专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备-CN202211398379.7在审
  • 刘思源;张园园 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2022-11-09 - 2023-01-24 - H01L21/66
  • 本发明实施例提供了一种工艺步骤终点检测方法和半导体工艺设备,该方法包括:在执行工艺步骤的过程中,获取针对所述工艺步骤的已执行工艺时间和期望工艺时间;根据所述期望工艺时间和所述已执行工艺时间,计算所述工艺步骤的延时终检时间;根据所述延时终检时间,触发第一计时监测器启动计时监测,并在所述第一计时监测器的计时时间达到所述延时终检时间时,触发针对所述工艺步骤的跳步处理。可以根据用户设置的期望工艺时间,实现工艺步骤终点时间的灵活变动,确保工艺步骤实际执行时间满足用户期望工艺时间;当计时监测器的计时时间达到延时终检时间时,可自动执行跳步,无需人工触发手动终检的按钮,更加自动化
  • 一种工艺步骤终点检测方法半导体工艺设备
  • [发明专利]一种三维机加工艺文件快速生成方法-CN201410567450.9有效
  • 张森棠;赵恒;郑艳铭;史宇;高阳 - 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司
  • 2014-10-21 - 2019-03-26 - G06F17/50
  • 一种三维机加工艺文件快速生成方法,基于一个工艺设计平台,包含工艺信息解析模块、工艺信息录入模块、模型信息解析模块和工艺文件生成模块四部分;工艺信息解析模块:解析信息包括三维数据模型和零件名、零件号、型号、版次、材料等工艺信息;工艺信息录入模块:在新工艺文件生成后的文件中修改信息;模型信息解析模块:将参数化主模型中的参数信息进行解析,以表单形式显示出各参数所代表的数据,同时在表单界面显示设计模版示意图和工艺模版示意图;工艺文件生成模块:用户根据新的设计信息修改主模型参数信息。本发明的优点:为工艺人员提供了方便快捷的快速工艺编制工具,减少人工操作时间,提高中小系列件的工艺编制效率。
  • 一种三维工艺文件快速生成方法
  • [发明专利]一种镀膜工艺控制方法及控制系统-CN200910087670.0有效
  • 马平 - 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
  • 2009-06-25 - 2009-12-02 - G05B19/04
  • 本发明提供了一种镀膜工艺控制方法及控制系统,能够准确的实现多批次镀膜工艺采用不同配置参数及相应参数值的连续进行。所述方法包括:针对多批次的镀膜工艺,编写每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值,每批镀膜工艺需要的配置参数及相应参数值包括单步或多步的配置参数及相应参数值,将每批镀膜工艺定义一个对象,在每批镀膜工艺定义的对象中:单步镀膜工艺定义一个单步对象,多步镀膜工艺定义一个对象数组,将多批镀膜工艺定义的对象通过哈希表保存,在每批镀膜工艺流程中,自动获取当前批次的配置参数及相应参数值后执行镀膜工艺流程。本发明完成了自动化量产,而且支持镀膜工艺需要多步配置参数及相应参数值的工艺要求。
  • 一种镀膜工艺控制方法控制系统
  • [发明专利]终点检测系统及其运行状态监测方法-CN201410231985.9有效
  • 陈国动 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2014-05-28 - 2019-03-12 - H01L21/66
  • 本发明公开了一种终点检测系统及其运行状态监测方法,其中方法包括如下步骤:读取参照样本中的第一工艺信号曲线,并实时监测设置有终点检测系统的工艺机台进行工艺时的第二工艺信号曲线;比对第一工艺信号曲线和第二工艺信号曲线,判断终点检测系统运行状态;当终点检测系统运行状态正常时,控制工艺机台继续进行工艺;当终点检测系统运行状态异常时,控制工艺机台停止当前工艺。其通过实时监测到的第二工艺信号曲线与参照样本的第一工艺信号曲线进行对比,判断终点检测系统运行状态,有效解决了现有终点检测系统工作状态判断方法不能实时体现当前终点检测系统运行状态,导致对工艺机台状态的判断滞后或错误的问题,降低晶片工艺风险及废弃成本。
