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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]人字齿对中误差检测装置-CN202221531155.4有效
发明人：费秀国;柳伟;于建顺;杨军;高洁;毛正美 -专利权人：南京创力传动机械有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01M13/021 文献下载
摘要：本实用新型涉及检测装置技术领域，具体涉及一种人字齿对中误差检测装置，包括固定座和升降气缸，升降气缸固定安装在固定座的一侧，还包括调整组件；调整组件包括放置板、滑动架、安装臂、连接架、检测探头和驱动构件；滑动架与放置板滑动连接，安装臂与滑动架滑动连接，连接架与安装臂滑动连接，检测探头与连接架转动连接，驱动构件位于放置板的一侧，实现能够通过设置的构件可以使得检测的探头位置能够根据实际情况进行调节，从而更加方便的对定位完成的工件进行检测
人字齿误差检测装置

[发明专利]消除激光对中系统的安装误差的激光对中方法-CN201410844539.5有效
发明人：章逸舟;鲁远甫;吕建成;焦国华;吴国俊;董玉明 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2014-12-30 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种消除激光对中系统的安装误差的激光对中方法，激光对中系统的发射器与接收器分别安装在机械设备的主动轴与从动轴上，所述激光对中方法包括：建立角偏量的测量值与实际值、平偏量的测量值与实际值的数学模型并得出数学关系式通过测量得到从动轴与主动轴之间的角偏量和平偏量；将发射器与接收器分别围绕主动轴与从动轴旋转三次，并且分别通过测量得到与旋转的预定角度相对应的从动轴与主动轴之间的角偏量和平偏量；将所得到的角偏量与平偏量的测量值代入到数学关系中，解析出角偏量与平偏量的实际值；根据所解析的角偏量与平偏量的实际值对主动轴与从动轴进行调整，从而实现精确的轴对中。
消除激光系统安装误差方法

[发明专利]一种对中误差的激光测量装置-CN201410804124.5在审
发明人：杨兆军;王松;许彬彬;朱小翠;谭壮;黎刚刚;杜大伟;杨超;刘国飞;冉魏 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-12-22 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种对中误差的激光测量装置，是由第一待测轴、激光发射装置、第二待测轴和激光接收装置组成，激光发射装置固定在第一待测轴上，激光接收装置固定在第二待测轴上；激光发射装置中的激光发射器利用两个十字激光器射出四条间距一定的十字交叉的激光线本发明能在一个位置即可间接测出两个轴即第一待测轴和第二待测轴的对中误差，具有快速、准确、简便易用的特点，已可完全取代传统的方法。本发明能够应用于回转机械在安装、调试以及维修过程中两个联接回转轴对中误差的检测和调整。
一种误差激光测量装置

[发明专利]放射源对中误差的计算方法-CN200710037692.7无效
发明人：仲梁维;徐增豪;倪静;吴觉士 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2007-02-25 - 公布日： 2008-08-27 - 主分类号： A61B6/00 文献下载
摘要：放射源对中误差的计算方法，采用有限元软件计算，其特点是：A)计算出治疗头的重量和质心，根据力学的等效原理简化到治疗头的安装位置；B)设计一个盖针代表治疗头，其结构为上面有盖，盖的中心连接一根针，盖安装在治疗头的位置代表放射源的聚焦点，盖针取质量极小可忽略，盖针取刚度极大，变形很小可忽略；C)根据滚筒的材料的物性参数，设置有限元计算所需要的参数及约束；D)使用有限元软件计算滚筒组件的应力和位移，所得到盖针针尖的位移量即是放射源对中误差值本发明可以在设计阶段比较准确地计算放射源的对中误差，并可对结构进行优化设计，提高设计精度，节省大量时间和试验成本。
放射源误差计算方法

