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[发明专利]一种耐温石英坩埚及其生产方法-CN202310387646.9在审
发明人：徐晓军;季军;舒晓峰;钱海炳 -专利权人：江阴龙源石英制品有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐温石英坩埚，为掺杂处理的高纯石英砂经旋转塑模法电弧熔融制得，掺杂处理的原料高纯石英砂纯度为99.998％以上，掺杂元素包括钡和钽；以掺杂处理后的高纯石英砂总质量为100％计，钡的掺杂量为该耐温石英坩埚的高纯石英砂同时掺杂15～45ppm的钡以及10～32ppm的钽，以掺杂处理的高纯石英砂为原料，经旋转塑模法电弧熔融制得的石英坩埚除具有良好的抗析晶性能外，还能提高石英坩埚材质的耐温点，在加热熔融坩埚内的复投硅原料时降低坩埚的变形量，利于延长石英坩埚的使用寿命，满足复投拉晶的生产要求。本发明还公开了一种耐温石英坩埚的生产方法。
一种耐温石英坩埚及其生产方法

[发明专利]一种回收废石英坩埚制取高纯熔融石英的方法-CN201210003498.8无效
发明人：何钊煊;王金波;孙前颂 -专利权人：徐州协鑫太阳能材料有限公司
申请日： 2012-01-06 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： C03B5/16 文献下载
摘要：本发明公开一种回收废石英坩埚制取高纯熔融石英的方法，包括破碎分级、酸洗除杂、水洗烘干及非晶化处理等步骤。通过对石英坩埚废料进行提纯除杂和非晶化处理，可以得到满足石英坩埚使用的高纯熔融石英，从而可以显著缓解对石英原矿的过度依赖，实现石英砂的循环利用，有利于对国土资源的保护，大大降低石英陶瓷坩埚的制造成本，同时也解决了石英坩埚的生产及使用企业的固体废弃物的污染与排放问题
一种回收石英坩埚制取高纯熔融方法

[发明专利]一种大尺寸石英坩埚及其制备方法-CN202310423397.4在审
发明人：张国忠;高文送;汪涵;朱海江;李国洪;朱燕亚 -专利权人：无锡市尚领石英科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C04B35/14 文献下载
摘要：本发明涉及坩埚制备技术领域，具体为一种大尺寸石英坩埚及其制备方法。本发明首先采用电弧法制备出初始石英坩埚，然后在初始石英坩埚表面制备多相涂层，该多相涂层依次为Si3N4陶瓷涂层和ZrB与现有技术相比，本发明在石英坩埚表面制备得到的多相涂层与坩埚结合力较强，可在表面形成致密的保护层；另外将该多相涂层涂覆在坩埚表面，可有效提升坩埚的耐高温性能。石英坩埚是制备单晶硅的关键性基础材料，硅料通常需要在石英坩埚内高温反应十几个小时从而制备出单晶硅，因此该发明制备出的具有多相涂层的石英坩埚能够有效防止石英坩埚和硅料相互侵蚀，将杂质引入硅单晶中影响单晶硅的质量
一种尺寸石英坩埚及其制备方法

[发明专利]一种G6型高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺-CN201710340530.4在审
发明人：张泽林 -专利权人：南通综艺新材料有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： B05D7/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种G6型高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺，包括如下步骤坩埚检查——坩埚加热——配粉——搅拌——试喷——喷涂——冷却。本发明中的坩埚喷涂用纯水和硅胶把粉末喷料氮化硅涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂
一种 g6 高效多晶坩埚喷涂工艺

[发明专利]一种高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺-CN201710339558.6有效
发明人：张泽林 -专利权人：南通综艺新材料有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2017-10-17 - 主分类号： B05D7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺，包括如下步骤：坩埚检查——坩埚加热——配粉——搅拌——试喷——喷涂——冷却。本发明中的坩埚喷涂用纯水和硅胶把粉末喷料氮化硅涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂
一种高效多晶坩埚喷涂工艺

[实用新型]复合式晶体生长装置-CN202221607752.0有效
发明人：赖维明;喻彬;陈丽英 -专利权人：成都东骏激光股份有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C30B29/30 文献下载
摘要：本申请提供一种复合式晶体生长装置，涉及半导体领域，包括铂金坩埚、耐高温包覆层、烧结砖层、烧结板和石英坩埚，铂金坩埚嵌设于石英坩埚内且二者同轴设置；烧结板设于铂金坩埚的底部与石英坩埚的底部之间；耐高温包覆层贴合于铂金坩埚外，烧结砖层贴合于耐高温包覆层外，烧结砖层与石英坩埚之间设有保温填充层。能够提高铂金坩埚的抗形变能力，铂金坩埚运行过程中不易产生形变，降低漏锅风险。
复合晶体生长装置

