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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种拼接靶材-CN201721749467.1有效
发明人：黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及拼接靶材，包括背板、设置在所述背板上的靶材组合件；所述靶材组合件包括若干靶材单元；所述若干靶材单元相互拼接形成所述靶材组合件；所述靶材组合四周边缘高度高于所述靶材组合件的中间高度。该拼接靶材通过在背板上设置由若干靶材单元相互拼接形成的靶材组合件，可以满足溅射或者半导体生成过程中对靶材尺寸的要求，另外，该靶材组合件四周边缘的高度高于该靶材组合件的中间高度，形成中间凹陷的结构，使得，溅射过程中，避免溅射粒子向靶材区域外溅射，从而提高了靶材的利用率，避免靶材资源浪费。
靶材组合件拼接靶材背板四周边缘溅射拼接本实用新型靶材区域溅射粒子中间凹陷对靶外溅半导体

[实用新型]一种拼接型陶瓷靶材-CN202023303456.5有效
发明人：周其刚;李宪民;侯金明 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拼接型陶瓷靶材，包括多个固定在背板上的陶瓷靶材片，两片相邻的陶瓷靶材片的接触面上设有形状相吻合从而能将两片相邻的陶瓷靶材片拼接在一起的拼接边；两个相邻陶瓷靶材片中的其中一个陶瓷靶材片的拼接边倒置，另一陶瓷靶材片的拼接边向上设置在向下设置的拼接边的下方，从而使所述两个相邻的陶瓷靶材片贴合在一起；所述拼接边包括第一拼接边，所述第一拼接边的形状为中心对称的倒S形，所述第一拼接边上设有相适应的凹槽和凸起本实用新型的陶瓷靶材片采用拼接边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，有利于提高产品质量。
一种拼接陶瓷

[实用新型]一种拼接式靶材装置-CN201921015854.1有效
发明人：常洪兴;徐胜 -专利权人：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请日： 2019-06-29 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及到离子溅射靶材技术领域，尤其涉及一种拼接式靶材装置。该拼接式靶材装置的中心靶材通过中心靶材固定螺钉固定在水冷背板的中心，中心靶材的四周与外围靶材紧密贴合在一起，外围靶材通过外围靶材固定螺钉固定在水冷背板上，这样当中心靶材消耗殆尽，需要更换时，只需要更换中心靶材，外围靶材无需更换，这就节省了靶材的成本；此外，水冷背板由黄铜材料制备而成，这样就增加了水冷背板的散热效率，提高了拼接式靶材装置的工作效率。总之，该拼接式靶材装置结构简单，散热效率高，使用成本低，适合推广使用。
一种拼接式靶材装置

[发明专利]拼接靶材形成方法-CN200910212187.0有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军;刘庆 -专利权人：宁波江丰电子材料有限公司
申请日： 2009-11-11 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：一种拼接靶材形成方法，包括：提供焊接材料，所述焊接材料包括：两块或者两块以上的靶材坯料籽块和背板；将两块或者两块以上的靶材坯料籽块进行拼接，形成靶材坯料；在靶材坯料的焊接面采用高温胶带密封靶材坯料籽块拼接处的缝隙；在所述背板的焊接面添加钎料；对所述添加钎料的背板和具有高温胶带的靶材坯料的焊接面进行焊接，形成靶材。本发明提供的拼接靶材形成方法能够降低大尺寸靶材的制造成本。
拼接形成方法

[发明专利]拼接靶材焊接方法-CN201710486838.X在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;仝连海;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：一种拼接靶材焊接方法，包括：提供背板和至少两块靶材籽块，以及多个耐热隔板；所述耐热隔板的厚度在靶材籽块之间的缝隙的期望宽度范围内；将所述靶材籽块和耐热隔板交错放置，靶材籽块的侧面贴合耐热隔板的板面，形成拼接式靶材；利用焊接工艺焊接所述拼接式靶材和背板，以形成背板式拼接靶材；去除耐热隔板。获得的大尺寸靶材的相邻靶材籽块的缝隙宽度为耐热隔板的厚度大小，即为期望宽度大小，借助耐热隔板能够有效的控制相邻靶材籽块的缝隙大小，容易操作。
靶材耐热隔板焊接拼接靶材拼接式背板焊接工艺大尺寸靶材板式拼接交错放置期望板面去除贴合侧面

