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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法-CN201680035608.5有效
发明人：小宫山弘树 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-06-17 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G02B26/12 文献下载
摘要：本发明的图案描绘装置及图案描绘方法，稳定地维持描绘超详细图案所需的扫描线的配置精度或光学性能。图案描绘装置(EX)，使基板(P)上所聚光的光点(SP)沿着描绘线(SL)进行主扫描，并且使基板(P)进行副扫描，藉此于基板(P)上描绘既定图案；该图案描绘装置(EX)使由多面镜(PM)反射的第1光束(
图案描绘装置方法

[发明专利]图案描画装置及图案描画方法-CN201610640932.1有效
发明人：中岛瑛利子 -专利权人：亚得科技工程有限公司
申请日： 2016-08-08 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供图案描画装置及图案描画方法。图案描画装置包括：第一摄像部，读取对准标记，并读取位置偏差检测用的第一图案的图像；第二摄像部，读取所述第一图案的图像，并读取边进行工作台与光学头间的相对移动、边通过来自所述光学头的照射光描画出的位置偏差检测用的第二图案的图像；以及位置偏差检测部，基于所述第一摄像部的读取图像求出该第一摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第一坐标差，并基于所述第二摄像部的读取图像求出所述第一图案的中心与所述第二图案的特定位置之间的第二坐标差
图案描画装置方法

[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法-CN201780061213.7有效
发明人：加藤正纪;中山修一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的图案描绘装置(EX)具备：位置计测部(MU)，其计测应藉由多个描绘单元(Un)描绘的基板(P)上的被曝光区域的位置；第1调整构件(HVP)，其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案相对于被曝光区域的位置误差减少而根据利用位置计测部(MU)计测出的位置对基于描绘单元(Un)的各个的光点(SP)的位置于基板(P)的移动中于第2方向上进行调整；及第2调整构件(AOM1)，其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案于第
图案描绘装置方法

[发明专利]图案化装置以及图案化方法-CN201811589089.4有效
发明人：周佩吟 -专利权人：业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请日： 2018-12-25 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：一种图案化装置包含底板以及侧壁。底板具有镂空区以及环绕镂空区的边缘区。镂空区具有复数个角落以及复数个通道。所述多个通道包含主通道，其连通镂空区之角落。侧壁环绕连接边缘区之外缘。本揭示之图案化装置能使液态光学胶扩散均匀，以填满基材的贴合面。
图案化装以及方法

[发明专利]图案描画装置及图案描画方法-CN201910040947.8有效
发明人：伊势谷光辉;原望 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2019-01-16 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：图案描画装置(1)是通过在表面形成有多个标记(91)的基板(9)上照射光从而在基板上形成图案的装置。图案描画装置(1)具有：照相机(5a、5d)，拍摄形成在基板(9)上的多个标记(91)；连结件(52a)，将照相机(5a、5d)以在X轴方向(排列方向)上排列的状态连结；排列方向移动机构(54a)，使照相机
图案描画装置方法

[发明专利]图案化方法以及图案化结构-CN201810243170.0有效
发明人：张峰溢;李甫哲 -专利权人：联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司
申请日： 2018-03-23 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明公开一种图案化方法以及图案化结构，其中该图案化方法包括下列步骤。在材料层上形成掩模层。以第一光刻制作工艺于掩模层中形成第一开孔。在第一开孔中形成第一掩模图案。在形成第一间隙壁之后，在第二开孔中形成第二掩模图案。第一间隙壁于第二开孔中围绕第二掩模图案。移除掩模层以及第一间隙壁。以蚀刻制作工艺将第一掩模图案以及第二掩模图案的图形转移至材料层。
图案方法以及结构

[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法-CN201910841678.5有效
发明人：铃木智也;加藤正纪;小宫山弘树 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B26/12 文献下载
摘要：本发明涉及图案描绘装置及图案描绘方法，其中光束扫描装置(MD)，是一边将光束(LB)的点光(SP)投射于对象物(FS)的被照射面、一边进行该点光(SP)于该被照射面上沿扫描线(SLn)的一维扫描，其具备
图案描绘装置方法

[发明专利]图案曝光方法及图案曝光装置-CN201880055472.3有效
发明人：杉本重人 -专利权人：株式会社V技术
申请日： 2018-10-03 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种图案曝光方法及图案曝光装置，该图案曝光方法中，通过抑制无遮罩曝光的曝光图像数据中平面角部上的边缘误差，以良好的精度形成被微细化的图案。
图案曝光方法装置

