆、平移台，扬声器通过支杆安装到平移台上，振镜固定在振镜底座上，振镜底座再固定在扬声器震荡腔的振动面上。检测方法是在上述检测系统基础上实现的，振镜式快扫描延迟系统中的扬声器震荡腔的振动面在控制信号的作用下作往复运动，从而造成THz波的延迟，进而实现电光取样，再通过信号检测和处理数据，实现快速的THz电光取样探测
振镜式快扫描电光取样 thz 检测系统方法

[发明专利]多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜-CN202310800324.2在审
发明人：蔡宸;方琪;战春;余柯艳;钱斌;唐超 -专利权人：宁波舜宇仪器有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种多振镜扫描系统、多振镜扫描方法以及激光扫描显微镜，其能够实现稳定大视场和均匀高亮度的光切成像。该多振镜扫描系统包括第一扫描振镜、第二扫描振镜以及补偿振镜。该第一扫描振镜包括第一振镜镜片和与该第一振镜镜片驱动连接的第一驱动机构。该第二扫描振镜包括第二振镜镜片和与该第二振镜镜片驱动连接的第二驱动机构。该补偿振镜包括位于该第一振镜镜片和该第二振镜镜片之间光路中的补偿振镜镜片和与该补偿振镜镜片驱动连接的补偿驱动机构；该补偿振镜镜片的转动中心与该第一振镜镜片的转动中心沿着第一方向排布，并且该补偿振镜镜片的转动中心与该第二振镜镜片的转动中心沿着与该第一方向相交的第二方向排布
多振镜扫描系统方法以及激光显微镜

[发明专利]一种激光清洗系统-CN201711459836.8在审
发明人：李先锋;赵驰;李高峰 -专利权人：江苏金海创科技有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及激光清洗技术领域，尤其是涉及一种激光清洗系统，其包括：激光清洗扫描振镜和激光清洗控制系统；其中，所述激光清洗扫描振镜包括：手持部分和扫描振镜部分；所述手持部分与所述扫描振镜部分连接，所述手持部分的内部设置有用于向所述扫描振镜部分发射激光束的激光器；其中，所述激光清洗控制系统分别与所述激光器、所述扫描振镜部分通讯连接，用于分别对所述激光器、扫描振镜部分进行控制。
扫描振镜激光清洗激光器激光清洗系统控制系统内部设置通讯连接激光束发射应用

[发明专利]面阵扫描红外光学系统-CN202310099357.9在审
发明人：王美钦;蔡宾;潘海俊;邹爽;陈乐;丁俊雅 -专利权人：武汉联一合立技术有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本发明公开一种面阵扫描红外光学系统，面阵扫描红外光学系统包括由物方到像方依次设置的望远系统透镜组、方位扫描振镜、俯仰扫描振镜、三次成像组、光学窗口、冷屏光阑和像面，所述冷屏光阑与所述三次成像组的出瞳位置重合；所述方位扫描振镜和所述俯仰扫描振镜均具有固定状态和往返回扫状态，在所述方位扫描振镜处于固定状态，所述俯仰扫描振镜处于往返回扫状态时，所述面阵扫描红外光学系统能够补偿俯仰方向的像移，保持俯仰角的稳定；在所述方位扫描振镜和所述俯仰扫描振镜均处于往返回扫状态时，所述面阵扫描红外光学系统同时实现二维空域的搜索，解决图像像旋的问题。
扫描红外光学系统

[实用新型]面阵扫描红外光学系统-CN202320097926.1有效
发明人：王美钦;蔡宾;潘海俊;邹爽;陈乐;丁俊雅 -专利权人：武汉联一合立技术有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种面阵扫描红外光学系统，面阵扫描红外光学系统包括由物方到像方依次设置的望远系统透镜组、方位扫描振镜、俯仰扫描振镜、三次成像组、光学窗口、冷屏光阑和像面，所述冷屏光阑与所述三次成像组的出瞳位置重合；所述方位扫描振镜和所述俯仰扫描振镜均具有固定状态和往返回扫状态，在所述方位扫描振镜处于固定状态，所述俯仰扫描振镜处于往返回扫状态时，所述面阵扫描红外光学系统能够补偿俯仰方向的像移，保持俯仰角的稳定；在所述方位扫描振镜和所述俯仰扫描振镜均处于往返回扫状态时，所述面阵扫描红外光学系统同时实现二维空域的搜索，解决图像像旋的问题。
扫描红外光学系统

