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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]图案形成装置-CN201210268331.4有效
发明人： 岩岛正信;真田雅和;上野博之 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2012-07-30 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成装置，在基板上涂敷涂敷液并形成规定的图案的图案形成技术中，该图案形成装置能够利用高的压力挤压出涂敷液，并能够恰当地进行喷出控制。喷嘴（31）的前端部呈楔形，在该前端上还具有进一步突出的突起部（310）。突起部（310）的下表面（310b）为与基板接近且相向的基板相向面，从该端部立起有逐渐远离基板（W）的喷出口配设面（310c）。在喷出口配设面（310c）中的与基板相向面（310b）相邻的位置上，设置有用于喷出涂敷液的喷出口（311）。喷出口（311）的周围及涂敷液供给路径（312）的周围壁面一体形成。
图案形成装置

[发明专利]图案形成方法及图案形成装置-CN201110369542.2有效
发明人： 岩岛正信;真田雅和 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-11-15 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成方法。从沿着基板(W)的表面(Wf)向扫描移动方向(Ds)移动的嘴体(N)喷出含有光固性材料的涂敷液，并且从以追随嘴体(N)的方式移动的光射出部(E)对涂敷液照射光(例如UV光)。在到达涂敷结束位置时，嘴体(N)停止喷出涂敷液，并且嘴体(N)向与基板表面(Wf)相分离的方向退避。另一方面，对于光照射部(E)而言，继续向扫描移动方向(Ds)移动，从而光能够可靠地照射到涂敷液的末端部。
图案形成方法装置

[发明专利]图案形成装置及图案形成方法-CN201110302788.8无效
发明人：真田雅和;岩岛正信;古市考次 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术中高效地在不规则形状基板上形成图案的技术。具有：第一嘴体(52)，沿着与对基板进行扫描的扫描移动方向垂直的方向(Y方向)，列状地排列有喷出涂敷液的喷嘴(523)；第二嘴体(72)，具有能够通过滚珠螺杆机构(740)改变Y方向位置的一对喷嘴(723)。通过从第一嘴体(52)喷出涂敷液，形成相互平行且长度相同的多个图案，另一方面，通过在与利用第一嘴体(52)形成图案的时刻相独立的时刻被控制而进行涂敷的第二嘴体(72)，来形成长度与该图案的长度不同的图案。
图案形成装置方法

[发明专利]图案形成方法和图案形成装置-CN201110165129.4无效
发明人： 岩岛正信;真田雅和;古市考次 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2011-06-10 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明涉及图案形成方法和图案形成装置，在从相对于基板表面移动的喷嘴涂敷含有图案形成材料的涂敷液而在基板上形成规定的图案的图案形成技术中，形成图案宽度和端部位置稳定的图案。在基板上涂敷涂敷液来形成线条状图案时，从比本来的起始端位置(X1)靠内侧的位置(X0)并且使喷嘴与基板的间隙量小于图案高度的值(G0)，来开始喷出涂敷液。然后，使喷嘴一边离开基板一边向基板外侧移动，在图案起始端位置(X1)使移动方向反向。在末端附近，一边降低涂敷液的喷出量一边使喷嘴接近基板，在图案末端位置(X3)，使喷嘴离开并且使移动方向反向。
图案形成方法装置

[发明专利]电极形成方法及电极形成装置-CN201010283435.3有效
发明人：真田雅和;岩岛正信;古市考次 -专利权人：大日本网屏制造株式会社
申请日： 2010-09-15 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：提供一种在基板上形成电极的方法及装置，能够以低成本且优异的生产率形成宽度不同的电极。设置两组喷出含光固化性树脂的涂敷液的喷嘴部和对喷出的涂敷液照射光以使其固化的光照射部，各自的照射条件不同。设置在第一头部(5)的喷嘴部(52)和光照射部(53)之间的间隔小于设置在第二头部(7)的喷嘴部(72)和光照射部(73)之间的间隔。因此，在第一头部(5)自涂敷液涂敷到基板(W)起照射光为止的时间较短，形成宽度窄且具有一定高度的电极。另一方面，就第二头部(7)而言，自涂敷液涂敷到基板(W)起照射光为止的时间长，因此涂敷液进而扩散，形成宽度更宽的电极。
电极形成方法装置

[发明专利]图案形成装置和图案形成方法-CN200710186309.4有效
发明人：矢部学;岩岛正信 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-11-12 - 公布日： 2008-05-21 - 主分类号： H01J9/02 文献下载
摘要：在图案形成装置中，在从喷嘴部(421)的多个喷出口(422)喷出具有光固化特性的图案形成材料(80)期间，在沿着基板(9)的移动方向上，在先使喷嘴部移动的情况下使喷嘴部和光照射部(43)相对于基板相对且连续移动，并且掩模移动机构(45)使掩模(46)在光照射部和基板之间平行于基板移动。在掩模(46)上二维排列设置了透过率不规则地不同的多个矩形区域，因此在基板上照射区域的照射光的照度分布随时间不规则地变化。由此，可抑制基板上的间隔壁图案的不均匀，该间隔壁图案的不均匀是指：因多个喷出口的不均一性等而在基板上同时形成有宽度不同的间隔壁，从而所产生的图案不均匀。
图案形成装置方法

[发明专利]喷嘴制造方法及喷嘴-CN200710084715.X无效
发明人：矢部学;尾本贡一;加藤博己;岩岛正信 -专利权人：大日本网目版制造株式会社
申请日： 2007-02-26 - 公布日： 2007-10-03 - 主分类号： B05B1/14 文献下载
摘要：本发明提供一种喷嘴制造方法及喷嘴。在该喷嘴制造方法中，使具有多个喷出口的原喷嘴对基底构件(51)进行相对移动，并且，使原喷嘴对基底构件(51)进行相对移动的同时，从原喷嘴向基底构件(51)上喷出浆料，同时照射紫外线而使刚刚喷出到基底构件(51)上的浆料固化，由此在基底构件(51)上排列形成多个隔断壁(53)。然后，相对基底构件(51)固定盖构件(54)，从而能够容易地制造具有多个喷出口(52)的喷嘴(5)，其中，上述盖构件(54)与多个隔断壁(53)的顶部(531)相抵接的同时，覆盖多个隔断壁(53)。
喷嘴制造方法

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