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[发明专利]一种提高激光直写碳基超级电容器比电容的方法-CN202210798875.5在审
发明人：王树同;黄斐;张弘 -专利权人：四川大学
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01G11/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高激光直写碳基超级电容器比电容的方法，属于电容器技术领域。本发明提供的方法包括以下步骤：(1)利用静电纺丝制备纤维膜；(2)利用真空高温热处理纤维膜；(3)利用激光直写诱导碳基纤维，其具有高导电性；以上激光直写碳基纤维材料作为电极，组装得到比电容提高的激光直写碳基电容器本发明通过对前驱体材料进行纺丝、预热以及激光直写，能够获得高导电性的碳基材料，同时纤维中的空隙有效提高了离子迁移率，以此能有效提高激光直写碳基电容器的比电容；同时本发明提供的方法克服了传统方法操作复杂、
一种提高激光直写碳基超级电容器电容方法

[发明专利]陶瓷基三维结构的无模直写制备方法及陶瓷基光敏浆料-CN201210079723.6无效
发明人：李勃;孙竞博;蔡坤鹏;周济;李龙土;彭琴梅;张晓龙;苏水源 -专利权人：清华大学深圳研究生院
申请日： 2012-03-23 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： C04B35/622 文献下载
摘要：本发明提供了一种陶瓷基三维结构的无模直写制备方法，包括用浆料及浆料直写成型设备成型所述三维结构，其中：所述浆料为陶瓷基光敏浆料，所述制备方法还包括在成型中用紫外光照射已成型部分以及成型后将制品于100℃本发明还提供了一种陶瓷基光敏浆料，用于无模直写制备陶瓷基三维结构，按体积计，该陶瓷基光敏浆料包括35%～75%粒径为20nm～2μm的陶瓷粉体和65%～25%的光敏胶。本制备方法能够加速已成型部分固化，避免直写成型得到的结构发生断裂或坍塌，而且其浆料配制简单。
陶瓷三维结构无模直写制备方法光敏浆料

[发明专利]用于激光直写的TeO_X基薄膜材料及其制备方法-CN201010169391.1无效
发明人：王小勇;耿永友;顾冬红 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2010-05-07 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：一种用于激光直写的TeOX基薄膜材料及其制备方法，其特点是：该TeOX基薄膜材料是由金属Te或合金SbTe通过反应磁控溅射法在基片上沉积而成。本发明的TeOX(0＜x＜2)基薄膜材料用于光热效应的激光直写表明，具有优异的抗氧化性和热稳定性、薄膜致密度高、薄膜和基底之间有良好的附着性、参数可控性好、重复性高，并且光刻前后对比度大，适合作为激光直写材料
用于激光 teo sub 薄膜材料及其制备方法

[发明专利]一种T型光刻图形的根部腔壁角度调整及T型栅制作方法-CN201911416568.0在审
发明人：张亦斌 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于电子束负胶的T型光刻图形的根部腔壁角度调整方法及T型栅制作方法；其步骤包括：在制备器件所需的外延层表面旋涂负性电子束光刻胶，用电子束直写所需T型栅两侧区域并显影获得正梯形的栅脚结构，通过控制电子束直写计量调节栅脚图形根部腔壁的角度然后，利用正性电子束光刻胶直写栅帽，或者通过传统光刻曝光光刻栅帽，形成T型形貌，再蒸发金属后剥离形成T型金属电极。本发明采用电子束负胶不仅能够获得正梯形的栅脚结构，显著提高栅的稳定性，同时由于该方法不需要直写栅终端的大面积区域，有效提高直写速度；该工艺在制作氮化镓基、铟磷基、砷化镓基等材料的高频器件工艺中具有重要意义
一种光刻图形根部角度调整制作方法

[发明专利]一种激光直写高速高精度铜基光刻胶及其半导体图案化方法-CN202310701857.5在审
发明人：夏贤梦;匡翠方;曹春;沈小明;邱毅伟;关玲玲;李佳伟;赖慧颖;马鹏程;付欢;庞茂璋;马致远;王宵冰 -专利权人：之江实验室;浙江大学
申请日： 2023-06-14 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明公开了一种激光直写高速高精度铜基光刻胶及其半导体图案化方法。所述激光直写铜基光刻胶包括铜基光刻胶单体、双光子引发剂、抑制剂和溶剂；所述的抑制剂为TEMPO、BTPOS和DMPO中的至少一种；所述激光直写铜基光刻胶中，铜基光刻胶单体的质量为溶剂质量的2‑8％，双光子引发剂的质量为铜基光刻胶单体质量的0.25％‑2.5％，抑制剂的质量为铜基光刻胶单体质量的0.25％‑2.5％。本发明提供的铜基光刻胶在780nm波长的飞秒激光下聚合，最高精度可达亚50nm，最高刻写速度可达200mm/s，热解后可获得氧化铜半导体的微纳图案。
一种激光高速高精度光刻及其半导体图案方法