[实用新型]一种对中误差的激光测量装置-CN201420820098.0有效
发明人：杨兆军;王松;许彬彬;朱小翠;谭壮;黎刚刚;杜大伟;杨超;刘国飞;冉魏 -专利权人：吉林大学
申请日： 2014-12-22 - 公布日： 2015-09-02 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种对中误差的激光测量装置，是由第一待测轴、激光发射装置、第二待测轴和激光接收装置组成，激光发射装置固定在第一待测轴上，激光接收装置固定在第二待测轴上；激光发射装置中的激光发射器利用两个十字激光器射出四条间距一定的十字交叉的激光线本实用新型能在一个位置即可间接测出两个轴即第一待测轴和第二待测轴的对中误差，具有快速、准确、简便易用的特点，已可完全取代传统的方法。本实用新型能够应用于回转机械在安装、调试以及维修过程中两个联接回转轴对中误差的检测和调整。
一种误差激光测量装置

[发明专利]叠对误差测量方法及叠对误差测量结构-CN202110220385.2在审
发明人：谢鸿志;翁铭孝 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本公开提供叠对误差测量方法及叠对误差测量结构，具体地，提供一种叠对误差测量方法，其包含在基板上设置下层图案，设置下层图案包含沿着第一方向设置在第一间隔延伸的具第一多个第一子图案的第一图案，且在交叉第一方向的第二方向安排为第一间距此方法包含设置上层图案，上层图案包含第三图案，第三图案具第一间距且至少在下层图案上方与下层图案局部重叠以及判定下层图案与上层图案之间的叠对误差。
误差测量方法测量结构

[发明专利]叠对误差测量结构以及叠对误差测量方法-CN201810671085.4有效
发明人：陈彦良 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本公开提供一种叠对误差测量结构以及叠对误差测量方法。一种叠对误差测量结构，包括配置在一基板上的一下层图案，以及配置在下层图案上并且与下层图案至少有部分重叠的一上层图案。在至少一部分上述第一子图案和/或至少一部分上述第二子图案中的一图案间距和一图案宽度的至少一者沿着上述第二方向变化。
误差测量结构以及测量方法

[发明专利]一种全站仪对中误差测定方法-CN202110678990.4有效
发明人：赵宝瑞;段昭义;刘鑫羽;明祖涛 -专利权人：中国地质大学（武汉）
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种全站仪对中误差测定方法，基于一种全站仪对中误差测定系统，该系统包括：全站仪、两个棱镜，以及用于支撑全站仪和棱镜的脚架；该方法包括以下步骤：S1、使用全站仪在一条直线上进行等距放样，得到AP和B三个点，记PA、PB的距离分别为S1、S2；S2、将全站仪架设在点P上，将两个棱镜架设在点A、B上，并进行严格对中整平，所述全站仪实际对中的点为P′点；观测并记录观测数据：∠AP′B为α，P′A、P′B的距离分别为S′1、S′2；S3、基于所述观测数据通过间接平差算法计算得到全站仪的对中误差。若对中误差超限，则微调全站仪进行对中误差修正，减小测量误差并提高工作效率。该方法操作简单、易于实现。
一种全站仪误差测定方法

[发明专利]叠对误差补偿方法-CN200910052189.8有效
发明人：朱萍花;彭震君;张岩 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-05-27 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明揭露了一种叠对误差补偿方法，用于双平台曝光机台中，其利用所述曝光机台的两个工作平台的叠对补偿值之差补偿其中叠对误差较大的工作平台。从而在减小两个工作平台之间的叠对控制差异的同时，将工作平台的叠对误差控制在一个所需的范围内，提高了半导体器件的性能以及出产良率。
误差补偿方法

[发明专利]对中杆误差的确定方法、装置、设备及存储介质-CN202110173592.7在审
发明人：刘洋;邢菊红;赵洪松;王勇松;丁学文;邱模波 -专利权人：千寻位置网络有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01C25/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种对中杆误差的确定方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：在对中杆杆尖与地面接触点保持接触的情况下，获取对中杆不同姿态下的多组实时特征数据，其中，多组实时特征数据包括多组对中杆第一实时特征数据、以及多组对中杆第二实时特征数据；根据多组第一特征数据以及多组第二特征数据，采用预设融合滤波算法计算得到多组对中杆姿态信息；根据多组对中杆姿态信息和多组第二实时特征数据，采用预设卡尔曼滤波算法计算得到对中杆三维矢量误差；本申请实施例能够解决现有技术确定出的对中杆三维矢量误差精度较差的问题。
误差确定方法装置设备存储介质