[发明专利]图案描绘装置、及图案描绘方法-CN201880012599.7有效
发明人：铃木智也;石垣雄大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2018-02-08 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种图案描绘方法，是一边通过多边形镜(PM)将根据图案而调变成ON或OFF的描绘射束(LBn)在基板(P)上扫描于主扫描方向，一边使基板(P)移动于副扫描方向以将图案描绘于基板(P)上。图案描绘方法，是测量在描绘射束(LBn)于主扫描方向至少扫描一次的期间加算了光电信号(SS1)的实际积分值(FXn)，该光电信号(SS1)，是从接收射入多边形镜(PM)前的描绘射束(LBn)的光电传感器
图案描绘装置方法

[发明专利]图案检测方法及图案检测系统-CN202310317429.2有效
发明人：朱旭东 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种图案检测方法及图案检测系统。所述方法包括：获取第一待检测图案，并根据第一待检测图案确定第一设计图案；根据第一设计图案构建第一检测模型，以基于第一检测模型获取第一待检测图案对应的轮廓版图为第一轮廓版图；获取第二待检测图案，并根据第二待检测图案确定第二设计图案；根据第二设计图案构建第二检测模型，以基于第二检测模型获取第二待检测图案对应的轮廓版图为第二轮廓版图；将第一轮廓版图和第二轮廓版图重叠，检测第一轮廓版图和第二轮廓版图中相关目标结构待测边界之间的边界距离，并根据所述边界距离及预设检测规则确定是否调整第一待检测图案和/或第二待检测图案中相关目标结构的轮廓版图。
图案检测方法系统

[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法-CN202110922904.X有效
发明人：加藤正纪;中山修一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明的图案描绘装置(EX)具备：位置计测部(MU)，其计测应藉由多个描绘单元(Un)描绘的基板(P)上的被曝光区域的位置；第1调整构件(HVP)，其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案相对于被曝光区域的位置误差减少而根据利用位置计测部(MU)计测出的位置对基于描绘单元(Un)的各个的光点(SP)的位置于基板(P)的移动中于第2方向上进行调整；及第2调整构件(AOM1)，其是为了使利用描绘单元(Un)的各个描绘的图案于第
图案描绘装置方法

[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法-CN200910006446.4无效
发明人：井上正雄;小八木康幸 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2009-02-18 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供一种图案描绘装置及图案描绘方法，目的在于即使在以具有多个描绘对象区域的基板为对象时也能够减少曝光扫描的次数，并能够在感光材料上容易地描绘多种规则图案和宽度。在曝光头(30a～30d)分别对第一扫描区域(As1)至第四扫描区域(As4)进行曝光扫描时，预先在掩模上形成宽度与各扫描区域的描绘对象区域的宽度分别对应的单位图案组(SLG)。
图案描绘装置方法

[发明专利]图案检查装置及图案检查方法-CN201410053709.8无效
发明人：藤原成章 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-02-17 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：本发明涉及图案检查装置及图案检查方法。图案检查装置具有：第一图像获取部，将来自第一光源部的光照射至薄膜状的透明基材的形成有图案的第一主表面，使第一受光部接受该光被图案上表面反射的反射光，获取上表面反射图像；第二图像获取部，将来自第二光源部的光照射至透明基材的第二主表面，使第二受光部接受该光被图案下表面反射的反射光，获取下表面反射图像，该图案下表面是与第一主表面接触的面；检查部，基于上表面反射图像和下表面反射图像来获取图案的检查结果。通过对基于来自图案上表面的反射光而形成的上表面反射图像和基于来自图案下表面的反射光而形成的下表面反射图像进行比较，能够容易地检查出图案要素下端的变粗或变细情况。
图案检查装置方法

[发明专利]图案描画装置以及图案描画方法-CN200710148799.9无效
发明人：井上正雄 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-09-11 - 公布日： 2008-05-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：图案描画装置将具有多个扫描对象区域的基板作为处理对象时，可降低曝光扫描次数。图案描画装置使多个曝光头相对基板沿主扫描方向和副扫描方向相对移动，由此进行沿主扫描方向的曝光扫描，该沿主扫描方向的曝光扫描分别对从基板的开始位置(Ps)起在副扫描方向上以规定宽度(w)所规定的多个扫描区域
图案描画装置以及方法

[发明专利]图案检查装置及图案检查方法-CN200810009490.6无效
发明人：野本宪太郎;松田僚三;林宏树 -专利权人：优志旺电机株式会社
申请日： 2008-02-03 - 公布日： 2008-10-22 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：一种图案检查装置，利用反射照明光与透射照明光，区分在图案的表面产生的凹坑与突起，只将凹坑作为不良检测出。该图案检查装置，根据对形成于光透射性基板(1)上的图案(2)照明的照明光的摄像图像，判断图案的合格与否，其包括：第1照明单元(31)，照射中心光线相对于基板大致垂直的照明光；第2照明单元(32)，从将设置于基板的背面侧的检查区域控制单元同时进行第1照明单元和第2照明单元的照明，摄像单元拍摄同时被照明的图案。
图案检查装置方法

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