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- [发明专利]加热腔室及半导体加工设备-CN201510109305.0有效
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贾强
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2015-03-12
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2019-01-18
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H01L21/67
- 本发明提供了一种加热腔室及半导体加工设备。该加热腔室包括片盒、环形加热装置和反射筒,片盒用于在竖直方向上间隔承载多个被加工工件,环形加热装置套置在片盒的外侧,用以同时加热多个被加工工件,反射筒套置在环形加热装置的侧壁外侧,并且反射筒的内侧壁上包括与每个被加工工件对应的环形反射区,每个环形反射区的反射率和与之对应的被加工工件的温度具有反相关关系,用以提高多个被加工工件的加热均匀性。本发明提供的加热腔室及半导体加工设备,可以提高多个被加工工件的加热均匀性,从而可以提高工艺结果的均匀性,进而可以提高工艺质量和经济效益。
- 加热半导体加工设备
- [发明专利]一种新型硝盐等温淬火炉-CN201710362571.3有效
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贺方明;吴水平;马培杰
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浙江明鑫工业炉有限公司
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2017-05-22
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2017-07-21
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C21D1/63
- 本发明公开了该新型硝盐等温淬火炉,包括加热炉段以及与加热炉段尾部紧密相连等温硝盐段,而所述加热区内设置有用于运输工件传输机构以及用于对工件加热的加热机构,于此同时加热区沿工件传输的方向分为预热区和淬火区;所述等温硝盐段包括槽体,所述槽体内设置提升机构,所述提升机构下方则布置有等温机构;且该加热炉段中传输机构、加热机构与等温硝盐段的提升机构、等温机构均与控制系统相连。其中加热区分为预热区与淬火区,使得工件在进行淬火前将进行预热,避免工件因突然温度过大而造成变形,在淬火区完后紧接等温硝盐段,利用硝盐进行淬火处理,不会产生蒸气膜,工件的畸变小。
- 一种新型硝盐等温淬火
- [实用新型]加热设备-CN201921981992.5有效
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任坤锋;张赟;黄柯
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山西裕鼎精密科技有限公司
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2019-11-15
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2020-10-30
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F27D5/00
- 一种加热设备,用于加热工件,所述工件包括第一部分和第二部分,所述加热设备包括至少一加热结构、驱动件和夹持机构。所述驱动件与所述加热结构传动连接,用于驱动所述加热结构移动,所述夹持机构包括冷却系统和夹持件,所述夹持件可夹持所述工件,所述冷却系统用于冷却所述工件的第二部分,所述驱动件可驱动所述加热结构靠近所述夹持机构上的工件以热熔第一部分上述加热设备通过加热结构热熔工件的第一部分,消除第一部分与第二部分之间的间隙和断差。
- 加热设备
- [实用新型]一种工件热处理装置-CN202320137227.5有效
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谭玉荣;周生强;牟其香
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德州联瑞科技有限公司
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2023-01-18
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2023-06-13
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C21D9/00
- 本实用新型公开了一种工件热处理装置,涉及工件热处理技术领域,包括炉体,炉体内自上而下设有加热腔和设备腔,炉体的顶部设有与加热腔连通的开口,开口处设有封盖,加热腔内设有加热机构,设备腔底部设有伸缩杆,伸缩杆顶端连接有安装台,安装台上设置有转动机构,转动机构来连接有工件放置台;本装置通过加热腔内的加热机构对工件进行热处理,热处理过程中,设备腔内的转动机构始终保持运作,以此带动工件放置台上的工件按照一定速度转动,使得工件受热均匀,热处理后的工件能够获得均匀的表面硬度和符合要求的性能,热处理效果佳。
- 一种工件热处理装置
- [实用新型]一种红外线快速烧结窑炉-CN202022813012.X有效
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翟志会;朱亚君
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江门市蓬江区豫源科技有限公司
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2020-11-27
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2021-09-14
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F27B9/06
- 本实用新型公开了一种红外线快速烧结窑炉,包括:窑炉前端部,用于加热烧结工件;窑炉中端部,用于烧结工件,窑炉中端部与窑炉前端部连接;窑炉后端部,用于降温工件,窑炉后端部与窑炉中端部连接;红外加热装置,用于加热烧结工件,红外加热装置安装在窑炉前端部上。红外线快速烧结窑炉通过在窑炉前端部增设红外加热装置,在工件进入阶段迅速升温,通过控制加热温度和速度,使产品不会发生开裂及破损,缩短烧结周期,在窑炉中端部用常规电热加热的方法烧结,在窑炉后端部冷却,从而达到快速烘干工件,快速降低工件含水率、缩短产品生产周期、节省设备场地占地面积的技术效果。
- 一种红外线快速烧结
- [实用新型]一种中频转子感应加热炉-CN202222383515.7有效
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武军锋;赵镇
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西安恒瑞达电气科技有限公司
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2022-09-08
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2022-12-13
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F27B9/24
- 本实用新型涉及加热电炉技术领域,公开了一种中频转子感应加热炉,用于待加热工件通过电磁感应原理自热,包括:炉体。传送装置,设置在炉体上,与炉体转动连接,用于将工件输送至炉体内,以加热工件。感应定位装置,呈U型,可拆卸连接在炉体上,位于传送装置的上方,并与传送装置之间存在预设距离,用于产生交变磁场,并限定工件在传送装置上的位置。传送装置输送待加热的工件至炉体内的过程中,通过U型的感应定位装置限定工件在输送装置上的位置,能够顺利通过感应定位装置产生的交变磁场,进而使工件的整体都能够被加热,降低机器人上下料困难系数,以提高加热效率
- 一种中频转子感应加热炉
- [发明专利]一种三段式加热的金属工件热处理工艺-CN201610385704.4在审
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陈加兵
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太仓市沪太热处理厂
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2016-06-03
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2016-10-12
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C21D1/18
- 本发明公开一种三段式加热的金属工件热处理工艺。其工艺步骤如下(1)金属工件清洗;(2)金属工件涂复涂料;(3)金属工件干燥;(4)三段式加热保温;(5)淬火;(6)回火;(7)冷却。三段式加热的过程中加热炉分为三个加热隔间,每个隔间内的加热条件和时间均不同,确保金属工件受热均匀,热能得到最大程度的利用,同时三段式加热方式还能够有效提高金属工件热处理效率,减少氧化、锈蚀等情况的发生。淬火时采用氮气淬火,可以有效减少金属工件形变,同时减少淬火过程中的氧化渗碳的问题。本发明工艺简单,节能环保,降低生产成本,金属工件热处理效果好,防锈效果好、耐腐蚀性好,适于推广。
- 一种三段式加热金属工件热处理工艺
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