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[发明专利]微细电化学加工的自适应进给控制系统-CN202211300483.8在审
发明人：张建华;高洪;杜欣如;康伟健;杨志远;高世平;李鲁;葛红宇 -专利权人：南京工程学院
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G05B13/04 文献下载
摘要：本发明公开了微细电化学加工的自适应进给控制系统，包括上位控制单元、加工控制单元、宏运动机构、微运动机构、纳秒脉冲电源和纳秒脉冲在线检测电路；加工控制单元接收、执行用户指令，执行必要的采集、计算、驱动操作，实现预定算法；由加工控制单元得到监测加工电流和实际间隙；纳秒脉冲在线检测电路包括信号拾取与转换电路和采集与控制电路，用于加工电流的脉冲参数检测与加工间隙的断/短路状况判别，表征加工间隙，形成进给反馈，实现加工进给的闭环控制；利用宏运动机构和微运动机构分别实现大行程运动和细微进给；由此实现微细电化学加工间隙的精确控制，达到稳定间隙乃至恒间隙加工，满足微细加工工艺要求。
微细电化学加工自适应进给控制系统

[发明专利]磁悬浮伺服驱动主轴宏微复合微细电火花加工方法及装置-CN202111408666.7有效
发明人：郭永丰;冯业瑞;凌泽斌;刘洋;王力 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B23H1/00 文献下载
摘要：磁悬浮伺服驱动主轴宏微复合微细电火花加工方法及装置，属于电火花加工技术领域。为了解决磁悬浮伺服驱动主轴系统主轴平动行程小、难以实现较大尺寸结构的微细电火花加工的问题，将把微观尺度加工与宏观形位尺寸结合起来，进行大尺寸工件微结构加工。该加工方法，包括以下步骤：S1.驱动电火花加工机床工作台，实现工作位置定位；S2.进行磁悬浮伺服驱动主轴转子的悬浮控制参数计算；S3.驱动磁悬浮伺服驱动主轴系统，进行微细电火花加工；S4.向电火花加工机床进给机构发送位移进给信号，由电火花加工机床实现大尺寸位移定位；本发明充分利用磁悬浮伺服驱动主轴的快速响应特性和电火花加工机床的大行程进给，提高大尺寸工件微结构加工效率。
磁悬浮伺服驱动主轴复合微细电火花加工方法装置

[发明专利]一种电容诱导的微细电火花加工脉冲电源-CN201811453650.6有效
发明人：孔全存;刘桂礼;田元波;温杰超;牛献礼;赵双琦 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B23H1/02 文献下载
摘要：本发明公开一种电容诱导的微细电火花加工脉冲电源，包括：脉间电容等能量消电离模块、电容诱导高压引燃模块、电压检测模块、非接触式电流检测模块、高压引燃‑脉冲电流选择器、电容诱导微细电火花放电控制模块；电容诱导微细电火花放电控制模块根据加工脉冲信号对脉间电容等能量消电离模块和电容诱导高压引燃模块进行相应控制本发明将电容诱导式微火花放电过程与高效加工脉冲电源技术相结合，将放电一致性好的等能量模式与具有更高放电频率和加工速度的等脉宽模式相统一。本发明中电容诱导式高效脉冲电源进行微细电火花加工，有效提高放电率、放电一致性和能量利用率，实现短时高电流密度的微火花放电过程。
电容诱导脉冲电源引燃微细电火花加工电离放电控制模块微细电火花火花放电放电脉宽电流检测模块电压检测模块能量利用率放电频率非接触式高效加工脉冲电流脉冲信号能量模式一致性好放电率选择器诱导式加工统一

[实用新型]多功能微细电加工机床-CN200620043675.5无效
发明人：赵万生 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2006-07-06 - 公布日： 2007-07-25 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：一种多功能微细电加工机床，属于特种加工领域。本实用新型可以实现微细电火花加工、微细线切割加工和微细电化学加工功能。
多功能微细加工机床

[发明专利]超精密复合加工装置中的加工机构的判断方法及超精密复合加工装置-CN201280043552.X有效
发明人：进藤崇;内野野良幸;奥川公威;浦田昇;黒木昭二;福冈成;坂口笃史 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2012-12-14 - 公布日： 2014-05-07 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：一种在从被加工件制造微细加工物的超精密复合加工装置（100）中判断加工机构的方法，其特征在于，超精密复合加工装置（100）具有：用于粗削被加工件的电磁波加工机构（10）、用于对粗削过的所述被加工件施行精密加工的精密机械加工机构（30）、以及用于在电磁波加工机构（10）及精密机械加工机构（30）的使用时测量被加工件的形状的形状测量机构（50），在加工机构的判断中，基于微细加工物的立体形状模型的信息、与在微细加工物的制造时从被加工件去除的去除体积有关的信息；以及，与电磁波加工机构（10）的去除加工时间有关的数据及与精密机械加工机构（30）的去除加工时间有关的数据，进行是使用电磁波加工机构（10）或者是精密机械加工机构（30）的判断。
精密复合加工装置中的机构判断方法

