专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]压电MEMS麦克风-CN201910760704.1有效
  • 段炼;张睿;陈志远 - 瑞声声学科技(深圳)有限公司
  • 2019-08-16 - 2021-05-07 - H04R19/00
  • 本发明提供一种压电MEMS麦克风,包括具有腔体的基底和设置在基底上的压电振,基底包括环形底座以及设于环形底座内侧并与环形底座间隔设置的支撑柱,压电振包括多个沿支撑柱周向间隔设置的膜片,每一膜片包括与支撑柱连接的固定端和悬置于腔体上方的自由端本发明的压电MEMS麦克风,在声压的作用下,自由端发生振动,由宽的自由端带动短的固定端,靠近固定端的膜片发生更大的形变进而产生较多的电荷,因此,灵敏度可以进一步提高。
  • 压电mems麦克风

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