“基板支架”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2308424个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基板支架-CN202011440169.0在审
发明人：宫本松太郎 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明提供基板支架，在基板支架中提高基板接点以及/或者密封部件的定位。基板支架是用于保持基板的基板支架，具备第一保持部件、和在与上述第一保持部件之间保持基板的第二保持部件，上述第一保持部件具备：至少一个基板接点，配置为与上述基板接触；至少一个密封部件，具有覆盖一个或者多个上述基板接点的前端部的周围的第一密封部；以及汇流条，与一个或者多个上述基板接点电连接，且具有收纳上述第一密封部的一个或者多个第一通孔，一个或者多个上述基板接点的上述前端部以其周围被上述第一密封部覆盖的状态，从与上述第二保持部件相反侧朝向上述第二保持部件通过上述汇流条的上述第一通孔并固定于上述汇流条
支架

[发明专利]基板支架-CN202011440219.5在审
发明人：宫本松太郎 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供基板支架，在基板支架中在抑制对基板的负荷的同时按压密封件。基板支架具备：接点组件；第一板，在与上述接点组件之间夹持基板；至少一个第一销，固定于上述接点组件，在上述基板的外侧朝向上述第一板侧延伸，且具有被卡定部；卡定部件，相对于上述第一板配置在与上述接点组件相反侧，能够位移至相对于上述第一销的上述被卡定部的卡定状态和非卡定状态；以及至少一个第一施压部件，沿着上述基板的外周部，设置在上述卡定部件与上述第一板之间以使上述卡定部件与上述第一板相互分离，在上述卡定状态下在上述卡定部件与上述第一板之间被压缩
支架

[发明专利]基板支架-CN201910559838.7有效
发明人：宫本松太郎 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明的目的之一在于提供具备夹持器的创造性的基板支架。公开如下基板支架，其用于通过在框架间夹着基板来保持基板，基板支架具备前框架、后框架以及一个或多个夹持器，夹持器分别具有：具备钩基座与钩主体的钩部和具备至少一个爪的板件，夹持器的至少一个具备：具有锁定用的第一爪与半锁定用的第二爪的上述板件
支架

[发明专利]基板支架系统及使用基板支架的方法-CN202210061591.8在审
发明人：蔡昱祺;郭爵旗 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-19 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：一种基板支架及使用基板支架的方法，在一极紫外线辐射微影系统中使用的静电基板支架包括一基板接收表面，该基板接收表面具有与一可变气体压力泵流体连通的多个气体通路。改变该基板的背侧与该基板支架的该基板接收表面之间的一孔隙空间中的压力促进该基板的该背侧与该基板支架的该基板接收表面之间的该孔隙空间内的非气态材料的移除。
支架系统使用方法

[发明专利]基板支架以及基板处理装置-CN202080067282.0在审
发明人：关正也;铃木洁;佐竹正行 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供即便在基板从支承面承受摩擦力等的情况下也能够进行基板的定位的基板支架以及基板处理装置。本发明的基板支架(200)具备：第一保持部件(300)；第二保持部件(500)，其用于与第一保持部件(300)一起夹持基板(W)；3个以上的定位部件(360)，其具有用于与基板(W)的侧端部接触的接触面
支架以及处理装置

[实用新型]基板支架及包括该支架的基板支撑装置-CN202021080631.6有效
发明人：申寅澈;金贤五 -专利权人：凯斯科技股份有限公司
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：公开了一种基板支架及包括该支架的基板支撑装置。根据一个实施例的基板支架可包括：旋转部，其以旋转轴为中心旋转；支撑部，其以包裹在所述旋转部的圆周方向上的外面的形式连接于所述旋转部，通过外面支撑基板的边缘；第一紧固连接部，其形成于所述旋转部的外面；第二紧固连接部
支架包括支撑装置