[发明专利]一种基于3D打印的硅基液晶垫层制作方法-CN202210638692.7在审
发明人：楼小洁;鞠若麟;曹航超 -专利权人：芯体素（杭州）科技发展有限公司
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B29C64/124 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于3D打印的硅基液晶垫层制作方法。本发明首次采用直写3D打印技术，完成硅基液晶(LCoS)垫层的制作，在确保精密度的前提下，拓宽了LCoS垫层的材料选取范围，减少了工艺步骤。本发明提供的制作方法，可以采用多种材料完成定制图案的硅基液晶垫层制作，实现高效稳定打印1μm至50μm厚度的不同图案的垫层。本发明提供制作方法的优势在于，采用不同类型的材料制作垫层，扩展材料的通用性；进行直写3D打印的图案可定制化，可满足不同LCoS的需求；直写3D打印的厚度范围广，可达到1μm至50μm的稳定打印；直写3D
一种基于打印液晶垫层制作方法

[发明专利]一种直写成型3D打印生物墨水及其制备方法-CN202010949725.0有效
发明人：吴耀彬;黄文华;许益超;利时雨 -专利权人：南方医科大学
申请日： 2020-09-10 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： A61L27/20 文献下载
摘要：本发明提供的一种直写成型3D打印生物墨水及制备方法，直写成型3D打印生物墨水由纤维素纳米纤维‑多巴胺甲基丙烯酸2‑氨基乙基酯水凝胶和含FBS的生物细胞DMEM完全培养基重悬液混合构成，以质量百分比计，纤维素纳米纤维‑多巴胺甲基丙烯酸2‑氨基乙基酯水凝胶和含FBS的生物细胞DMEM完全培养基重悬液配比为：纤维素纳米纤维‑多巴胺甲基丙烯酸2‑氨基乙基酯水凝胶60～90％，含FBS的生物细胞DMEM完全培养基重悬液10该直写成型3D打印生物墨水的制备方法简单易行，制备出的直写成型3D打印生物墨水具有较好的生物相容性，还可以促进细胞粘附，能够光固化成型，使得制备的3D打印结构具有较好的稳定性。
一种成型打印生物墨水及其制备方法

[发明专利]一种异形金属基复合材料预制体、制备方法及其应用-CN202310718679.7在审
发明人：王小锋;刘子瑞;伍晓赞;彭超群;王日初 -专利权人：中南大学
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： C22C1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于直写成型技术制备异形金属基复合材料预制体的方法，包括以下步骤：在室温下，按照一定比例将包含溶剂、缓凝剂、增稠剂、保水剂和消泡剂的辅助剂充分混合溶解后，加入适量的石膏粉进行充分搅拌，获得石膏浆料；在室温下，将一定量的分散剂溶于水中，调节pH值后，加入陶瓷粉末并混合，制得增强相浆料；将石膏浆料和增强相浆料安装在双头直写成型设备的两个打印头上，基于预设的预制体模型进行打印，经干燥处理后，获得复杂异性结构的金属基复合材料预制体本发明采用双头直写成型技术成型牺牲相与增强相的复杂形状结构金属基复合材料的预制体，石膏作为牺牲相，在完成金属浸渗后除去，进而获得复杂形状金属基陶瓷复合材料。
一种异形金属复合材料预制制备方法及其应用

[发明专利]一种基于飞秒激光直写技术的三维定向耦合器制造方法-CN202310647294.6在审
发明人：邱建荣;王宇莹;钟理京;陈智;马志军 -专利权人：浙江大学;之江实验室
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G02B6/136 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于飞秒激光直写技术的三维定向耦合器制造方法，包括：选定玻璃样品，进行高阶模式波导的截面设计，根据设计的截面和玻璃样品的损伤阈值规划构成高阶模式波导的若干轨迹；根据与波导对接的光纤的数值孔径，确定基模波导的尺寸和轨迹排布，进而确定高阶模式波导的尺寸以及耦合间距和耦合长度；对玻璃样品进行清洁，将清洁好的玻璃样品进行固定和调平，进行激光直写光路的校准；利用校准后的激光直写光路，根据基模波导、高阶模式波导的尺寸和轨迹排布在宽带范围内实现基模到任意空间朝向的高阶模之间的转换，从而在玻璃材料当中，实现宽带、高耦合效率的三维定向耦合器的制造。
一种基于激光技术三维定向耦合器制造方法

[发明专利]陶瓷基催化剂载体的墨水直写式3D打印装置及制造方法-CN202110776847.9有效
发明人：梅德庆;刘海宇;汪延成;余世政;宣凌锋;吴琼;陶凯 -专利权人：浙江大学
申请日： 2021-07-09 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B01J27/224 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷基催化剂载体的墨水直写式3D打印装置及制造方法。通过将陶瓷前驱体材料、陶瓷颗粒、粘接剂和有机溶剂混合制备陶瓷前驱体打印浆料；通过设置墨水直写式3D打印参数，制备出复杂程度高，具有3D规则孔隙结构的陶瓷前驱体模型；通过氧化交联、高温烧结、催化剂涂覆以及反应器装配实现陶瓷基催化剂载体在化学催化领域的应用本发明通过墨水直写式3D打印方法制备的陶瓷基催化剂载体具有比表面积高、压降性能好、化学稳定性高、热膨胀系数小等优点，将其应用于化学反应器中，能够很好的在降低压力损失的同时，提高反应物转化率和产物总产量，
陶瓷催化剂载体墨水直写式打印装置制造方法

