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[发明专利]图案测量装置及图案测量方法-CN201780094300.2有效
发明人：山本琢磨;太田洋也;谷本宪史;安部悠介;田盛友浩;野尻正明 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2017-10-13 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01B15/00 文献下载
摘要：提供一种图案测量装置，具备运算装置，该运算装置基于由带电粒子束装置得到的信号，对形成在试料上的图案的尺寸进行测定，所述运算装置具有：位置偏移量算出部，其根据以任意的射束倾转角获取到的图像，算出不同高度的两个图案之间的与晶片表面平行的方向的位置偏移量；图案倾斜量算出部，其通过预先求出的所述位置偏移量与所述图案的倾斜量的关系式，根据所述位置偏移量来算出所述图案的倾斜量；以及射束倾转控制量算出部，其控制射束倾转角，使得与所述图案的倾斜量一致，设定为算出的射束倾转角，再次获取图像而进行图案的测量。
图案测量装置测量方法

[发明专利]图案修正方法及图案修正装置-CN200910208352.5无效
发明人：清水茂夫 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2009-11-04 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：一种图案修正方法及图案修正装置，能抑制修正液向缺陷部的周围溢出，可使涂敷于缺陷部的修正液的厚度均匀。本发明的图案修正方法中，在向液晶滤色片基板(1)的像素(6)的白色缺陷(6a)涂敷修正墨水(7)后，为使修正墨水(7)的厚度均匀，向修正墨水(7)喷出含有溶剂(16)蒸汽的气体，降低修正墨水(7)的粘度
图案修正方法装置

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201410058971.1无效
发明人：正司和大;川越理史;上野博之;芝藤弥生;增市干雄;上野美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： B41F16/00 文献下载
摘要：本发明提供图案形成装置及图案形成方法。通过框缘状下载物台（61）吸附保持橡皮布，并且通过能够分别单独地升降的多个手部（625）支撑橡皮布的中央部的局部。
图案形成装置方法

[发明专利]具有图案的壳体及其图案印刷方法-CN201110440964.4无效
发明人：李旭雷;刘剑铭;戴建辉;颜群哲;谢丰兴 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2011-12-26 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B44C5/04 文献下载
摘要：一种具有图案的壳体，包括基材以及形成于所述基材上的图案层，所述图案层包括一涂覆于基材上的底色层以及一涂覆于底色层上的着色图案层。由于在基材上事先预印刷了一层底色层，因此最后的图案着色层所形成的图案和颜色不会受到基材颜色或者基材上涂覆的底漆颜色的干扰，在不同底色的壳体上不会产生色差。本发明还提供一种图案印刷方法。
具有图案壳体及其印刷方法

[发明专利]图案修正方法及图案修正装置-CN201310069492.5无效
发明人：井上达司 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2013-03-05 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：一种能以不污染缺陷部的周围的方式使涂布于缺陷部的修正液的厚度均匀的低成本的图案修正方法及图案修正装置，在该图案修正方法中，在朝液晶滤色片基板的像素的白色缺陷涂布了修正墨水之后，照射激光来加热修正墨水，从而降低修正墨水的粘度来使该修正墨水平坦化
图案修正方法装置

[发明专利]图案形成装置以及图案形成方法-CN201210461610.2无效
发明人：川越理史;增市干雄;古村智之;上野博之;中嶋美佳 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2012-11-16 - 公布日： 2013-06-05 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成装置以及图案形成方法。在使与开口（P（0））的相邻的开口（P（+1））相连接的正压阀关闭的状态不变的情况下，将吸附阀从打开状态切换至关闭状态，从而停止向开口（P（+1））供给负压。
图案形成装置以及方法

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201110302788.8无效
发明人：真田雅和;岩岛正信;古市考次 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术中高效地在不规则形状基板上形成图案的技术。通过从第一嘴体(52)喷出涂敷液，形成相互平行且长度相同的多个图案，另一方面，通过在与利用第一嘴体(52)形成图案的时刻相独立的时刻被控制而进行涂敷的第二嘴体(72)，来形成长度与该图案的长度不同的图案
图案形成装置方法

[发明专利]图案修正装置及图案修正方法-CN201110261129.4无效
发明人：小池孝志 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2011-08-08 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：一种图案修正装置，即便在基板表面带电的情形下，也能以简单的结构正确地修正缺陷部。该图案修正装置是对形成于绝缘基板(6)表面的导电性图案(7)的开放缺陷部(7a)进行修正的装置，包括：对缺陷部(7a)喷射加湿气体以局部提高缺陷部(7a)及其附近的湿度的加湿喷嘴(11)；以及在从加湿喷嘴
图案修正装置方法

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201210044683.1无效
发明人：菊池浩明 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2012-02-24 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种可在包含斥液剂的膜上形成对准标记的图案形成装置及图案形成方法。一种在基板上形成规定图案的图案形成装置，其包括：标记曝光部，对于基板上所形成的包含斥液剂的膜曝光出成为对准标记的标记图案；标记印刷部，在标记图案的曝光区域印刷可视化油墨，形成对准标记；还包括：标记检测部，检测对准标记而获得对准标记的位置信息；调整部，基于对准标记的位置信息而改变膜上所形成的图案的位置或者改变基板的位置，从而调整形成图案的位置；图像形成部，在膜上形成图案。
图案形成装置方法

