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[实用新型]一种植物光照装置-CN201120289361.4有效
发明人：许毅钦;范广涵;周德涛;贺龙飞;郑树文 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2011-08-10 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： A01G7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种植物光照装置，包括一个以上的照射单元、可控恒流电源、水泵、传感器组、显示电路、按键控制电路和微机电路；每个照射单元包括LED光源电路板、铝基板和多个LED光源。LED光源焊接在LED光源电路板上，LED光源电路板连接到由微机电路控制的可控恒流电源，通过微机电路自动调节LED光源的光强；本实用新型装置可根据照射面积选择照射单元的数量，两个以上的照射单元通过电器连接拼凑使用该装置可根据不同植物种类选择不同的光照方式，同时根据外界温度、光强和湿度，通过微机电路自动调节LED光源光强和照射方法，最优化地促进植物生长。
一种植物光照装置

[发明专利]微机电麦克风及其制造方法-CN201410306987.X有效
发明人：毛剑宏 -专利权人：上海丽恒光微电子科技有限公司
申请日： 2014-06-30 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供了微机电麦克风及其制作方法，所述微机电麦克风制作方法包括：半导体基片；形成底部电极和位于底部电极外围的互连电极；形成第一牺牲层，所述第一牺牲层覆盖所述底部电极、部分互连电极和暴露的半导体基片；形成振膜电极；在第一牺牲层和振膜电极上形成第二牺牲层；形成介质层；从半导体基片背面刻蚀所述无器件的间隔区域，形成暴露第一牺牲层的底部导气孔；刻蚀所述介质层，在其表面形成顶部导气孔；利用所述底部导气孔和顶部导气孔去除所述第一牺牲层和第二牺牲层本发明所述微机电麦克风形成于半导体基片一侧表面，制造方法与CMOS工艺相兼容，易于器件微缩并集成至半导体芯片中。
微机麦克风及其制造方法

[发明专利]一种破碎机节电器-CN200610141721.X无效
发明人：许俊 -专利权人：许俊
申请日： 2006-10-03 - 公布日： 2007-07-25 - 主分类号： B02C25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种破碎机节电器，其特征在于：所述破碎机节电器包括破碎机主电机、检测装置、变频器、微机智能自动控制装置、操作控制及显示单元、控制电源，操作控制及显示单元与微机智能自动控制装置电连接，控制电源与变频器、微机智能自动控制装置电连接，微机智能自动控制装置与检测装置电连接，变频器与微机智能自动控制装置、检测装置电连接，检测装置与主电机电连接。所述微机智能自动控制装置与传感器电连接。所述破碎机节电器还包括一切换组件。所述切换组件包括断路器、接触器、开关与按钮。本发明具有可实现自动控制、节电率可调、节电效果显著的优点。
一种破碎节电

[发明专利]智能控制通风调节器-CN201110400991.9无效
发明人：承方;许云霞 -专利权人：承方;许云霞
申请日： 2011-12-06 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： F24F11/02 文献下载
摘要：智能控制通风调节器由机柜、进风装置、风机、出风装置、传感装置和微机电器控制器六大结构组合而成。传感器采集的数据直接传输给微机控制装置，由微机电器控制器控制风机、冷热交换器等装置或通过电器控制器实施报警或通讯。机柜的上方开有一湿度控制进风门，控制温度与湿度。
智能控制通风调节器

[实用新型]智能控制通风调节器-CN201120502840.X有效
发明人：承方;许云霞 -专利权人：承方;许云霞
申请日： 2011-12-06 - 公布日： 2012-08-22 - 主分类号： F24F11/02 文献下载
摘要：智能控制通风调节器由机柜、进风装置、风机、出风装置、传感器装置和微机电器控制器六大结构组合而成。传感器采集的数据直接传输给微机控制装置，由微机电器控制器控制风机、冷热交换器等装置或通过电器控制器实施报警或通讯。机柜的上方开有一湿度控制进风门，控制温度与湿度。
智能控制通风调节器