[实用新型]标准校正板及校正系统-CN201922343568.4有效
发明人：王雪辉;雷桂明;许维;路清彦 -专利权人：武汉华工激光工程有限责任公司
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-07-03 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种标准校正板及校正系统，涉及振镜校正技术领域。该标准校正板用于振镜扫描系统中振镜的校正，振镜扫描系统包括振镜扫描聚焦模块、分光镜和激光发出装置，振镜扫描系统能在标刻平面上进行标刻，标准校正板上设置有校正平面，校正平面用于与标刻平面重合，校正平面上设置有多个阵列排布的特征点，多个特征点用于振镜的校正。本实用新型还提供了一种校正系统，其采用了上述的标准校正板。本实用新型提供的标准校正板及校正系统能用于振镜的校正，并且不需要人工量测及不需要借用专用振镜校正的设备或者仪器，完成振镜的校正工作。
标准校正系统

[发明专利]一种新型扫描振镜以及共聚焦光学成像系统-CN202110798494.2在审
发明人：王中昆;李超宏 -专利权人：苏州微清医疗器械有限公司
申请日： 2021-07-15 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： A61B3/10 文献下载
摘要：本发明涉及光学成像系统领域，具体涉及一种新型扫描振镜以及共聚焦光学成像系统。本发明公开了一种新型扫描振镜，所述新型扫描振镜包括快轴振镜组件和慢轴振镜组件，所述快轴振镜组件和所述慢轴振镜组件中至少一个为具有分光特性的组件。
一种新型扫描以及聚焦光学成像系统

[发明专利]激光束协同扫描系统-CN202110651973.1在审
发明人：颜永年;胡美婷;韩丽俊;颜家川;余衍然 -专利权人：江苏永年激光成形技术有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B29C67/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光束协同扫描系统，在成形室上方设置至少两组激光扫描振镜系统，对成形室的成型区进行划分形成至少两个独立的扫描分区，每组激光扫描振镜系统发射的激光束对应一个扫描分区，各组激光扫描振镜系统同时对各个扫描分区进行独立扫描，本发明摒弃了传统提高激光成形效率的理念，将成形室的成型区进行划分形成多个独立的扫描分区，通过多组激光扫描振镜系统同时发射多组激光束分别对各个扫描分区进行同步扫描，扫描速度很快，实现了工件的高效加工，且无需采用高效振镜系统就可以实现加工效率成倍的增加，在成形室上方通过纵向错位的方式，实现多组激光扫描振镜系统的层叠交错安装，还可以避免成形室面积增大。
激光束协同扫描系统

[实用新型]激光束协同扫描系统-CN202121306850.6有效
发明人：颜永年;胡美婷;韩丽俊;颜家川;余衍然 -专利权人：江苏永年激光成形技术有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： B29C67/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光束协同扫描系统，在成形室上方设置至少两组激光扫描振镜系统，对成形室的成型区进行划分形成至少两个独立的扫描分区，每组激光扫描振镜系统发射的激光束对应一个扫描分区，各组激光扫描振镜系统同时对各个扫描分区进行独立扫描，本实用新型摒弃了传统提高激光成形效率的理念，将成形室的成型区进行划分形成多个独立的扫描分区，通过多组激光扫描振镜系统同时发射多组激光束分别对各个扫描分区进行同步扫描，扫描速度很快，实现了工件的高效加工，且无需采用高效振镜系统就可以实现加工效率成倍的增加，在成形室上方通过纵向错位的方式，实现多组激光扫描振镜系统的层叠交错安装，还可以避免成形室面积增大。
激光束协同扫描系统