[发明专利]基板处理系统、基板支架、基板支架对、基板接合装置及器件的制造方法-CN201080041623.3有效
发明人：菅谷功;长南纯一;前田荣裕;田中庆一;保多智之 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2010-07-21 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：提供一种能在用一对基板支架层叠半导体基板时，抑制尘埃流入载置半导体基板的区域的基板处理系统。该基板处理系统具有使保持第1基板的第1基板支架和保持第2基板的第2基板支架相向来夹持第1基板和第2基板的基板支架系统、和保持基板支架系统的处理装置，在基板支架系统及处理装置的至少一方具有抑制尘埃向夹持第1基板和第2基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。基板支架系统可以在任一基板支架上设置抑制尘埃向保持基板的区域流入的尘埃流入抑制机构。
处理系统支架接合装置器件制造方法

[实用新型]抗变形调节支架-CN201721748079.1有效
发明人：朱伟强 -专利权人：平湖市吉晨五金有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B62D1/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种抗变形调节支架，包括一体成型的支架本体和一体成型的加强板，支架本体包括支架基板、两支架立板和两支架翼板，两支架立板相互平行，支架立板由支架基板冲压弯折而成，支架翼板横向延伸于支架基板，支架翼板和支架基板之间具有加强棱；加强板包括加强基板、两加强夹板和两加强翼板，加强基板抵靠在支架基板的外侧，加强夹板由加强基板弯折而成并固定在支架立板的外侧，加强翼板横向延伸于加强基板并固定在支架翼板的外侧
支架基板加强基板支架立板支架翼一体成型的夹板横向延伸加强翼板支架本体加强板抗变形支架本实用新型冲压弯折加强棱弯折平行

[实用新型]抗疲劳型汽车转向上管柱组件-CN201721748080.4有效
发明人：朱伟强 -专利权人：平湖市吉晨五金有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-07-10 - 主分类号： B62D1/19 文献下载
摘要：本实用新型提供一种抗疲劳型汽车转向上管柱组件，包括管柱本体、组合开关支架、弹簧支架、安装支架和调节机构，管柱本体穿设过安装支架，调节机构包括调节支架、支承轴和调节手柄，调节支架包括一体成型的支架本体和一体成型的加强板，支架本体包括支架基板、两支架立板和两支架翼板，两支架立板相互平行，支架立板由支架基板冲压弯折而成，支架翼板横向延伸于支架基板，支架翼板和支架基板之间具有加强棱；加强板包括加强基板、两加强夹板和两加强翼板，加强基板抵靠在支架基板的外侧，加强夹板由加强基板弯折而成并固定在支架立板的外侧，加强翼板横向延伸于加强基板并固定在支架翼板的外侧。
支架基板加强基板支架立板支架翼支架一体成型的夹板安装支架横向延伸加强翼板汽车转向支架本体加强板抗疲劳上管柱管柱本实用新型手柄冲压弯折弹簧支架组合开关加强棱支承轴穿设弯折平行

[发明专利]一种UVLED加工的上料装置及上料工艺-CN202110483175.2有效
发明人：吕天刚;王跃飞;吕鹤男;王芝烨;杨永发 -专利权人：鸿利智汇集团股份有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种UVLED加工的上料装置及上料工艺，具体步骤包括：（1）将带有透镜的透镜卷带缠绕在透镜上料机构上，以及将装有支架基板的支架基板送料弹夹放置在支架基板上料机构上；（2）透镜上料机构与支架基板上料机构启动，透镜上料机构的收料料盘带动透镜卷带进行移动，当透镜移动到透镜上料机构的透镜转送机构时，透镜转送机构将透镜抓取并转送到透镜转送台；支架基板上料机构将支架基板送料弹夹内的支架基板推送到支架基板定位平台；（3）支架基板推送气缸与支架基板定位气缸推动支架基板进行定位；（4）上料装置的上料机器人启动，先抓取透镜，将透镜放置到焊接翻转装置上的治具下模板，然后再抓取支架基板放置在透镜上方。
一种 uvled 加工装置工艺

[发明专利]显示面板的空间支架结构-CN200810091640.2有效
发明人：沈柏元 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2008-04-11 - 公布日： 2008-08-27 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：一种显示面板的空间支架结构，包括第一基板、第二基板、空间支架与空间支架脚座。空间支架设置于第一基板面对第二基板的一侧，而空间支架脚座设置于第二基板与空间支架之间。空间支架脚座具有非直线结构且嵌入空间支架内，并限制空间支架在平行于第二基板表面的平面作相对于第二基板的移动。本发明的空间支架结构利用具有非直线结构设计的空间支架脚座，可有效避免显示面板的第一基板与第二基板产生相对的移动，故可确保显示质量。
显示面板空间支架结构

