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[发明专利]改良石英坩埚及其制作方法-CN201810526785.4有效
发明人：王建军;李常国;李杰;何玉鹏;郭宝东 -专利权人：宁夏富乐德石英材料有限公司
申请日： 2018-05-29 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：一种改良石英坩埚及其制作方法，属于单晶硅制造设备技术领域，本发明通过增加石英坩埚外表面的粗糙度能够增加石英坩埚与石墨坩埚接触的孔隙率，在石英坩埚高温与石墨坩埚发生反应产生气体时，气体能够通过石英坩埚与石墨坩埚之间的孔隙导出，从而避免石英坩埚发生变形，另外，在石英坩埚内表面上喷射氢氧化钡溶液，以通过氢氧化钡与空气中的二氧化碳发生反应生成碳酸钡，再通过碳酸钡与石英坩埚发生反应生成硅酸钡，硅酸钡再诱导石英坩埚内表面生成一层致密的晶体方石英层，由于晶体方石英无软化点且强度高，提高了石英坩埚内壁的强度，从而防止了石英坩埚发生变形。本方法能够有效的减少石英坩埚在高温下发生变形，同时方便操作。
改良石英坩埚及其制作方法

[发明专利]一种异形PBN和石英组合坩埚-CN202011048268.4在审
发明人：罗福敏;胡昌勇 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。
一种异形 pbn 石英组合坩埚

[发明专利]晶硅提拉用增氧石英坩埚、其制备设备和方法-CN202210717949.8有效
发明人：王建军;李卫;李常国;何玉鹏;邓红 -专利权人：宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶硅提拉用增氧石英坩埚，包括透明层和气泡层，透明层位于气泡层内侧，气泡层外侧设置多个相间的凸起部。在高温下拉制晶硅过程中，石英坩埚的凸起部与单晶炉内的石墨坩埚内壁相接触，当石英坩埚的温度达到1100‑1200°后，石英坩埚开始由脆性变为蠕变性状态，软化状态的石英坩埚受到逐渐熔化的多晶硅料的朝外挤压，同时软化状态的石英坩埚外侧的凸起与石墨坩埚接触，使石英坩埚的外表面逐渐贴合在石墨坩埚内表面，石英坩埚凸起部将促使石英坩埚内表面产生内凸起，内凸起将增大石英坩埚与溶硅的接触面，同时内凸起将增加溶硅对石英坩埚的冲刷，促进石英坩埚中氧元素分解至溶硅中，提升晶硅中的整体氧含量和尾部氧含量。
晶硅提拉用增氧石英坩埚制备设备方法

[实用新型]一种异形PBN和石英组合坩埚-CN202022183332.1有效
发明人：罗福敏;胡昌勇 -专利权人：威科赛乐微电子股份有限公司
申请日： 2020-09-29 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体材料生产技术领域，公开了一种异形PBN和石英组合坩埚，包括石英坩埚、PBN坩埚和石英帽，所述石英坩埚包括包覆腔和石英坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚包括原料腔和PBN坩埚籽晶腔，所述PBN坩埚和石英帽均设置于石英坩埚的内腔中，所述石英帽设置在靠近石英坩埚的开口一端，且所述石英帽的开口朝向PBN坩埚；所述石英坩埚籽晶腔包括第一籽晶腔段和第二籽晶腔段，所述第二籽晶腔段与PBN坩埚籽晶腔的外壁紧密贴合，所述石英坩埚的第一籽晶腔段和包覆腔与PBN坩埚之间设置有间隔区。
一种异形 pbn 石英组合坩埚

[发明专利]一种使用磁铁控制石英坩埚的装置-CN202010590947.8有效
发明人：邾根祥;朱沫浥;王伟;齐亚芹;王卫 -专利权人：合肥科晶材料技术有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种使用磁铁控制石英坩埚的装置，属于石英坩埚设备技术领域，包括石英坩埚本体和加热炉本体，石英坩埚本体设置在加热炉本体内；石英坩埚本体包括石英管、石英盖板和石英坩埚座，石英管固定连接在石英坩埚座上，石英坩埚座内设有腔体，石英盖板活动连接在石英坩埚座的腔体内，石英管内设有耐高温金属丝，耐高温金属丝的一端连接有钕铁硼磁铁，钕铁硼磁铁位于石英管内，耐高温金属丝的另一端连接有氧化铝线，氧化铝线贯穿石英管的内壁，氧化铝线的一端连接在石英盖板上，石英管的一端外侧套设有与钕铁硼磁铁配合的钕铁硼磁环；本发明解决了现有技术中石英坩埚的位置固定无法移动和无法控制打开和闭合的石英坩埚的问题。
一种使用磁铁控制石英坩埚装置