[发明专利]一种旋转靶材的装配方法-CN202010344521.4有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;祝龙飞 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转靶材的装配方法。所述方法包括：将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接，相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙，在每个所述拼接缝隙中设置多个第一支撑件；每个所述第一支撑件均一部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间，另一部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间；在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件，所述第二支撑件为环状，套在所述背管上，将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开；用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封，得到装配后的旋转靶材。本发明提供的旋转靶材的装配方法可以使得到的装配后的旋转靶材在焊接时焊接结合率高，成品率高，拼接缝隙均匀，相邻旋转靶材表面高度一致性良好，表面无台阶。
一种旋转装配方法

[发明专利]拼接式磁控溅射平面靶材及其使用方法-CN202211046105.1在审
发明人：闫晓晖 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种拼接式磁控溅射平面靶材及其使用方法。其中，拼接式磁控溅射平面靶材包括各自独立且相互过盈连接的圆形靶材和若干个环形靶材，圆形靶材位于拼接式磁控溅射平面靶材的中心，环形靶材与圆形靶材同心设置且围绕圆形靶材的外周分布，外圈靶材的环宽根据磁控溅射的磁场强度对应设置通过将磁控溅射平面靶材分为多块同心设置且可以相互分离的独立靶材区域，在磁控溅射沉积过程中，可以方便的更换消耗完毕或接近消耗完毕的靶材结构，无需整体更换整个靶材，提高各区域靶材的利用率，提高经济效益。
拼接磁控溅射平面及其使用方法

[发明专利]一种拼接型钨镍合金靶材组件及其焊接方法-CN202211104273.1在审
发明人：姚力军;潘杰;周鹏飞;周友平;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种拼接型钨镍合金靶材组件及其焊接方法，将间隔板与待焊钨镍合金靶材交错放置并粘贴在一起，形成拼接型待焊钨镍合金靶材；在无氧铜背板与拼接型待焊钨镍合金靶材之间放置至少2根金属丝，而后将拼接型待焊钨镍合金靶材扣合，得到的待焊靶材组件经过加压焊接、冷却、拆除间隔板，得到拼接型钨镍合金靶材组件；所述焊接方法能够调控、制靶材之间的接缝尺寸，提高靶材的平整度，进而提高成品率；通过金属丝的设置，保证焊料层具有一定的厚度且厚度均匀
一种拼接镍合金组件及其焊接方法

[实用新型]一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材-CN202022398072.X有效
发明人：刘军社 -专利权人：宝鸡市佳军金属材料有限公司
申请日： 2020-10-26 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大面积玻璃镀膜用铌平面靶材，包括靶材，所述靶材的两侧分别连接有外框，且外框的内部连接有可将靶材进行更换的更换机构，本实用新型通过增加了更换机构，解决了喷涂大面积玻璃时拼接大面积的靶材时不稳定的问题，实现了拼接大面积靶材时保证了靶材的稳定性，增加了分隔板，保证了大面积靶材在拼接时缝隙不会过大或者过小，同时在喷涂玻璃时，可能因为喷涂的面积导致有的靶材先使用完成，可以通过更换机构单独对其中用完的靶材进行更换，在外框附近增加了通风管，可以使靶材在镀膜时可以进行散热，避免拼接口温度过高造成靶材损坏。
一种大面积玻璃镀膜平面

[实用新型]一种磁控溅射镀膜磁性靶材-CN202023303473.9有效
发明人：周其刚;李宪民;戴慧敏 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜磁性靶材，其特征在于所述磁性靶材是通过若干块同材质的磁性材料拼接而成，其拼接线的形状与磁场布局的形状一致。本实用新型所述靶材设计为多块靶材拼接而成，且拼接线按磁场布局设计，使磁力线可以沿拼接线轻松穿透，能够吸引离子轰击靶材表面，使磁性材料也能应用于各种磁控溅射镀膜中，丰富了靶材的多样性，便于生产更多样的镀膜材料
一种磁控溅射镀膜磁性