[发明专利]温度补偿微机电振荡器-CN201410095280.9有效
发明人：谢水源;李炘纮 -专利权人：加高电子股份有限公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： H03L1/04 文献下载
摘要：一种温度补偿微机电振荡器。此温度补偿微机电振荡器包含微机电(Micro Electro Mechanical Systems；MEMS)振荡子组、加热器、连接体以及控制器。微机电振荡子组包含第一微机电振荡子以及第二微机电振荡子。第一微机电振荡子是用以输出主要振荡频率。第二微机电振荡子是用以根据第二微机电振荡子的温度来输出辅助振荡频率。加热器是用以提高微机电振荡子组的温度。连接体是连接于加热器以及微机电振荡子组之间，以将加热器的热能传送至微机电振荡子组，且电性隔离加热器与微机电振荡子组。
温度补偿微机振荡器

[发明专利]一种微机电系统芯片及其制造方法-CN201710872280.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：苏州微密微光电科技有限公司
申请日： 2017-09-25 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电系统芯片及其制造方法，属于微机电系统技术领域，常用的微机电系统驱动器为实现面外驱动，需要高低梳齿结构，而制作高低梳齿工艺具有一定难度，导致成品率不高。并采用SOI硅片加工，SOI的正面单晶硅器件层即为机械结构层，背面为支撑结构。驱动器直接采用DRIE平面刻蚀，一次成型。简化了制造工艺，大大降低加工成本和加工难度，提高成品率。
微机电系统芯片驱动器支撑结构成品率加工微机电系统技术大角度扫描单晶硅器件微机电系统机械结构快速扫描内驱动器驱动结构驱动扭矩梳齿结构一次成型制造工艺刻蚀梳齿制造背面驱动制作

[发明专利]一种光电探测芯片以及制备方法-CN202110227413.3有效
发明人：李刚;胡维;李萍萍 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电光电探测芯片以及制备方法。该微机电光电探测芯片包括：衬底；空气腔体，空气腔体位于衬底的第一表面，其中，空气腔体包括网状结构薄膜和腔体，网状结构薄膜覆盖腔体，且网状结构薄膜设置有至少一个释放孔，腔体用于连通不同的释放孔；悬浮结构，悬浮结构位于衬底的第一表面，悬浮结构覆盖空气腔体，其中，在远离空气腔体的方向上，悬浮结构依次包括支撑层和光电转换器件。本发明实施例提供的技术方案，降低了微机电光电探测芯片的工艺难度。
一种光电探测芯片以及制备方法

[实用新型]一种微机电数字地震检波器通讯系统-CN201020572279.8无效
发明人：李守才;马国庆;王辉明;袁昊;肖翌 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油物探技术研究院
申请日： 2010-10-22 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： G01V1/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种微机电数字地震检波器通讯系统，属于数据通讯领域。本实用新型包括上行数据通道和下行数据通道，本实用新型采用低功耗、低成本的现有商用器件FPGA，通过逻辑和时序电路的设计，实现了低功耗、高速率的数据传输，可以解决地震勘探中在河流、森林、悬崖等复杂地形下数据的传输问题本实用新型与与微机电数字检波器、中央数据记录与处理单元一起，构成了完备的微机电地震数据采集系统。
一种微机数字地震检波器通讯系统

[发明专利]微机电可调氮化物光波导器件的制备方法-CN201510357762.1在审
发明人：王永进;高绪敏;施政;李欣 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2013-03-29 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明提供微机电可调氮化物光波导器件的制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构，结合背后对准和深硅刻蚀技术，去除氮化物光波导器件和微纳驱动器件下方的硅衬底层，得到悬空氮化物光波导器件；采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得分离的氮化物光波导器件和微纳驱动器件；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，利用氮化物器件层和空气的折射率差异，实现氮化物光波导器件对光场的约束；相邻波导器件之间的距离可以通过微机电驱动器进行调控，由于耦合距离的改变，从而实现对光波导器件光学性能的调控。
微机可调氮化物波导器件制备方法