[发明专利]一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法-CN201510429167.4在审
发明人：黄见洪;翁文;陈金明;李锦辉;阮开明;邓晶;刘华刚;林文雄 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：一种旋转式振镜扫描装置，包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台，扫描振镜固定在转台上；转轴连接在扫描振镜上，转动装置驱动转轴旋转，从而通过扫描振镜带动转台旋转；激光器发射的激光经过扫描振镜和工作反射镜反射照射到工作面上本发明还提供上述旋转式振镜扫描装置的应用方法。旋转式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个工作位置，使得扫描振镜保证加工精度的前提下，工作范围扩大4倍，克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限，同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题
一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法

[实用新型]一种旋转式振镜扫描装置-CN201520529430.2有效
发明人：黄见洪;翁文;陈金明;李锦辉;阮开明;邓晶;刘华刚;林文雄 -专利权人：中国科学院福建物质结构研究所
申请日： 2015-07-21 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： B23K26/082 文献下载
摘要：一种旋转式振镜扫描装置，包括激光器、转轴、扫描振镜、转动装置、工作反射镜和转台，扫描振镜固定在转台上；转轴连接在扫描振镜上，转动装置驱动转轴旋转，从而通过扫描振镜带动转台旋转；激光器发射的激光经过扫描振镜和工作反射镜反射照射到工作面上旋转式振镜扫描装置在360度圆周范围内形成四个工作位置，使得扫描振镜保证加工精度的前提下，工作范围扩大4倍，克服了扫描振镜固定方式形成的工作空间局限，同时还避免了多扫描振镜工作方式带来的系统复杂度和硬件成本增加的问题
一种旋转式振镜扫描装置

[实用新型]一种三维动态振镜系统-CN201821859135.3有效
发明人：马志成;李圆红;路霖;朱君 -专利权人：上海三克激光科技有限公司
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三维动态振镜系统，包括激光光束且激光光束的一侧为直线电机移动组，动态镜片组的一侧为扩束系统，扩束系统的端部为第一扫描振镜偏转电机去第一扫描振镜偏转电机的底部为第一扫描振镜反射镜片，第一扫描振镜反射镜片的底部的一边侧安装有第二扫描振镜偏转镜片，第一扫描振镜反射镜片和第二扫描振镜偏转镜片的端部安装有第一振镜偏转角度感应机构和第二振镜偏转角度感应机构，第二振镜偏转角度感应机构的端部固定有第二扫描震惊偏转电机。本实用新型解决了二维振镜无法一次性标刻大工件的问题；解决了二维振镜无法实现三维工件立体标刻的问题；大工件产品无需通过移动拼接方式实现激光精细加工。
扫描振镜偏转反射镜片角度感应偏转电机振镜本实用新型二维振镜激光光束扩束系统振镜系统大工件镜片标刻三维精细加工拼接方式三维工件直线电机镜片组一次性移动组激光扫描移动

[实用新型]一种光谱仪系统-CN201821964097.8有效
发明人：苏胜飞 -专利权人：深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;雄安华讯方舟科技有限公司
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：本实用新型属于光学技术领域，提供了一种光谱仪系统，包括入射狭缝、准直透镜、色散元件、聚焦透镜、出射狭缝及探测器，扫描振镜以及振镜控制系统，通过振镜控制系统控制角度的扫描振镜来扫描和反射入射光，再通过色散元件进行分光将不同波长的单色光进行色散后，经由探测器获取各个旋转角度对应的光强信息，由于振镜的角度与波长一一对应，进而能够获取到入射光的光谱信息，使用振镜用来扫描光谱，取代了旋转光栅的光谱仪系统，过振镜控制系统能够准确控制扫描振镜的角度，使得光谱仪系统稳定可靠
光谱仪系统振镜控制系统扫描振镜色散元件入射光波长探测器振镜光学技术领域本实用新型测量精准出射狭缝光谱信息光强信息聚焦透镜入射狭缝扫描光谱旋转光栅制造成本准确控制准直透镜单色光分光色散反射扫描

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