[发明专利]一种甲烷二氧化碳干重整镍基催化剂及其制备方法和应用-CN202210317082.7有效
发明人：王阳;程智年;吴明铂;靳道宽;胡涵;刘建新;王文行 -专利权人：中国石油大学（华东）
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B01J23/755 文献下载
摘要：本发明提供了一种甲烷二氧化碳干重整镍基催化剂及其制备方法和应用；该制备方法包括以下步骤：a1)将镍源、碳源和溶剂混合后浓缩至浆态，涂覆在基底表面，干燥后得到待处理材料；b1)将步骤a)得到的待处理材料进行CO2激光直写，得到甲烷二氧化碳干重整镍基催化剂；或，a2)将碳源和溶剂混合后浓缩至浆态，涂覆在基底表面，干燥后得到待处理材料；b2)将步骤a)得到的待处理材料进行CO2激光直写，得到催化剂载体；c2)将步骤b2)得到的催化剂载体浸渍含有镍源的溶液后，依次经干燥、煅烧和冷却，得到甲烷二氧化碳干重整镍基催化剂。本发明首创性利用激光直写技术快速制备甲烷二氧化碳干重整镍基催化剂，且具有优异的催化活性和稳定性。
一种甲烷二氧化碳重整催化剂及其制备方法应用

[发明专利]一种用于微弱形变的纸基传感元件及其制备方法-CN202210855069.7在审
发明人：王树同;沈李;周思锟;邓国亮 -专利权人：四川大学
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01D5/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微弱形变的纸基传感元件及其制备方法，属于应变传感元件技术领域，包括如下步骤：将纸张浸泡在木质素溶液中，充分润湿后干燥，再用阻燃剂浸泡后再次烘干，得到木质素基混合纸张，再利用激光直写技术诱导碳化，得到激光碳化传感电极；再将激光碳化传感电极弯折一次，进行应变工程弯曲处理，增加其内部裂纹结构；利用所述经过应变工程弯曲处理的激光直写纸基碳电极，组装得到用于微弱形变的纸基传感器。本发明通过简单的设计，能够有效获得多孔碳基纸电极，以为能够有效提供机械应变传感在微弱信号下的灵敏度。本发明制备的纸基应变传感器不仅可塑性好、柔性好，在未来便携式和可穿戴设备上具有广泛的应用前景。
一种用于微弱形变传感元件及其制备方法

[发明专利]一种适用于石墨烯基场效应管制造的纳米光刻方法-CN201010281971.X无效
发明人：周鹏;孙清清;卢洪亮;吴东平;王鹏飞;丁士进;张卫 -专利权人：复旦大学
申请日： 2010-09-15 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： C01B31/04 文献下载
摘要：本发明属于碳基集成电路制造技术领域，具体为一种适用于石墨烯基场效应管制造的纳米光刻方法。利用单原子尺寸热接触探针在石墨烯氧化物上直写石墨烯基场效应管，可以实现石墨烯基纳米场效应管的光刻制造工艺，简化石墨烯场效应管制备的复杂性，从而降低了工艺实施的困难程度。单原子级热探针直写石墨烯场效应管技术还可以提供石墨烯基传感器、射频器件等制备的图形化技术，也可以作为石墨烯基电子器件的基本加工工艺。
一种适用于石墨场效应制造纳米光刻方法

[发明专利]一种基于激光直写的图案化Zn-MOF膜的制备方法-CN202210823416.8有效
发明人：关玲玲;曹春;夏贤梦;邱毅伟;沈小明;匡翠方 -专利权人：之江实验室
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光直写的图案化Zn‑MOF膜的制备方法，属于图案化材料的技术领域，该制备方法包括以下步骤：（1）利用飞秒激光直写技术，对锌基光刻胶进行图案化光刻，显影后得到聚合后的光刻图案；（2）将得到的光刻图案进行高温退火，得到图案化的ZnO薄膜；（3）以ZnO为金属源，将其置于含有配体溶液的反应釜中，通过水热反应得到图案化的Zn‑MOF膜，本发明利用激光直写的方法能快速制备图案化的MOF膜、
一种基于激光图案 zn mof 制备方法

[发明专利]适用于高精密直写3D打印的纳米颗粒铜浆、制备及用途-CN202110681236.6有效
发明人：周南嘉;陈小朋 -专利权人：西湖未来智造（杭州）科技发展有限公司
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01B1/22 文献下载
摘要：本发明提供一种适用于高精密直写3D打印的纳米颗粒铜浆、制备及用途，采用三芳基膦或者三烷基膦类化合物作为铜粉保护剂并将铜纳米颗粒配制成含有环氧树脂的油溶性浆料，解决纳米颗粒铜浆在制备和存放过程中容易被氧化的问题，提高纳米颗粒铜浆的导电性能，使其适用于高精密直写3D打印。
适用于精密打印纳米颗粒制备用途

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