[发明专利]一种钨钼筒对石英坩埚的容积调节结构-CN201310032198.7有效
发明人：奕雪春 -专利权人：奕雪春
申请日： 2013-01-18 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：一种钨钼筒对石英坩埚的容积调节结构，涉及人工晶体领域，石英坩埚(5)的坩埚上沿(3)设有环绕的环状凹槽(4)；或石英坩埚内的腔体(2)上部设有扩径段(7)，所述扩径段与石英坩埚的下部腔体之间形成台阶(6)；钨或钼筒(1)的下端插在坩埚上沿(3)设置的环状凹槽内，所述钨或钼筒的下端与环状凹槽吻配；或钨或钼筒的下端插在石英坩埚内腔体扩径段下部腔体的台阶上，钨或钼筒的下端外壁与扩径段吻配；本发明通过在石英坩埚上添加钨或钼材质的筒，利用钨或钼的耐久性以及耐高温特性，使得石英坩埚的高度降低，有效减少了石英的使用量，大幅度的降低了使用成本。
一种钨钼筒石英坩埚容积调节结构

[实用新型]一种钨钼筒对石英坩埚的容积调节结构-CN201320046199.2有效
发明人：奕雪春 -专利权人：奕雪春
申请日： 2013-01-18 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：一种钨钼筒对石英坩埚的容积调节结构，涉及人工晶体领域，石英坩埚(5)的坩埚上沿(3)设有环绕的环状凹槽(4)；或石英坩埚内的腔体(2)上部设有扩径段(7)，所述扩径段与石英坩埚的下部腔体之间形成台阶(6)；钨或钼筒(1)的下端插在坩埚上沿(3)设置的环状凹槽内，所述钨或钼筒的下端与环状凹槽吻配；或钨或钼筒的下端插在石英坩埚内腔体扩径段下部腔体的台阶上，钨或钼筒的下端外壁与扩径段吻配；本实用新型通过在石英坩埚上添加钨或钼材质的筒，利用钨或钼的耐久性以及耐高温特性，使得石英坩埚的高度降低，有效减少了石英的使用量，大幅度的降低了使用成本。
一种钨钼筒石英坩埚容积调节结构

[发明专利]一种石英坩埚、其制备方法及专用模具-CN201310258274.6在审
发明人：孟涛 -专利权人：镇江荣德新能源科技有限公司
申请日： 2013-06-25 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英坩埚，包括敞口的坩埚本体，所述坩埚本体的内底面均匀设置有多个用于在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔。本发明的石英坩埚，在石英坩埚的内底面上形成若干在多晶硅铸锭工艺中作为形核点的盲孔，通过热场与工艺的配合，控制长晶初期的过冷度，从而可以得到均匀的具有一定尺寸大小的小晶粒。本发明的石英坩埚制备成本低且形核点均匀、适宜。本发明还公开了制备石英坩埚的方法以及用于制备石英坩埚的专用模具。
一种石英坩埚制备方法专用模具

[实用新型]石英陶瓷坩埚漏料成型法装炉结构-CN200720071916.1无效
发明人：俞耀邦 -专利权人：上海新沪玻璃有限公司
申请日： 2007-06-29 - 公布日： 2008-05-21 - 主分类号： C03B5/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英陶瓷坩埚漏料成型法装炉结构，包括石英陶瓷坩埚，石英陶瓷坩埚底部设有石英陶瓷坩埚漏管，铂金连接漏管位于石英陶瓷坩埚漏管内，铂金连接漏管与石英陶瓷坩埚漏管紧密配合，法兰片位于炉底环行缺口内的耐火砖与铂金连接漏管之间采用本实用新型，可使某些只能在陶瓷坩埚生产的特种玻璃，也能象铂金坩埚生产一样，采用漏料成型工艺，从而获得高品质的、无条纹、无气泡产品，玻璃的成品率也可大幅度提高。
石英陶瓷坩埚成型法装炉结构