[发明专利]一种多维连续微细结构的激光植入制备方法-CN201510588239.X在审
发明人：黄志刚;印四华;李洪辉;杨青天;郭钟宁;杨洋 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2015-09-16 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种多维连续微细结构的激光植入制备方法，属于表面微细结构加工、微纳米技术领域；本发明是通过移动三维精细平台的3D打印式扫描进给，配合激光的重复照射，并不断补充含有微细颗粒的悬浊液，在基材上制备出多层次的微细结构的方法；本方法可以在基片上制备出多层次相同材质的微细结构，也可以制备不同材质的多层次微细结构，本方法可以提高植入微细结构层与层之间的结合强度，也可以改善植入结构的结合强度和外观形貌，由于本方法的激光不与靶材直接作用
一种多维连续微细结构激光植入制备方法

[发明专利]一种制备Δ型硬质合金微细铣刀的装置-CN201310112029.4无效
发明人：李志永;孙建军;季画 -专利权人：山东理工大学
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B23H3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种结合超声辅助微细电解制备Δ型硬质合金微细铣刀的装置，其特征在于，其包括：电解液槽（1），工具电极丝（2），Δ型硬质合金微细铣刀（3），刀具夹具（4），电机（5），阀门（6），电解液槽进液管（7），压力泵（8），过滤器（9），电解液存贮箱（10），电解液槽排液管（11），工作台（12），超声辅助装置（13），利用超声加速微细电解加工间隙内电解产物及氢气的排出，利用微细电解的良好的溶解定域性和优良的表面质量控制能力，实现硬质合金微细铣刀切削刃及且削面的成型，能够做到高精度、高效率、低成本的制备Δ型硬质合金微细铣刀。
一种制备硬质合金微细铣刀装置

[发明专利]一种三维微细电火花电极制作方法-CN201310046108.X无效
发明人：伍晓宇;徐斌;梁雄;罗烽;彭太江;阮双琛 -专利权人：深圳大学
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： B23H1/04 文献下载
摘要：一种三维微细电火花电极制作方法，依次有以下步骤：1)建立三维微细电火花电极的CAD几何模型；2)将三维微细电火花电极CAD几何模型沿其高度方向离散切片，转换为离散切片CAD几何模型；3)将离散切片CAD几何模型转换为相互平行的一组二维薄片电极数据模型，近似地叠加拟合成三维微细电火花电极数据模型；4)依照二维薄片电极的数据采用激光切割设备对薄片电极材料进行切割，获得二维薄片电极；5)将对应的二维薄片电极逼近组合成组合式三维微细电火花电极本发明方法基于三维CAD几何模型将三维微细电火花电极制作简化，可以显著提高加工效率，明显降低微电极的损耗，还可以对含有复杂微结构的三维微模具进行高效率的加工。
一种三维微细电火花电极制作方法

[发明专利]微细图案制作用振动切削装置-CN202180025559.8在审
发明人：李承俊 -专利权人：李承俊
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B23B29/14 文献下载
摘要：本发明涉及微细图案制作用振动切削装置，更详细地，包括：切削部，能够对加工工件的表面进行加工；以及震荡部，与上述切削部连接，用于产生振动，上述震荡部使对上述加工工件执行切削加工的切削部发生振动，以在上述加工工件的表面进行基于振动的图案加工并且，根据本发明，本发明具有如下效果，可以在加工工件的表面精确地进行微细图案加工，可以提高发生振动的切削刀片的响应性。
微细图案制作振动切削装置

[发明专利]一种激光诱导氧化辅助微细车削加工装置及其方法-CN201710536922.8有效
发明人：赵国龙;闫继豪;李亮;何宁;郝秀清;杨吟飞;赵威 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2017-07-04 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： B23P23/04 文献下载
摘要：本发明公开一种激光诱导氧化辅助微细车削加工装置及其方法，包括微细车削装置，激光诱导氧化装置，激光器调焦装置，距离传感器以及控制装置。加工过程中利用激光诱导氧化的方法将陶瓷、硬质合金等高硬材料变质成疏松易去除的氧化层，降低切削载荷，减少刀具磨损，采用距离传感器实时检测待加工区域材料与激光诱导氧化装置中聚焦透镜的距离，利用控制装置控制激光器调焦装置及时调整激光焦距，能够有效保证氧化层的一致性，保证加工精度。利用本发明所提出的加工装置及其加工方法能够实现陶瓷、硬质合金等高硬材料高精度的微细车削加工。
激光诱导微细硬质合金车削加工装置距离传感器调焦装置控制装置氧化装置氧化层硬材料等高陶瓷控制激光器车削加工车削装置刀具磨损激光焦距加工区域加工装置聚焦透镜实时检测激光器切削去除疏松加工变质保证