[发明专利]一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率的方法-CN201410001386.8有效
发明人：姚能健;黄威智;方家芳 -专利权人：昆山全亚冠环保科技有限公司
申请日： 2014-01-02 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率的方法，包括以下几个步骤：（1）根据残靶的溅射跑道，在所述残靶的冲蚀曲面内使用线切割机线切割残靶，得到多片拼接靶材；切割线的选取方法为：选择宽度垂直线，所述切割线与宽度垂直线的夹角在0～30°之间，所述宽度垂直线在残靶使用最深处且与残靶的宽度方向垂直；（2）对每个所述拼接靶材进行清洁；（3）将清洁后的拼接靶材拼接在一起，并将拼接后的靶材与背板焊合，焊合后再次装机进行溅射镀膜。本发明将磁控溅射镀膜用靶材的使用率提高至40%，同时，降低了生产成本，减少了资源浪费，本发明尤其适用于贵重金属和氧化物靶材。
一种提高磁控溅射镀膜用靶材使用率方法

[发明专利]拼接式旋转靶及其形成方法-CN201410261333.X无效
发明人：储培鸣;江昌翰 -专利权人：上海和辉光电有限公司
申请日： 2014-06-12 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本公开提供一种拼接式旋转靶及其形成方法。所述拼接式旋转靶包括内管和与其同轴心的靶材坯料以及设置在所述内管与所述靶材坯料之间的接合层，其特征在于，所述靶材坯料由至少两个靶材坯料段构成，且所述两个靶材坯料段之间的接缝处存在拼接面。通过改变拼接部位的形状，将拼缝在时间上累积的影响分散到更大的面积区域，减小了拼接处的膜质差异，从而减小了器件不良发生的可能性，提高了产品合格率。
拼接旋转及其形成方法

[实用新型]一种拼接型金属靶材-CN201922398725.1有效
发明人：周其刚;戴慧敏;李宪民 -专利权人：南京欧美达应用材料科技有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拼接型金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个相同的L型边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的L型边正放，另一金属靶材片的L型边倒扣在正放的金属靶材片的L优点：本实用新型的金属靶材采用L型拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过凹槽和凸起的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。
一种拼接金属

[实用新型]一种旋转靶材拼接缝清理机-CN202320285612.4有效
发明人：张蛟;徐国军;刘丽红;蒋明伟 -专利权人：安徽狄拉克新材料科技有限公司;宣城先进光伏技术有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及清理机技术领域，具体涉及一种旋转靶材拼接缝清理机，包括底座；还包括：旋转台，设置于底座上方两端；移动导轨，设置于底座上方，且位于两个旋转台之间；清理组件，活动设置于移动导轨的上方；通过旋转台将拼接靶材悬置于移动导轨上方，使得靶材能够借助旋转台在底座上转动，并将清理组件的清理端与拼接靶材的缝隙贴合，通过清理组件的清理端与拼接靶材的缝隙之间的摩擦力，以去除拼接靶材的拼接缝隙内的焊料，从而能够快速彻底的清理拼接焊料缝隙内的焊料效果
一种旋转靶材拼接缝清理

[实用新型]一种多片拼接平面绑定靶材工装-CN202220723711.1有效
发明人：张凤戈;岳万祥;李航;孙建朋;缪磊 -专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请涉及靶材绑定的技术领域，特别涉及一种多片拼接平面绑定靶材工装，一种多片拼接平面绑定靶材工装应用于将多片靶材固定在背板上，包括粘接盛放多片靶材的保护板，所述保护板上设置有多个均匀分布限位件，且所述限位件处于相邻靶材之间本申请提高了对靶材的绑定效果。
一种拼接平面绑定工装

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