[发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN201110165129.4无效
发明人：岩岛正信;真田雅和;古市考次 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-06-10 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成方法和图案形成装置，在从相对于基板表面移动的喷嘴涂敷含有图案形成材料的涂敷液而在基板上形成规定的图案的图案形成技术中，形成图案宽度和端部位置稳定的图案。在基板上涂敷涂敷液来形成线条状图案时，从比本来的起始端位置(X1)靠内侧的位置(X0)并且使喷嘴与基板的间隙量小于图案高度的值(G0)，来开始喷出涂敷液。然后，使喷嘴一边离开基板一边向基板外侧移动，在图案起始端位置(X1)使移动方向反向。在末端附近，一边降低涂敷液的喷出量一边使喷嘴接近基板，在图案末端位置(X3)，使喷嘴离开并且使移动方向反向。
图案形成方法装置

[发明专利]图案修正方法及图案修正装置-CN200710148861.4无效
发明人：小池孝志;清水茂夫 -专利权人： NTN株式会社
申请日： 2007-09-04 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种可用10μm左右的细线来修正断线缺陷部等、且缺陷部周围的污染小的图案修正方法。在所述图案修正方法中，在膜(3)的表面上照射激光来形成通孔(3a)，使通孔(3a)的膜(3)表面侧的开口部与缺陷部(2a)空开规定间隙(G)地对置，在包括通孔(3a)在内的规定范围内将膜(3)推压在基板
图案修正方法装置

[发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN200510113756.8无效
发明人：矢部学 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2005-10-14 - 公布日： 2006-05-17 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成方法及图案形成装置，该图案形成装置(1)包括用于将图案形成材料从多个喷射口喷射到基板(9)的主表面上的喷射部件(41)。通过工作台移动机构(2)，喷射部件(41)沿着基板(9)的主表面在一方向上相对于基板(9)移动，由此在基板(9)上形成多个线形图案元件。在形成该线形图案元件的过程中，通过喷射口移动机构(44)周期性地改变多个喷射口相对于基板(9)的移动速度，且在每个线形图案元件(91)中形成节部，每个节部沿与线形图案元件(91)延伸方向相垂直的方向扩展这就使在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可以在基板(9)上恰当地形成类似于格子状结构的图案。
图案形成方法装置

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN200710096856.3无效
发明人：杉浦好典;西川潤;中岡良一;金田知佳;原田昭人 -专利权人：井上株式会社;巨腾国际控股有限公司;三有限公司
申请日： 2007-04-05 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： B05D3/00 文献下载
摘要：在涂膜上形成图案的情况下，含有磁性体的涂料涂覆到被涂饰物上，形成涂膜，沿着该涂膜的表面，配置有多个片状磁铁。相邻的片状磁铁，以片状磁铁的侧面互相接触的状态配置，以使其表面的磁极和背面的磁极各不相同。此时，光被涂膜中的磁性体反射，形成图案。
图案形成装置方法

[实用新型]舞台灯图案叠加双旋转图案盘-CN201820786185.7有效
发明人：冯圣勋;韦郁超 -专利权人：广州市珠江灯光科技有限公司
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： F21S10/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舞台灯图案叠加双旋转图案盘，包括旋转盘体、第一驱动轮、第二驱动轮、盘体轴套、旋转轴套、第一图案盘、第二图案盘，旋转、第一驱动轮、第二驱动轮分别具有第一通孔、第一轴孔、第二轴孔，盘体轴套依次穿过第一轴孔、第一通孔、第二轴孔，旋转盘体与盘体轴套固定连接，第一驱动轮、第二驱动轮分别与盘体轴套旋转连接；旋转盘体设有案盘孔，第一图案盘、第二图案盘分别安装在案盘孔上，第一图案盘、第二图案盘相抵近叠加穿过案盘孔，该舞台灯图案叠加双旋转图案盘可实现两个图案叠加的静态和动态效果，结构紧凑、安装调整简便，运转平稳，故障率低，易于维护。
图案盘驱动轮图案叠加盘体轴套舞台灯旋转盘体双旋转第二轴第一轴案盘通孔本实用新型穿过安装调整动态效果啮合连接旋转连接旋转轴套故障率盘孔叠加相抵运转维护

[发明专利]用于低剖面基板的图案间图案-CN201580019675.3在审
发明人： H·B·蔚;C-K·金;D·W·金;J·S·李;K-P·黄;Y·K·宋 -专利权人：高通股份有限公司
申请日： 2015-04-10 - 公布日： 2017-04-19 - 主分类号： H01L21/48 文献下载
摘要：公开了包括形成在第一图案化金属层中间的第二图案化金属层的集成电路(IC)基板。形成在第一图案化金属层上的介电层将这两个金属层分隔开。非导电层形成在介电层和第二图案化金属层上。
用于剖面图案