[发明专利]一种激光双重改性辅助微细切削加工工艺-CN202211343323.1在审
发明人：赵斌;张凌浩;王瑞斌;周天丰;王西彬;焦黎;梁志强;刘志兵;颜培;仇天阳;刘朋 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种激光双重改性辅助微细切削加工工艺，涉及加工工艺技术领域，包括：步骤一、利用激光对待加工区域进行烧蚀改性并形成烧蚀层；步骤二、采用切削加工去除烧蚀层，完成待加工区域的粗加工；步骤三、采用连续性激光器辅助加热软化改性和金刚石微细铣刀复合，完成待加工区域的精加工。本发明提供的方案能够提高对超硬材料表面加工的加工效率和加工质量。
一种激光双重改性辅助微细切削加工工艺

[发明专利]器件的制造方法和观察方法-CN200410074250.6无效
发明人：新谷俊通;安斋由美子;峰邑浩行;宫本治一 -专利权人：株式会社日立制作所
申请日： 2004-09-03 - 公布日： 2005-03-30 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：在使用光或电子束的加工中，由被抗蚀剂吸收的光或电子的总量来决定反应性，因此不能进行微细加工。另一方面，虽然提出了热记录，但由于进行记录的光或电子束的光点大小不同，在加工尺寸的微细化上也存在限制。使高再现性制作微细图案成为可能。
器件制造方法观察

[发明专利]一种基于MEMS微细线圈的微区域磁化装置及方法-CN202111437891.3在审
发明人：谢晋;支钞;屈明山;李严军;王颉;张慧;刘鑫;陶宏 -专利权人：中国工程物理研究院电子工程研究所
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： H01F13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS微细线圈的微区域磁化装置及方法，所述装置包括包括：脉冲电源、细微线圈、基体和永磁薄膜；所述方法包括：首先利用微纳加工工艺制备微细线圈，接着制备永磁薄膜，将永磁薄膜贴合在微细线圈的基体上，在微细线圈上接通脉冲电源后，即可实现永磁体的磁化。本发明基于MEMS工艺制备了磁体磁化用的微细线圈，这种微细线圈制作工艺可减小磁化区域特征尺寸和复杂线圈图形制作的难度，本发明利用尺寸较小、形状可任意调整的MEMS微细线圈实现永磁体的微区域磁化，解决了现有技术中无法制备尺寸较小、形状复杂的微细线圈的问题，为电磁传感器、执行器等电子器件微型化提供了可能。
一种基于 mems 微细线圈区域磁化装置方法

[发明专利]金属微细管的旋转弯曲设备-CN201710509397.0有效
发明人：张自成;申玉鑫;许艳云;孔祥伟 -专利权人：东北大学
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： B21D7/14 文献下载
摘要：本发明提供一种金属微细管的旋转弯曲设备，包括：旋转系统，包括两个相向设置的旋转组件，两个旋转组件用于自金属微细管两个末端同步匀速转动整根所述金属微细管；推进组件，包括原始位置和工作位置，所述推进组件在原始位置和工作位置之间切换时促使匀速转动的金属微细管在直线状态和拉伸弯曲状态之间切换；电机调位系统，用于在金属微细管的状态切换过程中，同步调整所述两个旋转组件的输出轴延伸方向，使得每一个旋转组件输出轴的延伸方向与对应金属微细管末端的延伸方向一致，防止金属微细管上与旋转组件固定的区域发生塑性变形上述设备可以实现加工的金属微细管的力学性能(如强度、塑性)的显著提升。
金属微细旋转弯曲设备

[发明专利]一种小口径光学元件抛光方法及装置-CN201210168034.2有效
发明人：陈逢军 -专利权人：湖南大学
申请日： 2012-05-28 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种小口径光学元件抛光方法及装置，属于超精密光学抛光加工技术领域，工件待加工面上方固定一个和待加工面形状吻合的带有槽路的限流块，工件绕自身回转轴旋转，利用微细磨粒流体在槽路形成柔性循环抛光带并对工件面进行加工利用压强差与流体吸出的方式，增强微细磨粒流体的流动性、滑擦性；复合轴对称旋转曲面工件的超声振动，增强微细磨粒对工件的撞击与剪切效果，从而加强材料去除率，高效率地获得高质量的表面，实现表面无损伤的微量去除特点它适用于各种回转对称光学元件的曲面超精密抛光加工，对于自动化加工有较高的实用价值。
一种小口径光学元件抛光方法装置