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- [发明专利]坩埚、坩埚组件和单晶炉-CN202211522679.1在审
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杨文武
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西安奕斯伟材料科技有限公司
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2022-11-30
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2023-03-14
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C30B15/12
- 本发明涉及一种坩埚,包括筒状主体和底座,所述筒状主体采用碳纤维复合材料制成,所述底座采用石墨材质制成。本发明还涉及一种坩埚组件和单晶炉。本发明实施例提供的坩埚包括筒状主体和底座,所述筒状主体包括多瓣碳纤维复合材料制成的坩埚瓣。相对于相关技术中的石墨材质的坩埚,在承载石英坩埚时,由于碳纤维复合材料与石英不发生反应,因此在拉晶过程中石英坩埚可与本发明实施例中的坩埚可实现紧密贴合,碳纤维复合材料具有很好的高温导热性能,可将热量均匀地传输至石英坩埚,有助于石英坩埚氧的均匀析出,有利于晶棒中径向氧均一性。
- 坩埚组件单晶炉
- [实用新型]多晶硅料的加料系统-CN202021967173.8有效
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黄末;陈翼;刘奇
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徐州鑫晶半导体科技有限公司
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2020-09-09
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2021-08-13
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C30B15/00
- 本实用新型公开了多晶硅料的加料系统,包括石英坩埚、下料管、亮度检测设备、第一控制器和第二控制器,石英坩埚侧壁设有第一加热器,石英坩埚底部设有旋转机构,旋转结构下方设有第二加热器,石英坩埚内盛有硅熔体;下料管的出料口设在石英坩埚上方;亮度检测设备设在石英坩埚上方,亮度检测设备朝向石英坩埚内的硅熔体与下料管供给粒状多晶硅的界面处;第一控制器与亮度检测设备和下料管相连,第一控制器基于亮度检测设备的反馈调整下料管内的下料速率;第二控制器与下料管和第二加热器相连采用该系统可以降低石英坩埚内多晶硅岛翻覆的可能,利于晶体的顺利成长和晶体空孔缺陷的消除。
- 多晶加料系统
- [实用新型]一种石英坩埚高效涂层喷涂装置-CN202020509548.X有效
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刘福鸿;陈宝昌
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江苏华尔石英材料股份有限公司
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2020-04-09
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2021-01-22
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B05B13/06
- 本实用新型涉及喷涂技术领域,且公开了一种石英坩埚高效涂层喷涂装置,包括外机箱,所述外机箱左侧的内壁固定安装有涂料存储罐,所述外机箱的内底壁固定安装有废料接收钵。该石英坩埚高效涂层喷涂装置,利用拉把将电机拉出来,然后通过锁扣装置将石英坩埚固定在包环内部,再将电机推到外机箱中心,然后在电动推杆的作用下将石英坩埚套在喷头内部,然后释放涂料存储罐内部的涂料,其内喷式的方式能够一次性将石英坩埚的内壁涂满,并且石英坩埚在电机的带动下旋转,使得喷涂无死角,就连石英坩埚的内顶壁都能充分接受涂料,有效的提升了喷涂均匀性以及稳定性,使得喷涂效率最大化,故此本实用新型提出了一种石英坩埚高效涂层喷涂装置。
- 一种石英坩埚高效涂层喷涂装置
- [实用新型]一种石英坩埚的切割装置-CN202123252539.0有效
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陶飞;周勇;吴伟华
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内蒙古鑫晶新材料有限公司
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2021-12-22
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2022-10-25
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B28D5/02
- 本实用新型涉及一种石英坩埚的切割装置,包括机架,机架的一侧设置有用于水平放置石英坩埚的放置组件,机架的另一侧设置有活动座,活动座可沿机架长度方向滑动,机架上设置有用于驱动活动座活动的驱动组件,活动座上设置有用于切割石英坩埚开口的切割组件,活动座上还是有切割冷却组件,本实用新型结构简单,石英坩埚在切割过程中起到降温冷却的作用,避免切割时产生的热量过高对石英坩埚和刀片造成损坏,延长了刀片的使用寿命同时也降低了石英坩埚切割时的破碎率,提高了石英坩埚的成品率;切割刀片的位置可随活动座移动,工作人员能够根据实际需要,调整切割刀片的位置,从而精准控制切割刀片对石英坩埚的切边宽度。
- 一种石英坩埚切割装置
- [发明专利]光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统及工艺-CN201610435588.2有效
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曾祥辉
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重庆大全新能源有限公司
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2016-06-17
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2019-01-15
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C03C17/00
- 本发明涉及一种光伏行业石英方坩埚喷涂机械自动化系统及工艺,该系统包括可将浆料喷涂至石英方坩埚内表面的喷枪、可夹持移动喷枪并调整其喷涂角度的机械手和可安装并旋转石英方坩埚的旋转平台,旋转平台上设有用于放置石英方坩埚的放置架及可拉动倾斜放置架使石英方坩埚开口方向与旋转平台顶面形成仰角或推动摆正放置架使石英方坩埚开口向外横向放置的伸缩装置,该工艺为将氮化硅、纯水和硅溶胶按比重1:1‑1.5:0.2‑0.5制成浆料,喷涂至石英方坩埚内表面;与现有技术相比,本发明适用于光伏行业各型号方坩埚,可连续作业,操作简便,用时短、能耗低,喷涂效率高,涂层厚薄均匀、质量稳定,坩埚喷涂后生产多晶硅锭质量更好,喷涂时工人无需接触氮化硅粉尘。
- 行业石英坩埚喷涂机械自动化系统工艺
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