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[发明专利]一种成膜材料及配制方法及用该成膜材料成膜的带膜试纸-CN201410192794.6有效
发明人：李毅;李洪;陈伟 -专利权人：重庆锐今生物制品有限公司
申请日： 2014-05-07 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： D21H19/70 文献下载
摘要：一种成膜材料，包括原料：聚乙烯、聚丙烯酸、聚乙烯醇缩甲醛、聚甲基丙烯酸甲酯、明胶、聚维酮、聚乙烯醇、甲基纤维素、羧甲基纤维素、乙基纤维素、羟乙基纤维素、羟丙基甲基纤维素、羟丙基纤维素、醋酸纤维素、十二烷基聚氧乙烯醚、乙醇、甲苯和丙酮；其配制方法为分步骤混合，得到能均匀成膜的成膜材料，使用该成膜材料能在试纸本体上制得孔径均匀，分布均匀的透明多孔膜，血液中的红细胞不能通过膜孔，擦拭、抖动之后即能进行准确判读。
一种材料配制方法试纸

[发明专利]成膜装置用结构部件及其清洗方法-CN200480002351.0有效
发明人：平田招佑;矶田伸二;门肋丰;虫明克彦 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2004-01-22 - 公布日： 2006-02-22 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本发明内容为：作为使用成膜材料在衬底上生产薄膜的成膜装置用结构部件，即使是具有不易使附着膜破裂、脱落的表面构造的上述成膜结构部件，也可使其在清洗时迅速轻松地除去附着膜的结构部件及清洗方法。为了使清洗液能流入成膜装置用结构部件与附着膜(生产薄膜时产生的由成膜材料构成的)之间的界面，在结构部件上从里到外打了很多通孔。这时溶解附着膜就比只从表面溶解附着膜要快且容易得多。
装置结构部件及其清洗方法

[发明专利]一种安全纯天然果蔬保鲜用成膜材料的制备方法-CN201210217321.8无效
发明人：杨宏顺;陈亚敏;陈复生;刘伯业;高艳秀;布冠好;刘昆仑;李蒙;王萌蕾;杨颖莹;王洪杰;李彦磊;郭珍;李润洁 -专利权人：河南工业大学
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： A23B7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种安全纯天然果蔬保鲜用成膜材料的制备方法，按如下操作进行：取大豆分离蛋白8-12g，加入1000ml蒸馏水中，50℃加热搅拌使之分散均匀。缓慢加入75-85ml冰醋酸，边加边搅拌均匀，得到成膜溶液A；将2-4g纳米SiOx加入至成膜溶液A中，超声(功率270W，时间20min，频率45KHz，温度为40℃)使其溶解得到成膜溶液B；用0.1mol/L的NaOH溶液调节成膜溶液B的pH值到11，搅拌0.5h混合均匀，得到成膜材料，所述成膜材料为液态。本发明的制备方法制成的果蔬保鲜用成膜材料，由纯天然物质组成、安全无毒、使用方便、对果蔬与果蔬制品保鲜效果明显。
一种安全天然保鲜用成膜材料制备方法

[发明专利]成膜装置、成膜方法以及存储介质-CN201810206185.X有效
发明人：藤川诚;新纳礼二;桥本浩幸;山口达也;野泽秀二 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及成膜装置、成膜方法以及存储介质。能够在纵型的反应容器内对被棚架状地保持的多个基板进行成膜处理时分别控制基板的中心部的膜厚和周缘部的膜厚。具备：成膜气体喷出部，设置在反应容器内的基板的保持区域的后方，用于喷出所述成膜气体；排气口，设置在基板的保持区域的前方，用于排出成膜气体；旋转机构，用于使基板保持器具绕纵轴进行旋转；以及加热部，将反应容器内加热至比从成膜气体喷出部喷出的成膜气体的温度低的温度在成膜气体喷出部中，第一喷出口和第二喷出口各自朝向不同的方向开口，使得从第一喷出口喷出的成膜气体与反应容器内的气体降温用构件碰撞而降温，从第二喷出口喷出的成膜气体不与气体降温用构件碰撞。
装置方法以及存储介质