[实用新型]一种平板电视及其支架-CN201220550703.8有效
发明人：王精龙;肖斌;郑建武 -专利权人： TCL集团股份有限公司
申请日： 2012-10-25 - 公布日： 2013-04-10 - 主分类号： F16M11/38 文献下载
摘要：一种平板电视及其支架，支架包括支架基板、旋转基板、两根支杆和一根横杆；支架基板表面的中部垂直设置有中心轴，上部设置有弹性卡柱，下部设置有套接两根支杆的支杆连接轴；旋转基板有用于连接平板电视本体的固定座，还设置有套接在支架基板中心轴上的中心套孔，及第一套孔；旋转基板通过支架基板的中心轴上与支架基板可活动连接，第一套孔套装在所述支架基板的弹性卡柱，使旋转基板与支架基板卡持固定。本实用新型采用可收折的支架结构，通过旋转基板与支架基板的相对旋转实现平板电视本体的旋转，实现平板电视的横、竖屏的随意切换使用；并且支架的结构十分简单，拆解和安装也十分方便，不占用较大空间。
一种平板电视及其支架

[发明专利]通过粗糙化基座减少静电放电-CN200610098582.7有效
发明人：崔寿永;朴范秀;尚全元;怀特·M·约翰;任东吉;朴钲义 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2006-07-12 - 公布日： 2007-01-17 - 主分类号： H05F1/02 文献下载
摘要：本发明涉及了一种基板支架及其制造方法。本发明的一实施方式中，基板支架包括具有基板支架表面的电导体，其中该基板支架表面由电绝缘涂层涂覆。位于基板支架表面中心的至少部分涂层具有约200到约2000微英寸之间的抛光面。另一实施方式中，基板支架包括阳极电镀的铝主体，并在用于支撑其上基板的部分铝主体上具有约200到约2000微英寸的抛光面。在一实施方式中，基板支架组件包括具有基板支架表面的电导体，用于支撑该导体的基板支架结构并且该导体用电绝缘涂层涂覆。
通过粗糙基座减少静电放电

[发明专利]镀覆装置以及镀覆方法-CN202280014805.4在审
发明人：辻一仁 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2022-08-09 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：镀覆装置具备：镀覆槽，其构成为收容镀覆液；基板支架，其构成为保持作为进行镀覆处理的对象的基板；旋转机构，其使上述基板支架旋转；升降机构，其使上述基板支架升降；以及控制装置，上述基板支架具备：接触部件，其构成为与上述基板能够供电地接触；密封部件，其构成为将上述基板支架与上述基板之间密封；液体保持部，其在内部具有上述接触部件，并构成为在通过上述密封部件将上述基板支架与上述基板之间密封时能够保持液体；以及喷吐口，其构成为向上述液体保持部或上述基板支架的内部的与上述液体保持部连通的空间开口，或能够配置于上述基板支架的侧方，而喷吐上述液体。
镀覆装置以及方法

[发明专利]基板处理装置-CN201510315762.5有效
发明人：小野田正敏 -专利权人：日新离子机器株式会社
申请日： 2015-06-10 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供基板处理装置，能稳定支承大型化了的支架并能防止因支架大型化导致闸室的大容量化，缩短闸室的气氛的切换时间。该基板处理装置包括处理基板的处理室；收容基板的闸室；在处理室和闸室之间输送基板的输送室；设置在处理室中，分别保持不同基板的两个支架；支架移动机构，使两个支架在基板接收位置和基板处理位置之间移动，在基板接收位置使两个支架处于上下排列的状态；及基板输送机构，将收容于闸室中的基板以上下排列的状态统一输送到位于基板接收位置的两个支架上。此外，支架移动机构具备两个移动支架的线性运动机构、以及使两个支架转动的转动机构。此外，线性运动机构在比支架的移动方向上的两端更靠内侧的位置支承支架。
处理装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条