[发明专利]微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法-CN201310107095.2在审
发明人：王永进;高绪敏;于庆龙;施政;贺树敏;李欣;何颖洁;李丽 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2013-03-29 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构，结合背后对准和深硅刻蚀技术，去除氮化物光波导器件和微纳驱动器件下方的硅衬底层，得到悬空氮化物光波导器件；采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得分离的氮化物光波导器件和微纳驱动器件；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，利用氮化物器件层和空气的折射率差异，实现氮化物光波导器件对光场的约束；相邻波导器件之间的距离可以通过微机电驱动器进行调控，由于耦合距离的改变，从而实现对光波导器件光学性能的调控。
微机可调氮化物波导器件及其制备方法

[发明专利]一种PT对称侧动微机电系统-CN202010503760.X有效
发明人：王立峰;汪金泉;张曼娜;黄庆安 -专利权人：东南大学
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种PT对称侧动微机电系统，包括衬底、第一微机电结构、第二微机电结构、第一可调阻尼电路和第二可调阻尼电路，所述第一微机电结构、第二微机电结构设置在衬底上，第一微机电结构、第二微机电结构共享衬底，且为镜像对称结构；所述第一可调阻尼电路作用于第一微机电结构的等效阻尼和第二可调阻尼电路作用于第二微机电结构的等效阻尼符号相反、大小相等。本发明能使微机电系统获得更高灵敏度的微扰响应性能。
一种 pt 对称微机系统

[发明专利]半导体结构及其形成方法和人工智能芯片及其形成方法-CN201910973559.5有效
发明人：余兴;蒋维楠 -专利权人：芯盟科技有限公司;浙江清华长三角研究院
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：一种半导体结构及其形成方法和人工智能芯片及其形成方法，所述半导体结构包括：第一基底，所述第一基底具有非感应面，所述第一基底包括图像传感区和微机电系统区，所述图像传感区内具有图像传感器，所述微机电系统区内具有微机电系统器件；与所述第一基底键合的第二基底，所述非感应面朝向所述第二基底，所述第二基底包括存储区，所述存储区在所述第一基底表面具有第一投影，所述图像传感区在所述第一基底表面的投影在所述第一投影的范围内，且所述微机电系统区在所述第一基底表面的投影在所述第一投影的范围内
半导体结构及其形成方法人工智能芯片

[发明专利]电传线路自动转换开关-CN90106820.9无效
发明人：刘闽生;孟明 -专利权人：中国对外贸易运输总公司
申请日： 1990-08-16 - 公布日： 1991-02-20 - 主分类号： H04L5/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种专门用于PC-TLX设备的电传线路自动转换开关，其特点是开关采用微型继电器，并设有呼叫判别电路、忙闲判别电路、逻辑比较判断电路、逻辑开关电路和开关驱动电路等。本开关有四个输出接口，可同时接入三台微机电传通信设备和一台电传机(也可用微机代替)，输出的四个接口保证其中一路与电传线路连通，电传终端设备接口接入电传机或微机，并承担原电传机终端的所有职能，另三个接口接入三台微机电传通信设备
电传线路自动转换开关

[实用新型]单片机电机节电器-CN88218398.2无效
发明人：黄耀志 -专利权人：黄耀志;殷峻;黄道一
申请日： 1988-09-15 - 公布日： 1989-11-29 - 主分类号： H02P7/36 文献下载
摘要：本实用新型是一种单片机微机电机节电器。适用于负荷经常发生变化的电动机。将本节电器串入电机回路即可，视负载变化情况一般可节电40％左右。该节电器由单片微机，A/D转换器、变送器、控制主回路等主要部份组成，比国内早期出现的Y/△自动转换节电器具有更明显的节电效果，不会因负载突变造成停机故障，工作性能稳定，具有在各种负荷下自动寻优节电特点。
单片机电机节电