[发明专利]一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的方法及坩埚结构-CN202210740026.4在审
发明人：马幼学 -专利权人：乌海市京运通新材料科技有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明具体涉及直拉单晶硅技术领域，具体涉及一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的方法及坩埚结构。所要解决的技术问题是在拉直多根单晶硅棒时，石英坩埚容易变形的问题。采用的技术方案为：一种提高直拉单晶石英坩埚使用寿命的坩埚结构，包括，设置在内侧用于装盛熔硅的石英坩埚和设置在外侧用于支撑所述石英坩埚的第一坩埚，其特征在于，所述石英坩埚外侧和和第一坩埚的内侧之间留有间隙，第一间隙内填充有高纯石英砂，所述高纯石英砂用于阻隔高温下石英坩埚与外侧的第一坩埚发生反应，本发明通过在石英坩埚和第一坩埚之间的第一间隙内填充高纯石英砂，将石英坩埚和第一坩埚之间原本的直接接触变为间接接触，可以达到保护石英坩埚外层的目的。
一种提高直拉单晶石坩埚使用寿命方法结构

[实用新型]一种提高单晶少子寿命的石英坩埚-CN201921701780.7有效
发明人：赵国伟;徐强;高润飞;王林;谷守伟;王建平;周泽;杨志;吴树飞;刘振宇;王鑫;刘学;皇甫亚楠;杨瑞峰;郭志荣 -专利权人：内蒙古中环光伏材料有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种提高单晶少子寿命的石英坩埚，包括石英坩埚主体和α‑方石英层，所述α‑方石英层设于所述石英坩埚主体的内壁上，所述α‑方石英层为α‑方石英。本实用新型的有益效果是在石英坩埚具有α‑方石英层，该稳定层为的α‑方石英结构，减少析晶层脱落，减少硅溶液对石英坩埚腐蚀，提高石英坩埚使用寿命，做到降本增效。
一种提高少子寿命石英坩埚

[实用新型]一种CFC单晶炉坩埚结构-CN201020696547.7有效
发明人：张志强 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种CFC单晶炉材料坩埚，用于支撑和保护高纯石英坩埚。坩埚为整体式坩埚，在坩埚的锅体上开设多个通孔。在分离石英坩埚和CFC坩埚时，可直接穿过CFC坩埚的埚体上的通孔对石英坩埚施力，破坏石英坩埚，从而分离石英坩埚和CFC坩埚，便于CFC重新投炉使用。
一种 cfc 单晶炉坩埚结构

[实用新型]石英坩埚自动包装系统-CN202121301023.8有效
发明人：张龙龙;王强山;张鹏 -专利权人：银川隆基光伏科技有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B65B35/18 文献下载
摘要：本申请提供一种石英坩埚自动包装系统，涉及石英坩埚包装技术领域，具体技术方案为：通过第一传输装置进行石英坩埚流转、翻转装置控制石英坩埚的翻转方式，搬运装置对石英坩埚进行搬运以及通过第二传输装置来运转包装箱，实现对不同尺寸石英坩埚的全自动包装。本实用新型用于石英坩埚自动包装，能够解决现有石英坩埚包装劳动强度大、作业效率低以及人员频繁接触造成石英坩埚污染的问题。
石英坩埚自动包装系统

[实用新型]单晶炉石英坩埚的安装装置-CN201721408252.3有效
发明人：陈五奎;刘强;耿荣军 -专利权人：乐山新天源太阳能科技有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于石英坩埚安装过程中定位，同时提高石英坩埚加热效率的单晶炉石英坩埚的安装装置。该单晶炉石英坩埚的安装装置，设置在单晶炉内，所述单晶炉内腔的内壁上设置有保温罩；所述单晶炉的内腔内设置有石英坩埚以及石墨加热器；石英坩埚的安装装置包括坩埚托盘；所述坩埚托盘底部设置有拖杆；所述拖杆穿过单晶炉的底部；所述坩埚托盘具有与石英坩埚匹配的拖腔；所述坩埚托盘上设置有连通拖腔的通孔；所述锅体的外表面设置有凹槽；所述坩埚托盘上设置有定位销轴；所述定位销轴穿过坩埚托盘延伸到锅体外表面的凹槽内。采用该单晶炉石英坩埚的安装装置能够便于石英坩埚的安装定位，提高石英坩埚的加热效率。
单晶炉石英坩埚安装装置