[发明专利]一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法-CN202010029380.7在审
发明人：张勇;陈超颖;张秀梅;姚菊明 -专利权人：浙江理工大学
申请日： 2020-01-13 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： D21C9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种正性光刻胶用纤维素基成膜树脂的制备方法。采用方法的要点是以溶解浆纤维素为基础原料，对其进行酯化改性，制备环境友好的正性光刻胶用纤维素基成膜树脂。本发明在制备正性光刻胶用成膜树脂的原料中引入溶解浆纤维素，扩充了其原料范围，在保证成膜树脂良好性能的基础上，降低了正性光刻胶用成膜树脂的生产成本，提高了经济效益；同时有利于提升成膜树脂产品的生物可降解性
一种光刻纤维素基成膜树脂制备方法

[发明专利]成膜设备、成膜设备的控制设备以及成膜方法-CN202080099470.1在审
发明人：药师神弘士;坂本怜士;芝本雅弘 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：根据本发明的成膜设备具有工艺腔室和设置在工艺腔室中并且形成粘合膜的处理单元。
设备控制以及方法

[发明专利]成膜粉末、成膜方法以及成膜粉末的制备方法-CN202310769970.7在审
发明人：木村裕司;高井康;中村成亨 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C24/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种成膜粉末、成膜方法以及成膜粉末的制备方法。具体涉及一种含稀土氟氧化物的成膜粉末，其平均颗粒尺寸D50为0.6μm至15μm，通过压汞法测量的≤10μm的孔隙的总体积为0.51cm3/g至1.5cm3/g，且BET表面积为3m2/g至50m2/g，该成膜粉末适于以高成品率或沉积率和高生产率来形成致密膜可通过在稀土氧化物颗粒表面形成稀土氟化铵复盐以提供前体颗粒，并在350℃至700℃的温度下对该前体颗粒进行热处理来制备具有较大孔隙体积的成膜粉末。
粉末方法以及制备

[发明专利]成膜装置及使用该成膜装置的成膜方法-CN200910165014.8有效
发明人：曾田岳彦;荣田正孝;宫田一史 -专利权人：佳能株式会社;株式会社日立显示器
申请日： 2009-07-28 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种成膜装置和使用该成膜装置的成膜方法，它们能够形成具有良好尺寸精度以及具有基板与掩模之间在将基板压向掩模时于平面方向上的减小的不对准的像素图案。该成膜装置包括使基板和掩模相互对准的对准机构以及用设置于挤压体的一端的接触部件将基板压向掩模的挤压机构，其中该挤压体被设置于真空室中。
装置使用方法

[发明专利]一种成膜装置、成膜方法及成膜源-CN201710192899.5有效
发明人：田宁;赵云;张为苍;李建华;杨辅 -专利权人：信利半导体有限公司
申请日： 2017-03-28 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种成膜装置、成膜方法及成膜源。该成膜装置包括具有成膜室、成膜源，成膜源包括加热坩埚、和至少两个缓冲件以及驱动件；其中，加热坩埚包括用于收容成膜材料的坩埚以及用于加热所述坩埚内的成膜材料的加热件；每一缓冲件包括恒温容器、位于恒温容器底部的下阀门本成膜装置控制膜厚时，无需要知道具体的材料蒸气压与温度之间的对应关系，只需要了解恒温容器的压力与膜厚之间的简单关系，简化工作难度，提高生产效率以及良品率。
一种装置方法成膜源

[发明专利]成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法-CN201710277788.4有效
发明人：蒋国;刘洋;尚跃东;李建;杨乐;刘金伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司
申请日： 2017-04-25 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜速率检测模组、成膜设备、成膜速率检测方法，属于成膜速率检测技术领域，其可至少部分解决现有的成膜速率检测技术检测准确率低的问题。本发明的成膜速率检测模组包括：多个主传感器，其用于检测其上形成薄膜的速率；遮蔽各主传感器且具有主开口的主挡板，其能运动以使主开口轮流对应每个主传感器；辅传感器，其用于检测其上形成薄膜的速率；遮蔽辅传感器且具有辅开口的辅挡板
速率检测模组设备方法