[发明专利]单对磁极磁编码器中的误差处理方法-CN201110365858.4无效
发明人：曾一凡;姜芳芳 -专利权人：沈阳工业大学
申请日： 2011-11-17 - 公布日： 2013-05-22 - 主分类号： G01D18/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种单对磁极磁编码器输出信号的误差处理方法，其特点是首先由单对磁极磁编码器产生两路信号，经过A/D转换后存入微处理器，然后对两路信号进行误差分析，产生误差的主要因素有：1.零位误差、2.灵敏度误差、3.正交误差、4.铁磁干扰。然后对每一种误差进行分析，总结出各自的误差表达式，为了便于误差补偿，有必要分析考虑各种因素影响时误差的共性，总结出描述这种共性的表达式，在表达式中定义的误差系数是该表达式的关键参数。最后采用基于椭圆假设的自动补偿法及其误差补偿的算法，此法是将误差的形成过程比作是从圆到椭圆的变化过程，求出误差系数及误差补偿系数。本发明技术方案误差补偿精度高，计算量小。
磁极编码器中的误差处理方法

[发明专利]激光对中仪校准设备及通过其测量激光对中仪的示值误差的方法-CN201710343457.6有效
发明人：梁平;张勇;黄敏晗;陈伟琪 -专利权人：广东省计量科学研究院（华南国家计量测试中心）
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光对中仪校准设备以及通过该设备测量激光对中仪的位置敏感传感器、倾角仪和对中偏差的示值误差的方法，本发明的激光对中仪校准设备具有两个相互独立的能360°旋转的转轴，一转轴作为基准轴，另一转轴能在水平方向设置两个转轴的转动角度，并调节另一转轴的水平和垂直位移量以及俯仰和偏摆量，能够实现对激光对中仪的位置敏感传感器水平及垂直方向的位移量、倾角仪的转角量及对中偏差的示值误差的测量。本发明提供的设备和方法能够准确模拟实际激光对中仪工作过程中的运行状态，且能够实时直接显示测量轴标准对中偏差量，校准结果更精准，测量过程的可操作性更强。
激光校准设备通过测量误差方法

[发明专利]叠对误差的校正方法-CN201410270347.8有效
发明人：刘恩铨;许家彰;郭腾钦;王嘉鸿;俞端彦;白源吉;尤春祺 -专利权人：联华电子股份有限公司
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：叠对误差的校正方法包括下列步骤。首先检测基板上的叠对标记，以产生叠对标记信息，其中叠对标记包括至少一对第一标记图案以及设置于第一标记图案上的至少一第二标记图案。接着，利用叠对标记信息，以获得两个第一标记图案间的错位数值(offset)以及获得第二标记图案和两个第一标记图案其中一个之间的偏移数值。最后，利用错位数值补偿偏移数值，以获得修正偏移数值。
误差校正方法

[发明专利]对晶圆键合中楔形误差进行补偿的装置和方法-CN202010956482.3有效
发明人：司伟;杨光 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H01L21/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种对晶圆键合中楔形误差进行补偿的装置和方法，属于半导体晶圆加工领域。本发明采用楔形误差补偿的方法消除上下晶圆之间的楔形误差，使两片不平行的晶圆达到三维平行，最终达到提高晶圆键合精度的效果。
晶圆键合中楔形误差进行补偿装置方法

[实用新型]一种显示误差值的激光对中仪校准设备-CN202020855533.9有效
发明人：司建伟;杨光 -专利权人：贵州建新伟业科技有限公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01B11/27 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种显示误差值的激光对中仪校准设备，包括测量基座、底座和激光靶，所述测量基座上表面沿长度方向的一端螺栓固定有底座，所述底座上焊接有倒L型架，所述倒L型架的另一端焊接有激光靶，所述测量基座上表面滑动连接有滑动座本实用新型中，该显示误差值的激光对中仪校准设备，采用丝杠带动丝杠螺母座移动，丝杠螺母座调动滑动座移动，无需人力推动滑动座移动，使得该显示误差值的激光对中仪校准设备使用更加的方便，并且激光靶上设置有刻度尺和环形圈，通过观察激光靶上激光的照射位置与激光靶圆心之间的间距，便可以直观的观察到误差值。
一种显示误差激光校准设备

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