[实用新型]一种高成品率的石英坩埚封接装置-CN202320337373.2有效
发明人：朱宏磊;高绪彬;吴召平 -专利权人：苏州哥地光子技术有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： C03B23/207 文献下载
摘要：一种高成品率的石英坩埚封接装置，属于半导体材料焊接技术领域，包括封焊平台、石英坩埚固定支架、石英坩埚支撑架、氢氧焰封焊枪和坩埚，所述石英坩埚固定支架、石英坩埚支撑架和氢氧焰封焊枪均设置在封焊平台的上水平台面或者竖直侧壁上，所述氢氧焰封焊枪位于石英坩埚固定支架和石英坩埚支撑架之间，所述坩埚的两端分别设置在石英坩埚固定支架和石英坩埚支撑架上，所述氢氧焰封焊枪可进行坩埚的封焊。本实用新型所述的高成品率的石英坩埚封接装置，结构合理，使用方便，将传统的水平封焊方式转化为既可水平放置封焊又可垂直放置封焊，极大的提高了3inch以上石英坩埚封焊的成功率，大幅降低封焊过程中石英坩埚的浪费及原材料的浪费
一种成品率石英坩埚装置

[实用新型]用于单晶炉的石英坩埚、坩埚组件及单晶炉-CN202022805869.7有效
发明人：王双丽 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-26 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的石英坩埚、坩埚组件及单晶炉，石英坩埚具有用于盛放熔汤的盛放空间，石英坩埚的顶部具有与盛放空间连通的敞开口，在石英坩埚的底部至敞开口的方向上，石英坩埚的侧壁朝向背离石英坩埚的中心轴线的方向倾斜根据本实用新型的石英坩埚，通过将石英坩埚的侧壁设置成朝向背离石英坩埚的中心轴线的方向倾斜，由此在使用氩气吹扫石英坩埚内熔汤液面时，氩气在石英坩埚敞开端的流动阻力相对较小，从而减少氩气在石英坩埚的敞开端形成涡流区域
用于单晶炉石英坩埚组件

[发明专利]一种连续加料用石英坩埚-CN201110180047.7无效
发明人：钮应喜 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2011-06-30 - 公布日： 2012-02-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种连续加料用石英坩埚。该石英坩埚分为内、外两个坩埚，外坩埚高度小于内坩埚，外坩埚套在内坩埚外侧，形成上体双坩埚，下体单坩埚的形式，以内、外坩埚的结合部为分界，内坩埚分为内坩埚上部和内坩埚下部，内坩埚上部与外坩埚通过通孔相通，内、外坩埚均由石英砂制成，并且石英坩埚的所有与硅液接触的面附着的石英砂纯度高于其他部位。本石英坩埚的内坩埚，即使经过长时间如100小时的高温，也不会发生严重的侵蚀，也不会产生石英砂进入硅溶液的现象，从而提高了晶体的成品率，使得连续生长顺利进行，大大降低了硅单晶的生产成本。同时本石英坩埚由于是上体双坩埚，下体单坩埚的形状，大大减少了石英砂的使用，进一步降低了成本。
一种连续加料石英坩埚

[实用新型]一种石英坩埚壁检测设备-CN202320234834.3有效
发明人：胡士德;杨云翔;王建 -专利权人：红河邦德新材料有限公司
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N21/958 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种石英坩埚壁检测设备，转盘机构安装在机架上，用于驱动石英坩埚旋转；固定夹具设置在转盘上，用于固定坩埚底部外壁；升降式照明机构安装在机架上，用于对石英坩埚内壁进行照明；检测机构包括升降组件以及工业相机，工业相机镜头对准石英坩埚壁；采用上述技术方案，将石英坩埚置于转盘机构上，并通过固定夹具将其固定，升降式照明机构进入石英坩埚内，对石英坩埚壁进行强光照射，使得石英坩埚壁呈透明状，再配合转盘机构驱动石英坩埚旋转，工业相机能够将石英坩埚壁进行拍照，工作人员可以通过照片确定石英坩埚壁是否合格，避免长时间观察造成的眼部疲劳，大大提高了检测的准确率。
一种石英坩埚检测设备

[实用新型]一种晶体生长坩埚-CN202020812994.8有效
发明人：廖永建;张福亮;周里华 -专利权人：惠磊光电科技(上海)有限公司
申请日： 2020-05-15 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本实用新型属涉及坩埚技术领域，尤其涉及一种晶体生长坩埚，现提出如下方案，其包括；所述的坩埚本体包含中心导热柱和隔热环；坩埚本体的底板内侧壁上设有平底凹槽；平底籽晶设置在平底凹槽内；坩埚本体的底部设有中心导热柱；中心导热柱与晶体生长设备的籽晶杆冷源相连；中心导热柱外壁上有隔热凹槽；隔热凹槽内设有隔热环；坩埚本体的中上部设有设有承载台阶；承载台阶的上表面设有高度调节环；高度调节环的上侧周边设有隔板；提高晶体的质量
一种晶体生长坩埚