[发明专利]一种用于生产石英坩埚的模具-CN202211345943.9在审
发明人：陶飞;周勇;吴伟华;毛炳全 -专利权人：浙江美晶新材料有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于生产石英坩埚的模具，涉及石英坩埚制作领域，旨在解决石英坩埚内壁存在气泡的问题，其技术方案要点是：一种用于生产石英坩埚的模具，包括内模具和外模具；所述内模具开设有若干微气孔，所述微气孔通过管道连接有负压发生器用于保证内模具始终处于负压状态本发明的一种用于生产石英坩埚的模具，通过设置负压发生器助力气泡析出，提高了石英坩埚的产品质量。
一种用于生产石英坩埚模具

[实用新型]一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车-CN202222633629.2有效
发明人：季文斌;李浩东;张庆虎;黄永金;贾海洋;周宏邦;娄中士;王淼;张强;王彦君;孙晨光;田旭东;王立刚 -专利权人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B62B3/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种可以稳定不同尺寸石英坩埚的装料小车，包括支撑架和夹持装置，所述支撑架用于放置石英坩埚，所述夹持装置设置在所述支撑架上方，用于对所述石英坩埚外壁进行夹持，且所述夹持装置可上下移动，也可靠近或远离所述石英坩埚外壁移动本实用新型的有益效果是可以使不同尺寸的石英坩埚在运输过程中保持稳固，减小石英坩埚发生碰撞破裂的风险，保证生产的正常进行，提高生产效率。
一种可以稳定不同尺寸石英坩埚装料小车

[发明专利]电弧法石英玻璃坩埚缺陷返修的方法-CN201210026333.2有效
发明人：陈飞;蔡承娣;刘吉华;商春利 -专利权人：湖北菲利华石英玻璃股份有限公司
申请日： 2012-02-07 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种对电弧法生产石英玻璃坩埚缺陷进行返修的方法，属石英玻璃坩埚制造技术领域。它是针对石英玻璃坩埚在生产时产生的表面和内部缺陷，使用相同质量的石英玻璃棒，通过氢氧气熔化石英玻璃棒和坩埚进行修补，再通过机械研磨磨平修补产生的凹凸不平，然后使用氢氧气火焰进行抛光，最后进行退火处理减少坩埚的应力，使其成为合格坩埚的方法。本发明能去除坩埚中的气泡、黑点和其它异物产生的缺陷，使其成为合格产品。提高了石英玻璃坩埚的生产合格率，降低了坩埚的生产成本。且返修时方法简单，操作方便，能耗小，对坩埚体不造成损害，修补时坩埚体不会破裂，返工修补合格率高，适用于18～28英寸具有缺陷的石英玻璃坩埚的修补。
电弧石英玻璃坩埚缺陷返修方法

[发明专利]石英玻璃坩埚的评价方法、制造方法以及石英玻璃坩埚-CN202280018384.2在审
发明人：石原裕;马场裕二;上田哲司;横泽裕也 -专利权人：信越石英株式会社
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C30B15/12 文献下载
摘要：本发明是对具有外层和内层的石英玻璃坩埚进行评价的方法，其中，外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成，内层由透明石英玻璃构成，具有以下工序：准备评价对象即石英玻璃坩埚；向该评价对象即石英玻璃坩埚照射紫外线作为激励光；对从照射了所述紫外线的石英玻璃坩埚发出的蓝色荧光进行检测；以及根据有无所述蓝色荧光，对所述石英玻璃坩埚的外层上的氧缺乏缺陷的状态进行评价。由此，提供一种石英玻璃坩埚的评价方法，其能够以不破坏的方式简单地评价进行氢掺杂、水蒸气的导入等而在石英玻璃坩埚产生的氧缺乏缺陷的状态。
石英玻璃坩埚评价方法制造以及

[实用新型]用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉-CN202021409031.X有效
发明人：薛抗美;黄末;陈翼;刘奇 -专利权人：徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶炉的石英坩埚及具有其的单晶炉，用于单晶炉的石英坩埚包括：石英坩埚本体，包括底壁以及设在底壁的周缘且向上延伸的周壁，底壁的内表面形成有安装部；石英配合部件，邻近安装部的一侧形成有配合部，配合部与安装部相匹配以使石英配合部件与石英坩埚本体相连，当石英配合部件装配在石英坩埚本体上时，石英配合部件的一部分向上凸出于底壁的内表面。根据本实用新型的用于单晶炉的石英坩埚，通过配合部与安装部的配合，可实现石英配合部件与石英坩埚本体之间的可靠装配，一方面提供氧源，提高晶棒的氧含量。另一方面也防止单纯石英配合部件投放到溶液中可能会漂浮，导致晶棒失去单晶结构，使得拉晶失败。
用于单晶炉石英坩埚具有

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