  • 终点检测系统及其运行状态监测方法
  • [发明专利]一种工艺品图片的工艺文案及情感音乐的转换系统-CN201910709477.X有效
  • 王清艳;甘平;陈宗钦;王璋 - 温州漏腐蚀五金制品有限公司
  • 2019-08-01 - 2021-11-16 - G06F16/438
  • 本发明公开了一种工艺品图片的工艺文案及情感音乐的转换系统,包括图片获取模块、图片处理模块、音乐匹配模块、文案数据库和图片呈现模块,图片获取模块与图片处理模块连接以获取工艺品图片并发送给图片处理模块;文案数据库与图片处理模块连接,文案数据库设置有对应不同工艺的文案数据,用户通过与图片处理模块交互获取文案数据库的文案数据,并固定在工艺品图片上对应工艺的位置;音乐匹配模块获取工艺品图片上对应的多种文案数据,获取对应文案数据的工艺类型,并根据工艺类型匹配不同音调和音量;图片呈现模块获取处理完成的工艺品图片并显示供用户交互。本发明能够结合工艺品的工艺智能展现工艺品文案和对应工艺品的独特音乐。
  • 一种工艺品图片工艺文案情感音乐转换系统
  • [发明专利]基于PBT/PET复合丝的T800弹力织物的染整加工工艺-CN202110677596.9有效
  • 钱琴芳;吕思晨;陈威;吴晓飞 - 盛虹集团有限公司
  • 2021-06-18 - 2023-08-04 - D06P1/16
  • 本发明公开了一种基于PBT/PET复合丝的T800弹力织物的染整加工工艺,包括依次进行的前处理工艺、染色工艺和定型工艺;前处理工艺包括冷轧堆工艺和BO平幅退浆工艺;染色工艺利用高温高压气流溢流两用染色机对T800弹力织物进行染色加工,该染色工艺采用的染色剂包括染料和染色助剂,该染色助剂包括高温匀染剂和低聚物去除剂;定型工艺通过定型机并利用定型整理液对染色后的织物进行定型处理;定型整理液包括防水剂和交联剂该染整加工工艺根据T800弹力织物的自身特性,通过制定合适的前处理工艺、染色工艺以及定型工艺,在提高染色质量的同时,还赋予面料较好的防水功能,并提高了面料防水功能的耐久性。
  • 基于pbtpet复合t800弹力织物染整加工工艺
  • [发明专利]一种基于XML的工艺模型本体构建方法-CN202010376407.X有效
  • 董磊;吴兴杰;郄永军;钟进;魏惟 - 金航数码科技有限责任公司
  • 2020-05-07 - 2023-10-03 - G06F30/20
  • 本发明公开了一种基于XML的工艺模型本体构建方法,包括步骤一、建立可弹性扩展的工艺模型信息框架;步骤二、对历史工艺文件和历史工艺模型处理为基于XML格式的模型信息,得到结构化工艺信息树;步骤三、将结构化工艺信息树生成基于语义网的本体实例本发明利用现有工艺结构化工艺文档和工艺模型,构建“所有即所用”的工艺知识本体模型和实例,攻克领域知识本体无法构建完整的难题,结合XML技术和本体理论可将现有结构化工艺文档和工艺模型转化为图形本体结构并实例化语义,使得工艺模型本体的构建和实例化同时完成,为工艺知识沉淀和应用提供新的方式。
  • 一种基于xml工艺模型本体构建方法
  • [实用新型]半导体工艺加工设备-CN202123361656.0有效
  • 王国斌;刘宗亮 - 江苏第三代半导体研究院有限公司
  • 2021-12-28 - 2022-05-27 - H01L21/67
  • 本申请涉及一种半导体工艺加工设备,包括:传送腔,具有第一闸板阀,第一闸板阀关闭时将传送腔的内部与外部相隔离,传送腔内部设有机械手;至少两个工艺腔,至少两个工艺腔包括第一工艺腔及第二工艺腔;第一工艺腔与第二工艺腔实现不同的工艺,第一工艺腔朝向传送腔一侧具有第二闸板阀,第二闸板阀关闭时将第一工艺腔的内部与外部相隔离,第二工艺腔朝向传送腔一侧具有第三闸板阀,第三闸板阀关闭时将第二工艺腔的内部与外部相隔离,传送腔、第一工艺腔以及第二工艺腔均连接抽真空系统
  • 半导体工艺加工设备

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