[发明专利]成膜粉末、成膜方法以及成膜粉末的制备方法-CN201910642933.3有效
发明人：木村裕司;高井康;中村成亨 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： C23C24/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种成膜粉末、成膜方法以及成膜粉末的制备方法。具体涉及一种含稀土氟氧化物的成膜粉末，其平均颗粒尺寸D50为0.6μm至15μm，通过压汞法测量的≤10μm的孔隙的总体积为0.51cm3/g至1.5cm3/g，且BET表面积为3m2/g至50m2/g，该成膜粉末适于以高成品率或沉积率和高生产率来形成致密膜可通过在稀土氧化物颗粒表面形成稀土氟化铵复盐以提供前体颗粒，并在350℃至700℃的温度下对该前体颗粒进行热处理来制备具有较大孔隙体积的成膜粉末。
粉末方法以及制备

[发明专利]成膜设备和使用该成膜设备的成膜方法-CN201910599227.5有效
发明人：出村和哉;堀江贵将;小林宽之 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本公开涉及一种成膜设备，所述成膜设备在腔室中包括：基材支撑机构，所述基材支撑机构构造成使由所述基材支撑机构支撑的基材围绕第一轴线旋转；以及第一阴极部分，成圆柱形状的包含成膜材料的靶安装在所述第一阴极部分上本公开还涉及一种成膜方法和制造镜头的方法。
设备使用方法

[发明专利]成膜基板、成膜基板的制造方法及成膜装置-CN201110055790.X无效
发明人：岩田宽 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2011-03-08 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜基板、成膜基板的制造方法及成膜装置，其谋求降低膜厚的同时不需要蚀刻工序且谋求低成本化，并且具有凹凸结构的薄膜层成膜于被成膜基板表面。成膜基板(1)为具有凹凸结构的薄膜层(3)成膜于被成膜基板(2)表面的平坦部的基板，其凹凸结构通过成膜含氧化铟的薄膜层(3)而形成。另外，成膜基板(1)的制造方法为制造具有凹凸结构的薄膜层(3)成膜于被成膜基板(2)表面的平坦部的基板(1)的方法，该制造方法具有薄膜工序，所述薄膜工序为如下工序：在被成膜基板(2)表面成膜含氧化铟的薄膜层(3)，并通过进行该成膜形成凹凸结构。由此，不需要用于形成凹凸结构的蚀刻工序，且谋求低成本化，并通过设成含氧化铟的透明导电膜(3)来降低膜厚。
成膜基板制造方法装置

[发明专利]成膜基板的制造方法、成膜基板及成膜装置-CN201110295469.9无效
发明人：岩田宽 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2011-09-27 - 公布日： 2012-05-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种成膜基板的制造方法、成膜基板及成膜装置，所述成膜基板实现了提高玻璃基板与钼层的粘附力。在含有预定量氧的第1气氛中，在玻璃基板(2)的表面成膜第1钼层(3a)，在含氧率低于第1气氛的第2气氛中，在第1钼层(3a)的表面成膜第2钼层(3b)。由此，能够在玻璃基板(2)上成膜包含氧化钼的粘附层(3a)，并在该粘附层(3a)上成膜钼层(3b)。
成膜基板制造方法装置

[发明专利]成膜掩模、成膜装置、成膜方法以及触摸面板基板-CN201480049663.0有效
发明人：杉本重人 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及成膜掩模、成膜装置、成膜方法以及触摸面板基板。本发明为具备：第一掩模(2)，其形成有与在基板上成膜的薄膜图案相同的形状尺寸的多个第一开口图案(4)；以及第二掩模(3)，其形成内含上述多个第一开口图案(4)中的至少一个的大小的第二开口图案(10)，并以相对于该第一掩模
成膜掩模装置方法以及触摸面板